本實用新型涉及一種實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置。

背景技術(shù)：

隨著對光刻機(jī)前道照明系統(tǒng)的積分均勻性要求越來越高，而且當(dāng)照明模式、相干因子等改變時，前道照明系統(tǒng)的積分均勻性會發(fā)生一定的變化，為了保證所有照明模式的積分均勻性都滿足前道照明系統(tǒng)需要，要增加積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)來補(bǔ)償積分均勻性。

在常見的積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)中，采用兩片透過率不同的光學(xué)元件的同步對向運動來補(bǔ)償積分均勻性的積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)較為常見。因此，上述積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)中的兩片光學(xué)元件對向運動的運動精度、運動分辨率、運動可靠性及同步性誤差均影響著積分均勻性的補(bǔ)償效果。

請參見圖1，目前普遍使用的一種同步對向運動機(jī)構(gòu)，包括兩套導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)1，依靠兩套所述導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)1實現(xiàn)兩個光學(xué)元件2的對向運動，一套所述導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)1控制一片光學(xué)元件2，通過分別控制兩套所述導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)1來實現(xiàn)兩片光學(xué)元件2的同步運動，所述同步對向運動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和控制方法均較為復(fù)雜，生產(chǎn)及使用的成本高，且由于采用兩套導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)1，輸出的對向運動的同步性誤差較大，為了保證所述同步對向運動機(jī)構(gòu)的運動精度和輸出的對向運動的同步性，所述同步對向運動機(jī)構(gòu)中各零件的加工精度及各組件的裝配精度要求都較高，進(jìn)一步增加了生產(chǎn)成本。

因此，如何提供一種能夠改善傳統(tǒng)同步對向運動機(jī)構(gòu)生產(chǎn)成本高且輸出的同步對向運動同步性誤差大的可實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供了一種可實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置，用以解決傳統(tǒng)的同步對向運動機(jī)構(gòu)生產(chǎn)成本高、運動精度低，且輸出的同步對向運動同步性誤差大的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：

一種實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置，包括底座、設(shè)置在所述底座上的同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件上下設(shè)置，所述底座環(huán)繞所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)，所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)和左右旋絲杠組件，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件。

作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件設(shè)置在第一固定板上，通過第一固定板連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述第二光學(xué)元件設(shè)置在第二固定板上，通過第二固定板連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述左右旋絲杠通過設(shè)置在所述底座上的聯(lián)軸器連接所述電機(jī)。

作為優(yōu)選，所述左右旋絲杠包括絲桿以及設(shè)置在所述絲桿上的左旋螺母和右旋螺母，所述絲杠上設(shè)有左旋螺紋和右旋螺紋，所述第一光學(xué)元件連接所述左旋螺母，所述左旋螺母與所述左旋螺紋匹配連接，所述第二光學(xué)元件連接所述右旋螺母，所述右旋螺母與所述右旋螺紋匹配連接。

作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件與所述左旋螺母之間通過左連接機(jī)構(gòu)連接，所述左連接機(jī)構(gòu)包括左連接導(dǎo)軌和左連接支架，所述左連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所述左連接支架設(shè)置在所述左連接導(dǎo)軌的滑塊上，且所述左連接支架一端連接所述左旋螺母，另一端連接所述第一光學(xué)元件；

所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母之間通過右連接機(jī)構(gòu)連接，所述右連接機(jī)構(gòu)包括右連接導(dǎo)軌和右連接支架，所述右連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所述右連接支架設(shè)置在所述右連接導(dǎo)軌的滑塊上，且所述右連接支架一端連接所述右旋螺母，另一端連接所述第二光學(xué)元件。

作為優(yōu)選，所述實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置還包括多個第一支撐機(jī)構(gòu)和多個第二支撐機(jī)構(gòu)，所述多個第一支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座上并連接所述第一光學(xué)元件，所述多個第二支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座上并連接所述第二光學(xué)元件。

