專利名稱：：電流體彩色顯示器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及顯示器，且特別是涉及一種電流體彩色顯示器。
背景技術(shù)：
：目前于顯示器領(lǐng)域中，最常使用電泳電光學(xué)顯示介質(zhì)(electrophoreticelectro-opticalmedium),此種顯示介質(zhì)特別適用于可撓式顯示器(flexibledisplay)。然而，電泳電光學(xué)顯示介質(zhì)具有許多限制。電泳電光學(xué)顯示介質(zhì)具有相對較低的像素反應(yīng)速度(slowpixelresponse),使得影像顯示器(videodisplay)受到許多挑戰(zhàn),且顯示介質(zhì)相對于紙，具有較低的亮度。利用電濕潤電光學(xué)顯不介質(zhì)(electrowettingelectro-opticalmedium)可補(bǔ)償上述提及的缺點(diǎn)。使用上述原則而形成特定的變化例，例如公開號(hào)W02004068208與W02009036272。變化例中的高度尺寸高于液晶顯示器與電泳顯示器，因而阻礙其使用于可撓式顯示器中。先前技術(shù)US4583824為一種雙穩(wěn)態(tài)顯示器元件(bi-stabledisplaydevice),其中一薄片(thinsheet)分隔具有相同高度的兩個(gè)通道(channel)。通過于薄片中形成孔洞(holes)，使流體可流動(dòng)于兩個(gè)通道之間。當(dāng)兩個(gè)通道具有相同高度時(shí)，顯示器可以是雙穩(wěn)態(tài)的(bi-stable)。當(dāng)有顏色的流體推送到較低的通道時(shí)，觀察者只會(huì)觀察到位于薄片孔洞中的流體，因此產(chǎn)生大的開口(aperture)。在此例中，為了切換像素，提出一種復(fù)合的結(jié)構(gòu)，其中流體必須被驅(qū)動(dòng)到頂部或底部的通道中。為了使頂部與底部通道具有相同的高度，必須非常精準(zhǔn)地放置薄片?；陔姖駶櫠l(fā)展的一種顯示器變化例為電流體彩色顯示器(Electrofludicchromatophore,EFC),電流體彩色顯示器具有較低的高度，因此較適用于可撓式顯示器。依據(jù)電流體彩色技術(shù)(EFCtechnology)而發(fā)展的顯示器像素具有較高的反射率(reflectivity)，因而使得顯示器可使用于昏暗的環(huán)境到全亮的環(huán)境中。在本文其余部分中，我們將提供一種電流體彩色顯示器作為像素單元，像素單元包括流體支撐物(fluidholder)，流體支撐物用于支撐具有不同特性的極性流體與非極性流體。流體支撐物包括流體槽(reservoir)與通道(channel)。流體槽具有開口(orifice),此開口具有較小的可見投影面積投影到觀察者的方向，通道具有較大的可見投影面積投影到觀察者的方向，通道通過開口(orifice)連接到流體槽,使得極性流體與非極性流體能自由地在通道與流體槽之間移動(dòng)。相應(yīng)于施加到像素單元上的供應(yīng)電壓，通道表面的至少一部分具備濕潤特性(wettingproperty),且通道表面的至少一部分可劃分(i)穩(wěn)定區(qū)域(stableregion),其中供應(yīng)電壓穩(wěn)定通道中極性流體的含量；(ii)填充區(qū)域(fillregion),其控制極性流體到通道的流動(dòng)；(iii)縮回區(qū)域(retractregion),其控制極性流體到流體槽的流動(dòng)。流體支撐物包括至少兩個(gè)像素單元末端(pixelcellterminals),其目的在于提供供應(yīng)電壓(supplyvoltage)給流體支撐物的表面的至少一部分,使該流體支撐物表面的至少一部分具備濕潤特性(wettingproperty),以產(chǎn)生受到供應(yīng)電壓所控制的極性流體的移動(dòng)行為。EFC像素單元會(huì)根據(jù)所提供的電壓給予回應(yīng)，特別是控制極性流體的填充(fill)或縮回(retract)狀態(tài)。EFC像素單元可展現(xiàn)各種狀態(tài)，如此一來，這些受到控制的電壓可能在其余部分被稱為像素單元顯示特性(celldisplayproperties)或像素單元狀態(tài)(cellstates)，特別是，填充狀態(tài)、縮回狀態(tài)或穩(wěn)定狀態(tài)，對應(yīng)到視覺影像的黑色狀態(tài)、白色狀態(tài)或一般的彩色狀態(tài)，可依據(jù)供應(yīng)電壓而穩(wěn)定或改變這些狀態(tài)。EFC像素單元的狀態(tài)并非直接與末端的(terminals)電壓相關(guān)。而是這些電壓和其持續(xù)時(shí)間會(huì)控制狀態(tài)轉(zhuǎn)變的速度與方向。因此，于驅(qū)動(dòng)的流程中，考慮像素單元目前的狀態(tài)(currentstate)且對像素單元的末端施加特定電壓并維持一段時(shí)間，以達(dá)到新的所需狀態(tài)。像素單元的尺寸與材料特性會(huì)影響實(shí)際的電壓范圍。從觀察者的角度來看，像素單元的開口(thecellaperture)控制像素的有效面積，像素可被切換于不同顏色或灰色階段。于上述提及的設(shè)置方式，像素單元的開口會(huì)受到通道與流體槽的幾何結(jié)構(gòu)(geometry)極大的影響，其中通道具有較大的可見投影面積投影到觀察者的方向，流體槽具有較小的可見投影面積投影到觀察者的方向。在每一個(gè)像素切換狀態(tài)下，極性流體占據(jù)流體槽。此外，從觀察者的角度來看，在一極端的切換狀態(tài)下，流體槽容納足以將通道與流體槽完全填滿的極性流體。對于一般像素的編排，現(xiàn)有流體槽的安排可能覆蓋5-20%的像素面積，雖然可依據(jù)應(yīng)用與所使用的材料而使覆蓋率改變成較寬廣的范圍。舉例而言，對于尺寸為150X150μm的像素而言，其有效像素面積為143X143μm(亦即有7μm的邊界無法被切換)，通道高度為3μm,流體槽高度為54μm，且流體槽的面積為至少像素面積的5%。