專利名稱：亞半微米光刻物鏡的恒溫水套的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種亞半微米光刻物鏡的恒溫水套，屬于亞半微米分步重復(fù)投影光刻機(jī)光刻物鏡高分辨力成像技術(shù)領(lǐng)域。
VLSI制造設(shè)備分步重復(fù)投影光刻機(jī)的光刻物鏡具有很高的數(shù)值孔徑，當(dāng)周圍環(huán)境溫度波動(dòng)，或自身由于長(zhǎng)時(shí)間通光引起溫度升高，都會(huì)引起焦點(diǎn)漂移，產(chǎn)生新的畸變和像散，造成成像質(zhì)量下降，使其達(dá)不到應(yīng)有的性能和光刻分辨力。
本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種亞半微米光刻物鏡的恒溫水套，使物鏡內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)長(zhǎng)時(shí)間工作溫度恒定，不受外界環(huán)境溫度波動(dòng)影響，而保持光刻物鏡的高分辨力特性。
本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)物鏡恒溫水套包括有恒溫水溫度控制器、恒溫水箱以及其上安裝的水泵、管道和指示溫度計(jì)，連通管道的上下水套緊套在物鏡鏡筒外面，上下水套中的水道通過鏡筒中的孔道相連。
本實(shí)用新型也可以由以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)上下水套的外面裝有隔熱層，它是由至少10層鍍有高反射率物質(zhì)薄膜捲成。
本實(shí)用新型也可通過以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)上下水套中的水道為螺旋槽形水道。
本實(shí)用新型還可通過以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)上下水套中的水道為弓形水道。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)使用本恒溫水套，能使物鏡在長(zhǎng)時(shí)間通光，光學(xué)透鏡元件和機(jī)械框受光照射后，溫度不會(huì)升高，當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí)，由于恒溫水套的恒溫和隔熱層的隔離作用，也會(huì)使內(nèi)部光學(xué)元件和機(jī)械框溫度保持不變，物鏡焦點(diǎn)不會(huì)漂移，也不會(huì)產(chǎn)生新的畸變和像散，保持光學(xué)性能質(zhì)量穩(wěn)定，因此也保持了物鏡的高分辨力特性不變。并且由于該裝置起密封內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)作用，可提供進(jìn)行物鏡內(nèi)部的恒氣壓控制。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明


圖1為亞半微米光刻物鏡恒溫水套系統(tǒng)總體結(jié)構(gòu)圖。
圖2為螺旋槽形水道恒溫水套的結(jié)構(gòu)圖。
圖3為弓形水道恒溫水套的結(jié)構(gòu)圖。
如
圖1所示亞半微米光刻物鏡恒溫水套系統(tǒng)由恒溫水溫度控制器1、恒溫水箱2、水泵3、管道4和5、指示溫度計(jì)6、上下水套7和10構(gòu)成。物鏡上水套7和下水套10緊套在物鏡鏡筒9外面，上水套7和下水套10中的水道11(或15)通過鏡筒9中的孔道8相連。上水套7通過管道4連接水箱2，水箱2上安裝的水泵3通過管道5連接下水套10。恒溫水箱2中的恒溫水溫度由包含溫度傳感、制冷、加熱和控制的恒溫控制器1按使用者要求控制恒定，恒溫水經(jīng)水泵3通過管道5流入物鏡下水套10，并經(jīng)物鏡鏡筒9中的孔道8、上水套7和管道4，流回恒溫水箱2，恒溫水流經(jīng)物鏡的下上水套10、7時(shí)，通過下上水套與物鏡鏡筒、內(nèi)部透鏡框及光學(xué)透鏡元件進(jìn)行熱交換，使物鏡內(nèi)部溫度保持恒定。同時(shí)上下水套7和10還起密封內(nèi)部作用，使鏡筒9內(nèi)的光學(xué)系統(tǒng)與外界大氣隔絕，給物鏡光學(xué)系統(tǒng)的恒氣壓控制提供了條件。
如圖2所示水套由外殼13、隔熱層12以及水套體14組成，隔熱層12由至少10層(10-100層)鍍高反射率物質(zhì)薄膜捲成，以隔離周圍環(huán)境對(duì)物鏡溫度的影響，水套中水道11為螺旋槽形水道，水在水套中沿水道流動(dòng)，使整個(gè)物鏡恒溫。
如圖3所示水套同樣由外殼13、隔熱層12以及水套體14組成，隔熱層12由至少10層(10-100層)鍍高反射率物質(zhì)薄膜捲成，以隔離周圍環(huán)境對(duì)物鏡溫度的影響，水套中水道15為弓形水道，水在水套中沿弓形水道流動(dòng)，使整個(gè)物鏡恒溫。
權(quán)利要求1.亞半微米光刻物鏡的恒溫水套，包括有恒溫水溫度控制器(1)、恒溫水箱(2)、以及其上安裝的水泵(3)、管道(4)和(5)、指示溫度計(jì)(6)，其特征在于連通管道(4)、(5)的上下水套(7)和(10)緊套在物鏡鏡筒(9)外面，上下水套(7)和(10)中的水道(11)、(15)通過鏡筒(9)中的孔道(8)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的亞半微米光刻物鏡恒溫水套，其特征在于上下水套(7)和(10)的外面裝有隔熱層(12)，它是由至少10層鍍有高反射率物質(zhì)的薄膜捲成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的亞半微米光刻物鏡恒溫水套，其特征在于上下水套(7)和(10)中的水道(11)為螺旋槽形水道。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的亞半微米光刻物鏡恒溫水套，其特征在于上下水套(7)和(10)中的水道(15)為弓形水道。
專利摘要一種亞半微米光刻物鏡的恒溫水套,由恒溫水溫度控制、恒溫水箱、水泵和上下水套構(gòu)成,它緊套在物鏡鏡筒外面,通過水套與物鏡內(nèi)部進(jìn)行熱交換,達(dá)到物鏡內(nèi)部溫度恒定,從而保持物鏡的光學(xué)性能質(zhì)量穩(wěn)定,克服了由于長(zhǎng)時(shí)間通光或周圍環(huán)境溫度波動(dòng),引起物鏡內(nèi)部溫度變化,造成焦點(diǎn)漂移,產(chǎn)生新的畸變和像散,使成像質(zhì)量下降的缺點(diǎn)。
文檔編號(hào)G02B7/02GK2432594SQ0022378
公開日2001年5月30日 申請(qǐng)日期2000年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月26日
發(fā)明者陳旭南, 余國(guó)彬, 張津 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所