一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷及其制備方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷及其制備方法，該陶瓷材料的摩爾比組成式為：x?Ba(Zn1/3Nb2/3)O3+(1-x)ZnNb2O6，其中0.25≤x≤0.40，x為摩爾百分?jǐn)?shù)，制備方法是將ZnO、Nb2O5、BaCO3通過(guò)固相反應(yīng)法預(yù)先合成ZnNb2O6與Ba(Zn1/3Nb2/3)O3，按化學(xué)通式稱(chēng)量、混合、二次球磨后烘干；將粉體等靜壓壓制成圓柱狀坯體，燒結(jié)2h后冷卻。本發(fā)明提供了一種中介電常數(shù)、高Q×f值且諧振頻率溫度系數(shù)近零的新材料，且本發(fā)明提供了與材料相匹配的制備工藝，得到成瓷良好的微波介質(zhì)陶瓷，拓展了微波介質(zhì)應(yīng)用材料的選擇范圍。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通訊系統(tǒng)中的介質(zhì)諧振器、濾波器、北斗導(dǎo)航天線以及軍用雷達(dá)等微波元器件用的一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷及其制備方法，屬于信息功能材料科學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】 [0002]微波介質(zhì)陶瓷是指在微波頻段中作為介質(zhì)材料并完成一種或多種功能的陶瓷材料，是現(xiàn)代通信領(lǐng)域中廣泛使用的諧振器、濾波器、介質(zhì)基片、介質(zhì)導(dǎo)波回路等微波元器件的關(guān)鍵材料。隨著現(xiàn)代通訊技術(shù)的不斷發(fā)展，應(yīng)用于微波電路的介質(zhì)陶瓷材料，一般需要滿(mǎn)足:(1)高的相對(duì)介電常數(shù)L以減小器件尺寸，一般要求L >20; (2)高的品質(zhì)因子Q以降低損耗，一般要求QXf≥10000GHz ； (3)接近零的諧振頻率溫度系數(shù)τ f以保證器件的溫度穩(wěn)定性，一般要求 _15ppm/°C τ f 15ppm/°C。
[0003]鈮鐵礦結(jié)構(gòu)的ZnNb2O6具有較好的微波性能，其介電常數(shù)ε =25, QXf=87300GHz,且燒結(jié)溫度僅為1150°C。但其諧振頻率溫度系數(shù)偏移較大(Tf=-56ppm/°C)，介電常數(shù)較低，限制了其實(shí)際應(yīng)用。Feng Gao等在ZnNb2O6中添加lwt%V205+lwt%Bi203+2.5wt%Cu0可將陶瓷的燒結(jié)溫度降到880°C，介電性能為:ε r=23.4，QX f=46975GHz, τ =-44.89ppm/°C，氧化物摻雜使ZnNb2O6的τ f向正方向移動(dòng)，但達(dá)不到實(shí)際應(yīng)用要求；且介電常數(shù)較低，不利于器件的小型化生產(chǎn)。張迎春研究了 Ti4+和Ta5+對(duì)ZnNb2O6的B位離子取代，當(dāng)Ti4+取代形成ZnNb2(1_x)Tix0(6_3X)陶瓷，在x=0.76~0.87的范圍內(nèi)，諧振頻率溫度系數(shù)可以調(diào)整到零，但其QXf 卻大幅下降至 5000 ~10000GHz ;當(dāng) Ta5+ 取代 Nb5+ 形成 ZnNb2(1_x)Ta2xO6 陶瓷，在 x=0.62時(shí)，具有較高的QX f值，且諧振頻率溫度系數(shù)可以調(diào)節(jié)到零，但Ta價(jià)格昂貴，不利于大規(guī)模生產(chǎn)。
[0004]復(fù)合鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鈮鋅酸鋇(Ba (Znl73Nb273) O3)陶瓷既具有良好的介電性能(er=41)又具有正的諧振頻率溫度系數(shù)(τ f=+28ppm/°C )，在ZnNb2O6陶瓷中添加Ba (Zn1/3Nb2/3) O3，通過(guò)調(diào)整其添加量可得到諧振頻率溫度系數(shù)接近于零的微波復(fù)相陶瓷，同時(shí)可提高陶瓷的介電常數(shù)，便于器件的小型化生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種介電常數(shù)在30~35，具有高的QXf值與良好諧振頻率溫度系數(shù)的微波介質(zhì)陶瓷材料組成和制備方法，以滿(mǎn)足北斗導(dǎo)航天線以及軍用雷達(dá)等微波元器件對(duì)中介電常數(shù)(30~40)的微波介質(zhì)陶瓷材料的需求。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:一種中介電常數(shù)兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷，該陶瓷材料的摩爾比組成式為:x Ba (Znl73Nb273) O3+ (l_x) ZnNb2O6，其中x為摩爾分?jǐn)?shù)，0.25≤x≤0.40，是將Ba (Znl73Nb273) O3與ZnNb2O6做為基體材料，按不同比例復(fù)合添加而成。