另一實(shí)施例中，對于相同尺寸的像素而言，其中通道高度為5μm,流體槽高度為23μm,且流體槽的面積為至少像素面積的20%。當(dāng)流體槽包含的極性流體為可見時(shí)(viewable)，此像素單元的小部分區(qū)域會(huì)降低顯示器的開口(aperture)。因此，于傳統(tǒng)的通道與流體槽的設(shè)計(jì)中，EFD像素開口受限于流體槽的尺寸，流體槽的尺寸可具有較多或較少的可見效果，影響EFC顯示器的對比(contrast)與色彩飽和度(colorsaturation)。US2010/0208328提供一種解決方法，其中極性流體是隱藏的，不見于電流體裝置的可見區(qū)域。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述問題，本發(fā)明提供一種電流體彩色顯示器，包括一電路板，該電路板具有行與列電極設(shè)置于其上，以連接一驅(qū)動(dòng)裝置(driver)到設(shè)置于該電路板之上的多個(gè)電流體彩色(EFC)像素單元。每一個(gè)像素單元包括一流體支撐物(fluidholder)，用于支撐具有不同顯示特性的一極性流體與一非極性流體。流體支撐物包括流體槽(reservoir)與通道，其中該流體槽具有較小的可見投影面積于觀察者的方向，該通道具有較大的可見投影面積于觀察者的方向。該通道通過開口(orifice)連接到該流體槽，使得該極性流體與該非極性流體能自由地在該通道與該流體槽之間移動(dòng)，該通道表面的至少一部分具有濕潤特性(wettingproperty),且至少兩像素單元末端連接到該電路板之上的行與列電極,且至少兩像素單元末端設(shè)置目的在于提供供應(yīng)電壓(supplyvoltage)給該通道表面的至少一部分，使該通道表面的至少一部分具備濕潤特性(wettingproperty),以產(chǎn)生受到供應(yīng)電壓所控制該極性流體的移動(dòng)行為。該至少兩像素單元末端與該極性流體介電分離。該流體槽形成于該電路板之上的均勻薄膜層的一堆疊結(jié)構(gòu)中，該堆疊結(jié)構(gòu)至少包括開口薄膜層(orificefilmlayer)與流體槽薄膜層(reservoirfilmlayer),其中于觀察者的方向，設(shè)置于該流體槽薄膜層中的該流體槽被該開口薄膜層所遮蔽，該開口薄膜層定義最小的開口面積，其小于形成于流體槽薄膜層中的剖面面積。在此例中，流體槽形成于均勻薄膜材料的堆疊的均勻薄膜層的一堆疊結(jié)構(gòu)中，且可見的開口的剖面被降低，以增加像素單元的開口。優(yōu)點(diǎn)在于，使用標(biāo)準(zhǔn)與一般制作工藝方法而得到較大開口的EFD。此方法并非依賴如現(xiàn)有方法所述的多重的電濕潤表面或于堆疊層中較低層的電濕潤表面。為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下圖I顯示顯示器裝置的實(shí)施例的示意圖；圖2顯示于圖I實(shí)施例中的電流體像素單元的俯視圖；圖3顯示圖2的電流體像素單元的剖面圖；圖4a_圖4d顯示電流體像素單元連接到陣列電極結(jié)構(gòu)的各種示意圖；圖5顯示像素通道中的水前端流速(V)與供應(yīng)電壓(V)的關(guān)系圖；圖6A(i)-圖6A(vi)顯示制作電流體像素單元的現(xiàn)有第一步驟的制作過程；圖6B(vii)-圖6B(ix)顯示形成流體槽隱藏結(jié)構(gòu)的制作過程；圖6C(x)-圖6C(xi)顯示具有部分隱藏流體槽的像素單元的最后制作過程；圖6D(xii)-圖6D(xiii)顯示最終產(chǎn)品；圖7顯不最終廣品的俯視圖；圖8顯不最終廣品的另一實(shí)施例；圖9顯示另一種排列方式；圖10顯示圖9的堆疊結(jié)構(gòu)的俯視圖。主要元件符號(hào)說明Γ顯示裝置2像素單元3可撓電路板5末端5’其他行電極6列電極7行電極8驅(qū)動(dòng)裝置(driver)9末端10顯不器控制器(displaycontroller)20像素單元30平臺(tái)31'流體支撐物32"流體槽33通道34"極性流體35"流體槽的主要曲率半徑36通道的主要曲率半徑37較低通道的內(nèi)壁38通道的頂表面39輸送管(duct)61柵極62"絕緣層63"源極-漏極64半導(dǎo)體材料101像素影像數(shù)據(jù)370,380"電極371、381介電層390第三電極600EFC像素單元620基板630厚層631通道632流體槽632b'流體槽的底部636支撐間隔物640樹脂薄膜層641熱滾軸(hotroller)642開口(orifice)642c重疊的側(cè)壁643"電連接643c共同側(cè)壁644底通道電極645絕緣層646間隔物(spacer)647b"含氟高分子647Γ透明含氟高分子層648透明絕緣層649透明電極650透明基板651極性流體660頂部基板堆疊670"輸送管70(Γ像素單元800"像素900"像素具體實(shí)施例方式圖I顯示顯示裝置的一實(shí)施例的示意圖。除了多個(gè)像素單元(pixelcell)2外，顯示裝置I尚包括可撓電路板(flexiblecircuitboard)3,可撓電路板3于此領(lǐng)域也稱為背板，其較佳為可彎曲的(bendable)且具有較小半徑(例如小于2cm)，因此，顯示器可被卷曲(rolled)、彎曲(flexed)或纏繞于(wrapped)合適的封裝結(jié)構(gòu)中。為了提供電荷到像素單元2，可撓電路板3具有多個(gè)行電極與列電極。然而，也可依據(jù)特殊應(yīng)用的需求，將多個(gè)電極連接到像素單元2。為了將供應(yīng)電壓(supplyvoltage)定址(address)到像素單元2,設(shè)置驅(qū)動(dòng)裝置(driver)8以充電行電極7與列電極6。驅(qū)動(dòng)裝置8可合并于可撓電路板3或其他任何方便的位置。當(dāng)像素影像數(shù)據(jù)101輸入到顯示器控制器10中，顯示器控制器10的設(shè)置可用以控制驅(qū)動(dòng)裝置8。一般而言，顯示裝置I每秒會(huì)重新更新(refresh)很多次。顯示器中所有像素更新一次的時(shí)間被定義成畫面時(shí)間(frametime)。