作為優(yōu)選，所述第一支撐機(jī)構(gòu)包括第一支撐導(dǎo)軌和第一支撐支架，所述第一支撐導(dǎo)軌平行所述左右旋絲杠組件設(shè)置，所述第一支撐支架設(shè)置在所述第一支撐導(dǎo)軌的滑塊上并連接所述第一光學(xué)元件；

所述第二支撐機(jī)構(gòu)包括第二支撐導(dǎo)軌和第二支撐支架，所述第二支撐導(dǎo)軌平行所述左右旋絲杠組件設(shè)置，所述第二支撐支架設(shè)置在所述第二支撐導(dǎo)軌的滑塊上并連接所述第二光學(xué)元件。

作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件與所述左旋螺母之間通過左連接支架連接，所述左連接支架連接多個所述第一支撐支架中與其位置相對應(yīng)的第一支撐支架；所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母之間通過右連接支架連接，所述右連接支架連接多個所述第二支撐支架中與其位置相對應(yīng)的第二支撐支架。

作為優(yōu)選，所述多個第一支撐機(jī)構(gòu)的數(shù)量優(yōu)選四個，均勻分布在所述第一光學(xué)元件兩側(cè)；所述多個第二支撐機(jī)構(gòu)的數(shù)量優(yōu)選四個，均勻分布在所述第二光學(xué)元件兩側(cè)。

作為優(yōu)選，所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)還包括第一絲杠支撐座和第二絲杠支撐座，所述第一絲杠支撐座和第二絲杠支撐座固定在所述底座上，所述絲杠一端連接所述第一絲杠支撐座，另一端穿過所述第二絲杠支撐座后與所述電機(jī)連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：本實用新型采用一套同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)實現(xiàn)兩片光學(xué)元件的同步對向運動，運動同步性好，且結(jié)構(gòu)和控制簡單，對零件的加工精度和裝配精度要求較低，成本低。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一同步對向運動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型一具體實施例的實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實用新型一具體實施例的左右旋絲杠的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實用新型一具體實施例的左右旋絲杠和第一光學(xué)元件及第二光學(xué)元件之間的裝配示意圖。

圖1中所示：1-導(dǎo)向桿驅(qū)動機(jī)構(gòu)、2-光學(xué)元件；

圖2～4中所示：10-底座、21-電機(jī)、22-左右旋絲杠組件、221-絲桿、222-左旋螺母、223-右旋螺母、23-聯(lián)軸器、241-第一絲杠支撐座、242-第二絲杠支撐座、31-第一光學(xué)元件、311-第一固定板、411-左連接導(dǎo)軌、412-左連接支架、421-右連接導(dǎo)軌、422-右連接支架、431-第一支撐導(dǎo)軌、432-第一支撐支架、441-第二支撐導(dǎo)軌。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細(xì)的說明。需說明的是，本實用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參見圖2和圖4，一種實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置，包括底座10、設(shè)置在所述底座10上的同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件31和第二光學(xué)元件(圖中未示出)上下設(shè)置，所述底座10環(huán)繞所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)。

所述第一光學(xué)元件31設(shè)置在第一固定板311上，通過所述第一固定板311連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)；所述第二光學(xué)元件設(shè)置在第二固定板(圖中未示出)上，通過所述第二固定板連接所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)。

所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)21和左右旋絲杠組件22，所述左右旋絲杠組件22通過聯(lián)軸器23連接所述電機(jī)21，所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件22。

請參見圖3，所述左右旋絲杠組件22包括絲桿221以及設(shè)置在所述絲桿221上的左旋螺母222和右旋螺母223，所述絲桿221上設(shè)有左旋螺紋和右旋螺紋，所述第一光學(xué)元件31連接所述左旋螺母222，所述左旋螺母222與所述左旋螺紋匹配連接，所述第二光學(xué)元件連接所述右旋螺母223，所述右旋螺母223與所述右旋螺紋匹配連接。