[0007]一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷的制備方法，該方法包括如下步驟:
[0008](I)將純度為99.99%的ZnO和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C，預(yù)燒時(shí)間為2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉；
[0009](2)將純度為99.99%的BaCO3與ZnNb2O6預(yù)燒粉，按摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3)03預(yù)燒粉體；
[0010](3)將 ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba(Znl73Nb273) O3 預(yù)燒粉，按 xBa (Znl73Nb273) 03+(1-χ)ZnNb2O6 (0.25≤X≤0.40，χ為摩爾百分?jǐn)?shù))的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012_^6111111的圓柱狀，在30010^壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體；
[0011](4)將得到的陶瓷坯體按5°C /min的升溫速率升至1200°C~1220°C保溫2h，按2V /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫；
[0012](5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果是:⑴選取Ba(Zn1/3Nb2/3)03與ZnNb2O6作為基體材料，而且基體材料Ba(Zn1/3Nb2/3)03可由ZnNb2O6合成，便于生產(chǎn)；(2)本發(fā)明的配方中不含Pb、Cd等揮發(fā)性或重金屬物質(zhì)，是一種環(huán)境友好型微波介質(zhì)陶瓷；(3)原材料在國(guó)內(nèi)充足，價(jià)格低廉，且燒結(jié)溫度較低，有一定的節(jié)能優(yōu)勢(shì)，使現(xiàn)代通訊技術(shù)中高性能微波通訊元器件的低成本轉(zhuǎn)化成為可能；(4)本發(fā)明微波介質(zhì)復(fù)相陶瓷的介電性能優(yōu)異，特別是具有高QXf值的同時(shí)，材料的諧振頻率溫度系數(shù)接近于零，便于實(shí)際應(yīng)用。
[0014]本發(fā)明采用上述的配方及工藝，獲得一種兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷，其ε ,=30~35，QXf=21421 ~29611GHz (f 為 5.5 ~6GHz)，且 τ f 在-14 ~+llppm/°C之間，能滿(mǎn)足北斗導(dǎo)航天線以及軍用雷達(dá)等微波元器件對(duì)微波介質(zhì)陶瓷材料的需求。
【具體實(shí)施方式】
[0015]實(shí)施例一:
[0016]本實(shí)施例是一種微波介質(zhì)陶瓷。所述的微波介質(zhì)陶瓷是分別以純度為99.9%的ZnO, Nb2O5 和 BaCO3 為起始原料，按 xBa (Zn1/3Nb2/3) O3+(l_x) ZnNb2O6 (其中 χ=0.25，χ 為摩爾百分?jǐn)?shù))的化學(xué)劑量比配料。
[0017]本實(shí)施例還提出了一種制備所述微波介質(zhì)陶瓷的方法，其具體制備步驟是:
[0018](I)將純度為99.99%的ZnO和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C，預(yù)燒時(shí)間為2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉；
[0019](2)將純度為99.99%的BaC03、ZnNb2O6預(yù)燒粉，按摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3)03預(yù)燒粉體；[0020](3)將 ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba (Zn1/3Nb2/3) O3 預(yù)燒粉，按 0.25Ba (Zn1/3Nb2/3)03+0.75ZnNb206的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012mmX6mm的圓柱狀，在300MPa壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體；
[0021](4)將得到的陶瓷坯體按5°C /min的升溫速率升至1200°C保溫2h，按2V /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫；
[0022](5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