畫面時(shí)間(frametime)包括選線時(shí)間(lineselectiontime)與后續(xù)的保持時(shí)間(holdtime),于選線時(shí)間(lineselectiontime)時(shí),連接到行電極7的像素單元2被活化(activated),之后為保持時(shí)間(holdtime),于保持時(shí)間內(nèi)，依序定址(addressed)其他的行電極。另外也可提供其他的更新方式，亦即多重定址(multiplerowaddressing),其中大于一行的電極被選擇且一次全部更新。一般當(dāng)通過單一行與列電極6、7提供供應(yīng)電壓(supplyvoltage)到像素單元2時(shí)，像素單元2可額外連接到其他的行電極5’，一般而言，如后續(xù)所述，像素單元2具有額外的像素單元末端(pixelcellterminal),像素單元末端連接到其他行電極5’且其直接連接到驅(qū)動(dòng)裝置8,以提供偏差供應(yīng)電壓(biassupplyvoltage)或基礎(chǔ)供應(yīng)電壓(basicsupplyvoltage)給像素單元。偏差電極也可額外提供作為平行于行電極的圖案化電極。在此設(shè)計(jì)中，可提供像素單元中間狀態(tài)(intermediatecondition)。此種狀態(tài)可定義為像素單元的一種狀態(tài)，由于供應(yīng)到至少一個(gè)額外的像素單元末端(pixelcellterminal)的偏差供應(yīng)電壓(biassupplyvoltage)的目的在于降低切換電壓(switchedvoltage),所以顯示單元特性的可能變化是受限的，其中此切換電壓為改變顯示器特性所需要的電壓。一般切換電路(switchingcircuit)具有行電極與列電極6、7,且這些行電極與列電極6、7分別連接切換電路到驅(qū)動(dòng)裝置8，也可視切換電路的特定需求而選擇使用較多或較少的電極。電流體像素單元(electrofludicpixelcell)2的切換狀態(tài)并非直接與末端(terminals)5、9的電壓相關(guān)。而是這些電壓與時(shí)間會(huì)控制切換狀態(tài)改變的速度與方向。因此，為了將像素單元驅(qū)動(dòng)到一特定的切換狀態(tài)，需要差速驅(qū)動(dòng)(differentialdriving),亦即，為了達(dá)到新的所需切換狀態(tài)，需要考慮像素單元2的切換狀態(tài)，以及施加特定電壓到像素單元末端5、9并維持一段特定時(shí)間，以完成驅(qū)動(dòng)。一個(gè)可行的辦法在于，保持目前顯示影像(displayedimage)的復(fù)制狀態(tài)(copy),并將此復(fù)制狀態(tài)使用于新影像的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的計(jì)算。另外的方法是，重置(reset)整個(gè)顯示器到已知的狀態(tài)，例如所有像素單元2處于完全縮回的(fullyretracted)狀態(tài)(不存在供應(yīng)電壓的條件下)，以及通過驅(qū)動(dòng)裝置8施加特定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以顯示新的影像。圖2為圖3中的電流體像素單元(electrofludicpixelcell)2的俯視圖。于觀察者的方向，可以觀察到流體槽32提供(impart)較小的可見投影面積，而通道33提供(impart)較大的可見投影面積。流體槽32與通道33是連通的，使得極性流體34能自由地移動(dòng)于流體槽32與通道33之間。為了制作出黑色狀態(tài)，黑色墨水(blackenedwater)34占據(jù)通道33，且透明的油占據(jù)流體槽32。于白色狀態(tài),透明油占據(jù)通道33,且黑色墨水(blackenedwater)34占據(jù)流體槽32。通過改變黑色墨水與透明的油在通道33中的分量，可制作出各種不同像素單元顯不特性(variouscelldisplayproperties),也稱為彩色狀態(tài)(colourstates)?！ぎ?dāng)足夠的電性偏壓(electricalbias)施加于極性流體與靠近通道表面的電極之間，水被推進(jìn)到通道中，且油穿過幾微米寬的輸送管(duct)39流回流體槽32中。任何適合的有色或透明的(clear)極性流體可用于取代黑色墨水；任何適合的有色或透明的非極性流體可用于取代透明的油，只要兩種流體不互溶即可。彩色顯示器可通過下述方法形成，通過使用不同顏色的水形成不同的像素單元，例如紅、綠與藍(lán)或深藍(lán)(cyan)、洋紅(magenta)與黃，或是通過提供彩色濾光片(colourfilter)于黑色與白色顯示器之上，或是通過整合彩色濾光片于顯示器中于通道33的頂表面38之上，或靠近通道33的頂表面38。一般通道33的高度為3-5μm，定義出較低通道內(nèi)壁37的平臺(tái)30，其一般厚度為40μm,且平臺(tái)30的厚度構(gòu)成流體槽32。對于兩種轉(zhuǎn)變狀態(tài)(transitions),理論的切換速度(theoreticalswitchingspeed)是毫秒(miliseconds)的等級。圖3顯示像素單元2(圖I)的流體支撐物(fluidholder)31的剖面圖。一般通道33的高度為3-5μm，平臺(tái)或流體槽層30的厚度，同時(shí)也是定義出流體槽的高度，一般為30-50μm。對于兩種轉(zhuǎn)變狀態(tài)(transitions),理論的切換速度(theoreticalswitchingspeed)是毫秒的等級，因而使顯示器能夠顯示視訊檔案(fullmotionvideo)。于觀察者的方向，流體支撐物31包括具有較小的可見投影面積的流體槽32與具有較大的可見投影面積的通道33。一般而言，除了極性流體34，流體支撐物31也可包括非極性流體(圖中未顯示)。為了制造出像素單元顯示器特性(celldisplayproperty),極性流體34與非極性流體具有不同的顯示特性。顯示器特性可以是，例如彩色，也可包括單色變化例(monochromaticvariants)或流體的特定穿透及/或反射特性。