繼續(xù)參見圖2和圖4，所述第一光學(xué)元件31與所述左旋螺母222之間通過左連接機(jī)構(gòu)連接，所述左連接機(jī)構(gòu)包括左連接導(dǎo)軌411和左連接支架412，所述左連接導(dǎo)軌411平行所述絲桿221設(shè)置在所述底座10上，所述左連接支架412設(shè)置在所述左連接導(dǎo)軌411的滑塊上，且所述左連接支架412一端連接所述左旋螺母222，另一端連接所述第一光學(xué)元件31。所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母223之間通過右連接機(jī)構(gòu)連接，所述右連接機(jī)構(gòu)包括右連接導(dǎo)軌421和右連接支架422，所述右連接導(dǎo)軌421平行所述絲桿221設(shè)置在所述底座10上，所述右連接支架422設(shè)置在所述右連接導(dǎo)軌421的滑塊上，且所述右連接支架422一端連接所述右旋螺母223，另一端連接所述第二光學(xué)元件。

所述實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置還包括三個第一支撐機(jī)構(gòu)，所述第一支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座10上并連接所述第一光學(xué)元件31。所述第一支撐機(jī)構(gòu)包括第一支撐導(dǎo)軌431和第一支撐支架432，所述第一支撐導(dǎo)軌431平行所述左右旋絲杠組件22設(shè)置，所述第一支撐支架432設(shè)置在所述第一支撐導(dǎo)軌431的滑塊上并連接所述第一光學(xué)元件31，所述第一支撐機(jī)構(gòu)平行所述左右旋絲杠組件22設(shè)置，與所述左連接機(jī)構(gòu)均勻設(shè)置在所述第一固定板311兩側(cè)。所述第一光學(xué)元件31與所述左旋螺母222之間的左連接機(jī)構(gòu)是懸臂結(jié)構(gòu)，為了消除懸臂結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的變形，在所述第一光學(xué)元件31的運動方向上設(shè)置多個第一支撐機(jī)構(gòu)，從而保證運動的精度。

所述實現(xiàn)同步對向運動的機(jī)械裝置還包括三個第二支撐機(jī)構(gòu)，所述第二支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座10上并連接所述第二光學(xué)元件。所述第二支撐機(jī)構(gòu)包括第二支撐導(dǎo)軌441和第二支撐支架(圖中未示出)，所述第二支撐導(dǎo)軌441平行所述左右旋絲杠組件22設(shè)置，所述第二支撐支架設(shè)置在所述第二支撐導(dǎo)軌441的滑塊上并連接所述第二光學(xué)元件，所述第二支撐機(jī)構(gòu)平行所述左右旋絲杠組件22設(shè)置，與所述右連接機(jī)構(gòu)均勻設(shè)置在所述第二固定板兩側(cè)。同樣，所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母223之間的右連接機(jī)構(gòu)是懸臂結(jié)構(gòu)，為了消除懸臂結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的變形，在所述第二光學(xué)元件的運動方向上設(shè)置多個第二支撐機(jī)構(gòu)，從而保證運動的精度。

所述第一光學(xué)元件31與所述左旋螺母222之間通過左連接支架412連接，所述左連接支架412連接所述第一支撐支架中與其位置相對應(yīng)的第一支撐支架；所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母223之間通過右連接支架422連接，所述右連接支架422連接所述第二支撐支架中與其位置相對應(yīng)的第二支撐支架。

請參見圖2，所述同步對向運動輸出機(jī)構(gòu)還包括第一絲杠支撐座241和第二絲杠支撐座242，所述第一絲杠支撐座241和第二絲杠支撐座242固定在所述底座10上，所述絲桿221一端連接所述第一絲杠支撐座241，另一端穿過所述第二絲杠支撐座242后與所述電機(jī)21連接。

本實用新型具體操作方式如下：通過電機(jī)21驅(qū)動所述左右旋絲杠組件22旋轉(zhuǎn)，所述左旋螺母222通過所述左連接機(jī)構(gòu)帶動所述第一光學(xué)元件31運動，所述右旋螺母223通過所述右連接機(jī)構(gòu)帶動所述第二光學(xué)元件運動，所述左旋螺母222和所述右旋螺母223分別進(jìn)行對向運動，實現(xiàn)所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件對向運動，通過所述左右旋絲杠組件22實現(xiàn)所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件對向運動，提高了運動的同步性。

本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。