[0023]經(jīng)測(cè)試，本實(shí)施例陶瓷片的相對(duì)密度為97.8%，其電學(xué)性能見(jiàn)表1，其中介電常數(shù)為30.6，QXf?為21421GHz，諧振頻率溫度系數(shù)τ f為-13.2ppm/°C。
[0024]實(shí)施例二:
[0025]本實(shí)施例是一種微波介質(zhì)陶瓷。所述的微波介質(zhì)陶瓷是分別以純度為99.9%的ZnO, Nb2O5 和 BaCO3 為起始原料，按 xBa (Zn1/3Nb2/3) O3+(l_x) ZnNb2O6 (其中 χ=0.30，χ 為摩爾百分?jǐn)?shù))的化學(xué)劑量比配料。
[0026]本實(shí)施例還提出了一種制備所述微波介質(zhì)陶瓷的方法，其具體制備步驟是:
[0027](I)將純度為99.99%的Zn O和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C，預(yù)燒時(shí)間為2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉；
[0028](2)將純度為99.99%的BaC03、ZnNb2O6預(yù)燒粉，按摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3)03預(yù)燒粉體；
[0029](3)將 ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba (Zn1/3Nb2/3) O3 預(yù)燒粉，按 0.30Ba (Zn1/3Nb2/3)O3+0.70ZnNb206的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012mmX6mm的圓柱狀，在300MPa壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體；
[0030](4)將得到的陶瓷坯體按5°C /min的升溫速率升至1200°C保溫2h，按2V /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫；
[0031](5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
[0032]經(jīng)測(cè)試，本實(shí)施例陶瓷片的相對(duì)密度為96.9%，其電學(xué)性能見(jiàn)表1，其中介電常數(shù)為31.2，QXf?為29611GHz，諧振頻率溫度系數(shù)τ f為-2.3ppm/°C。
[0033]實(shí)施例三:
[0034]本實(shí)施例是一種微波介質(zhì)陶瓷。所述的微波介質(zhì)陶瓷是分別以純度為99.9%的ZnO, Nb2O5 和 BaCO3 為起始原料，按 xBa (Zn1/3Nb2/3) O3+(l_x) ZnNb2O6 (其中 χ=0.35，χ 為摩爾百分?jǐn)?shù))的化學(xué)劑量比配料。
[0035]本實(shí)施例還提出了一種制備所述微波介質(zhì)陶瓷的方法，其具體制備步驟是:
[0036](I)將純度為99.99%的ZnO和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C，預(yù)燒時(shí)間為2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉；
[0037](2)將純度為99.99%的BaC03、ZnNb2O6預(yù)燒粉，按摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3)03預(yù)燒粉體；
[0038](3)將 ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba (Zn1/3Nb2/3) O3 預(yù)燒粉，按 0.35Ba (Zn1/3Nb2/3)03+0.65ZnNb206的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012mmX6mm的圓柱狀，在300MPa壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體；
[0039](4)將得到的陶瓷坯體按5°C /min的升溫速率升至1220°C保溫2h，按2V /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫；
[0040](5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
[0041]經(jīng)測(cè)試，本實(shí)施例陶瓷片的相對(duì)密度為98.4%，其電學(xué)性能見(jiàn)表1，其中介電常數(shù)為33.1，QX f?為27354GHz，諧振頻率溫度系數(shù)τ f為4.0ppm/°C。
[0042]實(shí)施例四:
[0043]本實(shí)施例是一種微波介質(zhì)陶瓷。所述的微波介質(zhì)陶瓷是分別以純度為99.9%的ZnO, Nb2O5 和 BaCO3 為起始原料，按 xBa (Zn1/3Nb2/3) O3+(l_x) ZnNb2O6 (其中 χ=0.40，χ 為摩爾百分?jǐn)?shù))的化學(xué)劑量比配料。