在一實(shí)施例中，極性流體34具有不同于非極性流體的穿透性。極性流體34可包括水，以及非極性流體包括油。因?yàn)楸绕鹁哂腥玖?dyes)的黑色油，具有色素(pigments)的黑色墨水(blackeningwater)可產(chǎn)生較佳的飽和黑色(saturatedblack)，因此較佳是水呈黑色，且油保持為透明的或漫散射的(diffusescattering)。染色的黑色墨水(pigmentedblackenedwater)在水層厚度僅有3μm的條件下，即可達(dá)到足夠的黑色像素顏色。此點(diǎn)可使顯示器整體厚度小于100μm,此厚度范圍為一般可撓式顯不器合適的厚度范圍。一般的水含有離子成分而可作為導(dǎo)電元素。非極性流體可占據(jù)未被極性流體34所占據(jù)的空間。非極性流體較佳與極性流體不互溶。在一實(shí)施例中，仔細(xì)地建造通道33與流體槽34的幾何結(jié)構(gòu)(geometry)，以提供(impart)不同的曲率半徑(principleradiusofcurvature)。在此實(shí)施例中，當(dāng)通道33與流體槽32的表面為充分地疏水性時(shí)，流體槽32提供較大的主要曲率半徑35到(onto)極性流體，而通道33提供較小的主要曲率半徑36到(onto)極性流體34。這樣的設(shè)計(jì)造成楊格力(Young-Laplaceforce),其目的在于將極性流體帶動(dòng)成到最適合其能量的形狀,例如水滴狀，并將極性流體34推進(jìn)(urge)流體槽32中。然而,在另一方面,通過產(chǎn)生大于且相對于楊格力(Young-Laplaceforce)的電機(jī)械力(electromechanicalforce),可將極性流體34推進(jìn)通道33。為了控制此作用力，通道33的表面38至少一部分與較低的通道內(nèi)壁37包括一濕潤特性(wettingproperty),此濕潤特性對應(yīng)于(responsiveto)施加到流體支撐物31的一或多個(gè)側(cè)壁的供應(yīng)電壓。極性流體34可包括導(dǎo)電元素或成分。一般而言，疏水性含氟高分子提供到通道33的表面38的至少一部分與較低的通道內(nèi)壁37，也可使用其他對應(yīng)于所施加電場具有濕潤特性的材料。電機(jī)械力(electromechanicalforce)是與將極性流體34推進(jìn)流體槽32的對抗力相反的作用力，且可通過改變施加電壓加以控制。此對抗力可以是楊格力(Young-Laplaceforce)或其他直接與電機(jī)械力相反的作用力，或上述的組合。使對抗力與電機(jī)械力之間達(dá)成平衡的供應(yīng)電壓(supplyvoltage)稱為穩(wěn)定的電壓(stablevoltage),亦即，使極性流體34保持不動(dòng)的電壓。雖然依據(jù)像素單元顯示特性(celldisplayproperty)的不同，穩(wěn)定電壓可顯示不同的變化例,但是穩(wěn)定電壓原則上與像素單元顯示特性無關(guān)。因此，大致上不管流體前端位于何處，穩(wěn)定電壓將會(huì)穩(wěn)定極性流體34的流體前端。須注意的是，此種特性并未出現(xiàn)于其他顯示器中，例如電泳(electrophoretic)或液晶顯示器。另言之，通過提供穩(wěn)定的供應(yīng)電壓能穩(wěn)定位于像素單元20中的極性流體34。通過施加供應(yīng)電壓到通道33的通道表面37、38的至少一部分，所引起的感應(yīng)電場(inducedelectricfield)一般會(huì)降低含氟高分子的疏水特性,且產(chǎn)生一電機(jī)械力，目的在于將極性流體34從流體槽32推進(jìn)通道33，該感應(yīng)電場正比于供應(yīng)電壓的平方除以通道表面37、38的至少一部分面積的平方。供應(yīng)電壓會(huì)改變通道33的表面37、38的至少一部分的濕潤特性。改變電機(jī)械力可用于控制位于像素單元20中的極性流體34的移動(dòng)。因此，像素單元20包括至少兩個(gè)像素單元末端(pixelcellterminals)(圖中未顯示)。為了通過電極(圖中未顯示)施加供應(yīng)電壓到通道33的表面至少一部分，因而設(shè)置像素單元末端，其中通道表面包括相對于施加的供應(yīng)電壓的濕潤特性。供應(yīng)電壓可以是不同的電壓差的結(jié)合，這些電壓差來自于接觸到像素單元的任意一些電極。圖4a-圖4d顯示連接電流體像素單元(electrofluidicpixelcell)到陣列電極(matrixelectrode)結(jié)構(gòu)的各種連接結(jié)構(gòu)。在通道的頂部與底部,有平坦的電極380、370，其中電極380、370被介電層371、381所覆蓋。單一的第三電極390電性接觸極性流體液滴。另外也可不需要(leftout)頂電極。須注意的是，在此例中，通道33(如圖2、圖3)的頂側(cè)壁的濕潤特性被最佳化。為了方便閱讀，參考標(biāo)號(hào)僅出現(xiàn)于圖4a中。形成于油-水前端的電機(jī)械力通過穿過介電堆疊結(jié)構(gòu)的電壓所產(chǎn)生，其中介電堆疊結(jié)構(gòu)包括含氟高分子。在被動(dòng)矩陣(passive-matrix)設(shè)計(jì)中,像素位于每一個(gè)彼此交錯(cuò)的行電極與列電極之間。更詳細(xì)的說，圖4a的設(shè)計(jì)顯示共同末端(commonterminal)連接到顯示器中一組像素或全部像素的共同電極(commonelectrode)。此電極可另外或額外提供如下述所討論的偏差電壓(biasvoltage)。在圖4b的一些實(shí)施例中，不需要頂部圖案化電極380，因?yàn)檫@樣的設(shè)計(jì)可以簡化制作工藝，所以具有優(yōu)點(diǎn)。對水的直流連接(galvanicconnection)提供給水電極390。因?yàn)轵?qū)動(dòng)力(drivingforce)通過位于較低內(nèi)壁的介電表面(顯示于圖3)所產(chǎn)生，所以供應(yīng)電壓相對較高。除了圖案化底電極370之外，圖4c與圖4d的設(shè)計(jì)中包括圖案化頂電極380,其電連接到行驅(qū)動(dòng)裝置與列驅(qū)動(dòng)裝置(columnorrowdriver)。因?yàn)閮烧邔λ慕殡娊缑?dielectricinterface)皆可用于產(chǎn)生電機(jī)械力，因此供應(yīng)電壓可以較低。在圖4d中，由于水電極390可被免除(dispersedwith),因此列電壓末端(columnvoltageterminal)6只有稱合到底通道電極370遠(yuǎn)離(awayfrom)觀察者方向的一側(cè)上。在圖4a-圖4c的實(shí)施例中，行電極7耦合到一接觸于導(dǎo)電極性流體的接觸電極(contactelectrode)。在圖4d的實(shí)施例中，行電極7稱合到通道電極380。圖5顯示水于像素通道中的前端流速(V)與供應(yīng)電壓(V)之間的關(guān)系圖。所顯示的電壓等級與曲線的真正形狀會(huì)受到像素單元幾何形狀與施加材料的特性所影響，例如油粘度(oilviscosity)。將水推進(jìn)通道的電機(jī)械力與施加電壓的平方成正比。此現(xiàn)象造成在OV附近形成對稱的反應(yīng)(參見圖2)。此處假設(shè)相對于水電極(W)，頂部電極⑴與底部電極(b)施加于相同的偏壓。對于真實(shí)的像素單元而言，在通道之上的電壓為約4-5V時(shí)，保持于一特定的切換狀態(tài)(“穩(wěn)定”電壓)；在電壓低于2V時(shí)，水以負(fù)向速度縮回流體槽(“縮回”電壓)；在電壓高于7V時(shí)，水以正向速度推進(jìn)通道(“填充”電壓)。在較高電壓時(shí)，水的速度會(huì)增力口，但是會(huì)于一特定最大值時(shí)達(dá)到飽和。依據(jù)整體的切換速度與時(shí)間，有效的給予回應(yīng)，其中切換速度與電壓總合的平方成正比。只要電壓總合的平方是相同的，介于頂電極與水，以及介于底電極與水之間所施加的電壓可以是對稱的。當(dāng)水處于與頂部與底部電極的偏壓相同時(shí)，其縮回速度最快。受到濕潤的磁滯(wettinghysteresis)或濕潤的阻障(wettingbarrier)的影響，所以在X軸上的穩(wěn)定區(qū)域的寬度并不是零，其中濕潤的磁滯或濕潤的阻障來自于在像素單元中所使用的材料的固有特性，或者是為了定義穩(wěn)定范圍，通過修飾通道濕潤特性而有目的性地加入濕潤的磁滯或濕潤的阻障。這些阻障的效果在于，分別對應(yīng)于較低電壓與較高電壓，局部地增加穩(wěn)定區(qū)域的寬度，以在像素中產(chǎn)生較佳的油-水分布狀態(tài)。這些較佳的狀態(tài)可用于作為不連續(xù)的灰色階段(discretegraylevels)或作為中間起始階段(intermediatestartinglevel),從該中間起始階段可更快速且可更準(zhǔn)確地達(dá)到灰色階段。這些阻障可通過下述物理結(jié)構(gòu)所提供，通過局部影響施加電場到具有濕潤特性的通道表面的物理結(jié)構(gòu)，局部影響濕潤特性的物理結(jié)構(gòu)，或通過局部影響曲率半徑的物理結(jié)構(gòu)，以及因此在通道中的極性流體具有楊格壓力。這些阻障層也可包括在一表面產(chǎn)生化學(xué)成分的變化，其中該表面會(huì)嚴(yán)重的影響濕潤特性。水前端的速度一般在cm/s的等級且較佳介于0-50cm/s。對于一尺寸為0.2mm的像素單元(具有O.28mm對角尺寸)而言，當(dāng)流體槽位于像素單元的中心時(shí)，每秒28cm的水前端速度會(huì)產(chǎn)生約Ims的切換速度，用以切換黑色與白色狀態(tài)，此速度與顯示在顯示器上的影像內(nèi)容可以匹配。在此簡單的計(jì)算中，只有電機(jī)械力和對抗力的影響被列入考慮；其他的力，例如拖曳力(dragforce),會(huì)降低水前端的速度,使水前端與流體槽產(chǎn)生一段距離，并未列入考慮。圖6Α(i)-圖6D(xiii)顯示制作電流體像素單元的第一現(xiàn)有步驟。在第一步驟(i)中，提供基板620，一般為高分子，其為可撓的(flexible)，具有一可彎曲半徑例如小于2cm;接著，為了形成薄膜晶體管(TFT)的底部柵極61，圖案化沉積于與結(jié)構(gòu)化于基板620之上的金屬層(亦即，柵極)；接著，為了底部柵極而提供一絕緣層62，以使TFT的柵極61((iii)步驟)與第二金屬層(亦即，源極-漏極63)絕緣，底部接觸TFT被沉積與結(jié)構(gòu)化(步驟(iv));接著(步驟(V))，為了底部柵極，沉積與結(jié)構(gòu)化半導(dǎo)體材料64，提供與圖案化底部接觸TFT與一厚層630，其中圖案化通過已知光圖案化制作工藝(photopatterning)而形成(步驟(vi))?？赏ㄟ^任何合適的技術(shù)提供厚層630。在一實(shí)施例中，通過具有均勻厚度的壓合層(laminatelayer)630(壓合于一壓合的樹脂結(jié)構(gòu)中)形成流體槽薄膜層(reservoirfilmlayer),如一般已知的干膜粘著(dryfilmadhesion)或干膜光致抗蝕劑薄膜壓合層(dryphotoresistfilmlamination)。一般而言,干膜光致抗蝕劑層可被聚酯薄膜的覆蓋薄片(coversheet)或合適的薄片產(chǎn)品所覆蓋，覆蓋薄片或薄片產(chǎn)品可于壓合之后與光固化之前被移除。合適的干膜層材料可以制造高深寬比及/或厚膜結(jié)構(gòu)。其他的實(shí)施例可包括旋轉(zhuǎn)涂布(spincoating)。光圖案化技術(shù)一般牽涉到在感光樹脂層中光固化一圖案，以及通過溶解移除未固化的材料，以形成流體槽632。合適的溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯((propyleneglycolmonomethyletheracetate)、乳酸乙酯(ethyllactate)或二丙酮醇(diacetonealcohol)。在圖6B(vii)-圖6B(ix)中，通過沉積合適的均勻樹脂薄膜層640壓合堆疊結(jié)構(gòu)630、640排列于電路板620之上。