[0044]本實(shí)施例還提出了一種制備所述微波介質(zhì)陶瓷的方法，其具體制備步驟是:
[0045](I)將純度為99.99%的ZnO和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C，預(yù)燒時(shí)間為2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉；
[0046](2)將純度為99.99%的BaC03、ZnNb2O6預(yù)燒粉，按摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3)03預(yù)燒粉體；
[0047](3)將 ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba (Zn1/3Nb2/3) O3 預(yù)燒粉，按 0.40Ba (Zn1/3Nb2/3)O3+0.BOZnNb2O6的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012mmX6mm的圓柱狀，在300MPa壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體；
[0048](4)將得到的陶瓷坯體按5°C /min的升溫速率升至1220°C保溫2h，按2V /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫；
[0049](5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣 打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
[0050]經(jīng)測(cè)試，本實(shí)施例陶瓷片的相對(duì)密度為98.1%，其電學(xué)性能見(jiàn)表1，其中介電常數(shù)為34.7，QX f?為23882GHz，諧振頻率溫度系數(shù)τ f為10.9ppm/°C。
[0051]表1實(shí)施例1~4中樣品的微波性能
[0052]
【權(quán)利要求】
1.一種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷，其特征在于:該陶瓷材料的摩爾比組成式為:
X Ba (Zn1/3Nb2/3) O3+ (I~x) ZnNb2O6 其中X為摩爾分?jǐn)?shù)，0.25 ^ X ^ 0.40。
2.—種中介電常數(shù)的兩相復(fù)合微波介質(zhì)陶瓷的制備方法，其特征是:該方法包括如下步驟: 1)將純度為99.99%的ZnO和Nb2O5按摩爾比1:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的ZnO和Nb2O5置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇按質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成ZnNb2O6,預(yù)燒溫度為1000°C,預(yù)燒時(shí)間為2h,預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到ZnNb2O6預(yù)燒粉； 2)將純度為99.99%的BaCO3與ZnNb2O6預(yù)燒粉摩爾比3:1稱(chēng)量，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇質(zhì)量比1:1加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，然后在50°C烘干6h、研磨、預(yù)燒制成Ba(Zn1/3Nb2/3)03，預(yù)燒溫度為1150°C，預(yù)燒時(shí)間2h，預(yù)燒后經(jīng)二次球磨、烘干得到Ba(Zn1/3Nb2/3) O3預(yù)燒粉；
3)將ZnNb2O6 預(yù)燒粉、Ba(Znl73Nb273) O3 預(yù)燒粉，按 xBa (Zn1/3Nb2/3) O3+(I_x) ZnNb2O6 的化學(xué)劑量比稱(chēng)量，其中0.25 < X < 0.40，X為摩爾分?jǐn)?shù)，將稱(chēng)量好的粉料置于尼龍球磨罐中，按粉料與乙醇質(zhì)量比1:1的比例加入無(wú)水乙醇，在球磨機(jī)上球磨12h，在50°C烘干6h之后，將粉體經(jīng)40目的篩網(wǎng)過(guò)篩之后，預(yù)壓成012mmX6mm的圓柱狀，在300MPa壓強(qiáng)下等靜壓壓制成型，得到圓柱狀陶瓷坯體； 4)將得到的陶瓷 坯體按5°C/min的升溫速率升至1200°C~1220°C，保溫2h，按2°C /min的降溫速率降至750°C，之后隨爐冷卻至室溫； 5)將燒結(jié)好的陶瓷試樣打磨拋光測(cè)試其密度與微波性能。
【文檔編號(hào)】C04B35/622GK103553603SQ201310471142
【公開(kāi)日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月10日
【發(fā)明者】高峰, 李志強(qiáng), 胡國(guó)辛, 張大帥, 史芳軍, 張麗娜 申請(qǐng)人:西安廣芯電子科技有限公司