在本領(lǐng)域人士所熟知的熱滾壓合制作工藝中，通過一熱滾軸(hotroller)641沉積樹脂薄膜層640(步驟(vii))。一般的熱滾壓合制作工藝可包括滾軸溫度為65-85°C，滾軸速度為lm/min，且壓力例如45-55psig。在此方法中(步驟(Viii)),通過均勻樹脂薄膜層640形成于流體槽層630之上而構(gòu)成一堆疊結(jié)構(gòu)(630、640)。樹脂薄膜層接著可被后續(xù)圖案化制作工藝所圖案化，一般為光圖案化制作工藝。制作出開口(orifiCe)642，從觀察者的角度看來，因?yàn)殚_口薄膜層640，使得設(shè)置在流體槽層630之中的流體槽是暗的(obscured)。開口薄膜層640定義較小的開口面積642,小于形成在流體槽層630之中的剖面面積。均勻的樹脂薄膜層更可作為設(shè)置于流體槽層630之上的開口薄膜層640。雖然開口薄膜層可通過任何合適的方式形成，在一實(shí)施例中，其可通過具有均勻厚度之壓合層640(壓合于壓合的樹脂結(jié)構(gòu)中)所形成。開口642可視需要盡可能地縮小，且開口的面積如同開口層的厚度。薄膜層630、640各自具有不同的厚度，且開口薄膜層的厚度小于流體槽層。開口642可視為流體槽632的第二個(gè)槽部分。在圖6C(x)-圖6C(xi)中，通過沉積與結(jié)構(gòu)化第三金屬層，以進(jìn)一步形成像素單元(步驟(X))(亦即，流體槽電極643與底通道電極644)。當(dāng)設(shè)置于底部流體槽632時(shí)，電極643或電濕潤層可視需要而設(shè)置。請參見圖6D(xii)-圖6D(xiii)，當(dāng)流體從流體槽向外分散到通道時(shí)，在底部流體槽側(cè)壁的電連接可用于保持與導(dǎo)電極性流體的接觸。接著(步驟(xi))，沉積與結(jié)構(gòu)化通道電極的絕緣層645，沉積與結(jié)構(gòu)化間隔物(spacer)646,以及沉積含氟高分子647b。當(dāng)流體槽整體高度等于現(xiàn)有例子的流體槽時(shí)，流體槽層具有半徑45μm與高度15μm,以及第二開口槽具有8μm高度與16μm半徑，使流體槽的可見面積可降低到4%，其中現(xiàn)有例子具有單一的流體槽而沒有額外的遮蔽層以開口層的形式存在。在此現(xiàn)有的例子中，像素具有尺寸為150X150μm,具有流體槽的面積至少為像素面積的20%，相對于多層結(jié)構(gòu)的本案實(shí)施例，現(xiàn)有例子非常的不利。在后續(xù)的實(shí)施例中，提供一般尺寸使用于薄箔片顯示器，此尺寸可使用于可卷曲顯示器裝置。對于具有非常小流體槽半徑的相同像素，提供一平坦且較薄的第二層。當(dāng)流體槽的整體高度等于單一層的例子時(shí)，使用一第一流體槽具有15μm高度與47μm半徑，以及一第二流體槽僅具有2μm高度與僅具有4μm半徑時(shí)，流體槽的可見面積可降低到O.2%。當(dāng)極性流體留在圍繞流體槽的通道33的一小部分時(shí)，開口部分具有小半徑是可行的，在此例子中，仍然會(huì)形成楊格壓力，楊格壓力來自于極性流體在通道中的半徑與在較大流體槽部分的半徑不同，而無關(guān)于開口面積。因此，在樹脂堆疊結(jié)構(gòu)中合適的尺寸的各層包括，形成流體槽的流體層高度一般為15-50μm，以及開口層640厚度一般為1-15μπι。整體而言，堆疊結(jié)構(gòu)的高度較佳保持低于50μm,更佳為低于30μm。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，例如廣告看板(billboard)，可改變幾何形狀而不違背本發(fā)明所保護(hù)范圍的精神，舉例而言，像素尺寸可為幾毫米(_)。在圖6D(xii)-圖6D(xiii)中設(shè)置頂部基板堆疊660(步驟(Xii))，頂部基板堆疊660—般包括透明基板650、透明電極649、透明絕緣層648與透明含氟高分子層647t。頂部基板堆疊660可通過例如粘著(gluing)的方式,形成于間隔物646的頂部之上。間隔物具有一形式與結(jié)構(gòu)，使得通道(顯示于圖2、圖3中)可穩(wěn)定地以具有預(yù)定的厚度而設(shè)置。當(dāng)電極通電(energized)或不通電時(shí)(de-energized),導(dǎo)電極性流體將會(huì)保持與通道33中的含氟高分子647t接觸，以提供電濕潤驅(qū)動(dòng)效應(yīng)(electrowettingactuationeffect)。當(dāng)通道33完全填滿極性流體651時(shí)，依據(jù)極性流體651留在流體槽632中的含量，極性流體651是足以只具有電連接643存在于流體槽632與開口643的共同側(cè)壁643c上。最后，顯示器填滿非極性流體(圖中未顯示)與極性(導(dǎo)電)流體651(步驟(xiii))。須注意的是，真正的尺寸與相對的尺寸可能會(huì)與圖中所描繪的比例不同。舉例而言，為了能切換像素，位于流體槽中的極性流體的主要半徑必須大于位于通道631中的極性流體的主要半徑。此外，占據(jù)流體槽中的極性流體的體積至少要與占據(jù)通道中的極性流體的體積一樣大。須注意的是，在此例所有的切換狀態(tài)中，極性流體占據(jù)流體槽的一部分且保持與頂部基板堆疊660接觸，其中開口642的尺寸是位于極性流體之上的開口所利用的半徑，而不會(huì)影響切換特性。在此例中，只有通道與流體槽的半徑會(huì)決定切換特性。選擇開口的尺寸盡可能的小，以最佳化像素的開口，而不影響像素的切換特性。通過光圖案化制作工藝，薄膜層較佳形成于干膜可固化光致抗蝕劑層中，以形成具有零傾斜度的(zeroinclination)開口及/或流體槽側(cè)壁。由于具有零傾斜度，或大致上包括零傾斜角度，可解決現(xiàn)有蝕刻制作工藝所產(chǎn)生的傾斜角度問題，因此，并不需要特別注意控制流體槽側(cè)壁的傾斜角度。本案所提供的解決方式牽涉到與圖案化有關(guān)的其他涂布或壓合步驟，例如流體槽632目前由兩個(gè)獨(dú)立的層630、640所組成，但其制作工藝是容易的，此解決方式不是利用斜率為負(fù)的流體槽，例如US2010/0208328所揭露的實(shí)施例，也不是利用位于堆疊層底部的電濕潤層，例如USO132404所揭露的實(shí)施例。因此，通過具有較小開口剖面642的開口層640，使EFC像素單元600具有較高的開口率。在此例中，從觀察者的角度可觀察到流體槽632被第二層640所遮蔽，其中第二層640具有較小的流體槽面積642。此特性改善開口率，并且因此改善顯示器的光學(xué)特性(對比、黑色及/或白色狀態(tài)、彩色范圍)。圖7顯示從使用者的角度觀察像素700的平面圖。虛線顯示流體槽具有較大流體槽632的輪廓。流體槽632被具有開口642(實(shí)線圓圈)的第二平臺(tái)層640所遮蔽，因此，使用者只會(huì)觀察到位于第二平臺(tái)層640中的開口642。間隔物646具有特定規(guī)格，因此，堆疊660(第6圖)可穩(wěn)定地具有預(yù)定高度，此高度定義通道的厚度。一般而言，4個(gè)間隔物646設(shè)置于像素單元700的角落位置，但間隔物646的數(shù)量并不因此受限，只要間隔物能夠形成尺寸穩(wěn)定的通道即可。圖8顯示像素800的第二實(shí)施例的平面圖。在此實(shí)施例中，開口及/或流體層具有重疊的側(cè)壁642c，以形成開口642。特別是，開口642與流體槽632共用相同的側(cè)壁642c，如圖6B(ix)中的步驟(ix)。在此例中，可能形成側(cè)壁電極643c,側(cè)壁電極643c可簡單的形成電連接，從位于流體槽底部之中或之下的各層，穿過位于開口642的側(cè)壁642c與流體槽632的對準(zhǔn)部分的電極，連接到導(dǎo)電極性流體。在EFC實(shí)際應(yīng)用的情況下，流體槽電極643(參見圖6C(X)-圖6C(xi))電性接觸極性流體，可使用于以較準(zhǔn)確且具再現(xiàn)性的方式，并且以較低的電壓驅(qū)動(dòng)像素。再者，電極643c不需要完全填充第一且較大的流體槽部分632，只需要將位于流體槽中的接點(diǎn)連接到電極即可，其中該電極可直接被顯示器控制器所控制。因此，僅需位于底部的單一的接觸點(diǎn)就已足夠。此一特性使得第二且較小的流體槽的材料被涂布與圖案化之后，尚有可能提供金屬接觸電極。接觸電極643c(參見圖6D(xii)-圖6D(xiii))一般將只會(huì)存在于開口642的側(cè)壁642c、第一且較大的流體槽632的側(cè)壁的對準(zhǔn)部分，以及直接位于開口642底下的部分，然而，依照金屬電極的制作方法的不同，接觸電極643c也可位于此開口外側(cè)的小面積上。雖然可改變流體槽632與開口642的形狀與對準(zhǔn)方式，而較佳為圓形的開口形狀，因?yàn)槿我饬黧w65I較容易轉(zhuǎn)換成圓形而非有角度的形狀。為制作一從通道33到第一且較大的流體槽部分的底部632b連續(xù)的電極643c，流體槽部分632、642較佳為至少在側(cè)壁642c的一部分上具有足夠大的面積進(jìn)行對準(zhǔn)。此方法的優(yōu)點(diǎn)在于底部基板的頂部電極與極性流體651之間可形成一扎實(shí)的接觸。圖9顯示實(shí)施例像素900的剖面圖，其中流體槽層630包括更大的流體槽區(qū)域，相對于位于頂層640的開口區(qū)域642。因此，第三實(shí)施例顯示，額外的支撐間隔物636形成于第一且較大流體槽630部分中，以支撐平臺(tái)材料640，其中此平臺(tái)材料640用于形成開口642，以作為第二且較小的流體槽部分。在此方法中，流體槽薄膜層包括流體槽結(jié)構(gòu)632，其中流體槽結(jié)構(gòu)632具有支撐開口層640的支撐間隔物636。當(dāng)組成第一平臺(tái)層時(shí)，可在結(jié)構(gòu)中輕易地設(shè)置間隔物636。原則上，這種結(jié)構(gòu)可以很容易地衍生出三層或多層結(jié)構(gòu)，其中提供間隔物636的目的在于，支撐任何數(shù)量的流體CN102914863A書明說12/12頁槽層630、640，且只形成小開ロ面積于頂部流體槽層640中，以大抵上遮蔽從流體槽632之上的直接觀察。在此種實(shí)施例中，在堆疊結(jié)構(gòu)中可通過壓合制作エ藝并通過均勻厚度的壓合薄膜層形成任何的薄膜層。圖10顯示從使用者角度觀察像素900的概括圖。虛線表示具有較大流體槽632的第一平臺(tái)層的輪廓。在虛線之內(nèi)顯示間隔物636，間隔物636用于支撐形成流體槽的第二平臺(tái)層640。第一平臺(tái)層630與流體槽間隔物636被第二平臺(tái)層640所形成的開ロ642遮·蔽，因此，對于觀察者而言，只會(huì)觀察到位于第二平臺(tái)層640中的開ロ642。當(dāng)極性流體65I因?yàn)殡姖駶櫠七M(jìn)通道33中時(shí)，在通道結(jié)構(gòu)中提供一輸送管670，以將非極性流體送回流體槽632。一般而言，在特定波長或特定波長范圍內(nèi)，像素單元顯示特性可用像素単元的穿透性及/或反射性表示。像素單元顯示特性的數(shù)量一般受限于，在穿透性及/或反射性數(shù)值的可能全部范圍中的分離狀態(tài)的數(shù)目。此預(yù)先設(shè)定、分離的穿透性及/或反射性數(shù)值是可測量的，物理數(shù)值可用(ニ元)的數(shù)字表示，且可用控制器(controller)處理。雖然結(jié)合以上數(shù)個(gè)較佳實(shí)施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
中熟悉此技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作任意的更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以附上的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。1權(quán)利要求1.一種電流體彩色顯示器，包括一電路板，該電路板具有行電極與列電極設(shè)置于其上，以連接一驅(qū)動(dòng)裝置(driver)到設(shè)置于該電路板之上的多個(gè)電流體彩色(EFC)像素單元，其中每一個(gè)像素單元包括流體支撐物(fluidholder),用于支撐具有不同顯示特性的一極性流體與一非極性流體；其中該流體支撐物包括一流體槽(reservoir)與通道,其中該流體槽具有較小的可見投影面積于觀察者的方向，該通道具有較大的可見投影面積于觀察者的方向，該通道通過一開口(orifice)連接到該流體槽,使得該極性流體與該非極性流體能自由地在該通道與該流體槽之間移動(dòng)，該通道表面的至少一部分具有濕潤特性(wettingproperty),且至少兩像素單元末端連接到該電路板之上的行電極與列電極，且至少兩像素單元末端設(shè)置目的在于提供供應(yīng)電壓(supplyvoltage)給該通道表面的至少一部分,使該通道表面的至少一部分具備濕潤特性(wettingproperty),以產(chǎn)生受到供應(yīng)電壓所控制該極性流體的移動(dòng)行為；該至少兩像素單元末端與該極性流體介電分離；以及其中該流體槽形成于該電路板之上的均勻薄膜層的一堆疊結(jié)構(gòu)中，該堆疊結(jié)構(gòu)至少包括開口薄膜層(orificefilmlayer)與流體槽薄膜層(reservoirfilmlayer),其中設(shè)置于該流體槽薄膜層中的該流體槽被該開口薄膜層所遮蔽，該開口薄膜層定義最小的開口面積，其小于形成于流體槽薄膜層中的剖面面積。2.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該開口薄膜層通過一均勻厚度的壓合樹脂層所形成，且該均勻厚度壓合于該堆疊結(jié)構(gòu)中。3.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該流體槽薄膜層通過通過一均勻厚度的壓合樹脂層所形成，且該均勻厚度壓合于該堆疊結(jié)構(gòu)中。4.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中于該堆疊結(jié)構(gòu)中的任一薄膜層由一均勻厚度的壓合樹脂層所形成。5.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該些薄膜層各自具有不同厚度，該開口薄膜層的厚度小于該流體槽薄膜層的厚度。6.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該堆疊結(jié)構(gòu)包括形成一流體槽的一流體槽層，該流體槽具有一流體槽高度為15-50μm，以及一開口具有厚度為1-15μm。7.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該些薄膜層由一干薄膜固化樹脂層(dryfilmcurableresistlayer)所形成，且該干薄膜固化樹脂層形成具有零傾斜度(zeroinclination)的該開口及/或該流體槽側(cè)壁。8.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該開口及/或該流體槽層具有一共同側(cè)壁(coincidingwall),以形成該開口。9.如權(quán)利要求I所述的電流體彩色顯示器，其中該流體槽薄膜層具有多個(gè)支撐間隔物(supportspacers)支撐該開口層的流體槽結(jié)構(gòu)。10.一種電流體彩色顯示器的制法，其中該電流體彩色顯示器包括電路板，該電路板具有行與列電極設(shè)置于其上，以連接一驅(qū)動(dòng)裝置(driver)到設(shè)置于該電路板之上的多個(gè)電流體彩色(EFC)像素單元，其中該方法包括提供一流體支撐物(fluidholder)，用于支撐具有不同顯示特性的一極性流體與一非極性流體，與提供至少兩像素單元末端，用于連接到該電路板之上的行與列電極；其中該流體支撐物包括流體槽(reservoir)與通道,其中該流體槽具有較小的可見投影面積于觀察者的方向，該通道具有較大的可見投影面積于觀察者的方向，該通道通過一開口(orifice)連接到該流體槽,使得該極性流體與該非極性流體能自由地在該通道與該流體槽之間移動(dòng)，該通道表面的至少一部分具有濕潤特性(wettingproperty),且至少兩像素單元末端連接到該電路板之上的行與列電極，且至少兩像素單元末端設(shè)置目的在于提供供應(yīng)電壓(supplyvoltage)給該通道表面的至少一部分,使該通道表面的至少一部分具備濕潤特性(wettingproperty),以產(chǎn)生受到供應(yīng)電壓所控制該極性流體的移動(dòng)行為；該至少兩像素單元末端與該極性流體介電分離；以及其中該流體槽形成于該電路板之上的均勻薄膜層的一堆疊結(jié)構(gòu)中，該堆疊結(jié)構(gòu)至少包括開口薄膜層(orificefilmlayer)與流體槽薄膜層(reservoirfilmlayer),其中于觀察者的方向，設(shè)置于該流體槽薄膜層中的該流體槽被該開口薄膜層所遮蔽，該開口薄膜層定義最小的開口面積，其小于形成于流體槽薄膜層中的剖面面積11.如權(quán)利要求10所述的電流體彩色顯示器的制法，其中該開口薄膜層(orificefilmlayer)通過將該開口層壓合成均勻厚度的一干薄膜樹脂層(dryfilmresinlayer)于一流體槽層之上而形成，其中該流體槽層位于該堆疊結(jié)構(gòu)中。全文摘要本發(fā)明公開一種電流體彩色顯示器，其包括多個(gè)電流體彩色(EFC)像素單元，每一個(gè)像素單元包括流體支撐物，用于支撐具有不同顯示特性的極性流體與非極性流體；流體支撐物包括流體槽與通道，流體槽具有較小的可見投影面積于觀察者的方向，通道具有較大的可見投影面積于觀察者的方向，通道由開口連接到流體槽，使極性流體與非極性流體能自由地在通道與流體槽之間移動(dòng)。流體槽形成于電路板上的均勻薄膜層的堆疊結(jié)構(gòu)中，堆疊結(jié)構(gòu)至少包括開口薄膜層與流體槽薄膜層，在觀察者的方向，設(shè)置于流體槽薄膜層中的流體槽被開口薄膜層所遮蔽，開口薄膜層定義最小的開口面積，其小于形成于流體槽薄膜層中的剖面面積。文檔編號(hào)G02B26/00GK102914863SQ20121027455公開日2013年2月6日申請日期2012年8月3日優(yōu)先權(quán)日2011年8月5日發(fā)明者H.E.A.休特馬,P.J.G.范利肖特,F.J.圖斯拉格申請人:聚合物視象有限公司