專利名稱：石英砂提純清洗裝置與工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清洗裝置，特別是一種對(duì)石英砂進(jìn)行提純精制、清洗、過濾等工藝 過程為一體的石英砂提純清洗裝置；本發(fā)明還涉及使用該清洗裝置進(jìn)行提純清洗的工藝。
背景技術(shù)：
多年來，對(duì)于高硬度石英砂的提純清洗沒有一個(gè)好的裝置，大都采用作坊式間 歇式落后工藝，不但勞動(dòng)強(qiáng)度大，效率低，更重要的是產(chǎn)品質(zhì)量不能穩(wěn)定控制，不能滿 足高純度材料的要求?；诖?，先后出現(xiàn)了一些改進(jìn)技術(shù)和方案。中國公開專利文獻(xiàn) 200420121258. 9設(shè)計(jì)為通過罐體作垂直于地面的轉(zhuǎn)動(dòng)來使物料翻轉(zhuǎn)，達(dá)到動(dòng)態(tài)清洗的目 的。這種設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)、清洗與過濾作業(yè)在同一罐體進(jìn)行。此裝置可以減少機(jī)械攪拌 所產(chǎn)生的巨大磨損，但要讓質(zhì)量很重的裝有清洗劑和待清洗物料的罐體很平衡并較好控制 地轉(zhuǎn)動(dòng)并非易事，要消耗很大的動(dòng)力，加大能耗；進(jìn)出料均為一個(gè)口，操作相當(dāng)麻煩；濾網(wǎng) 設(shè)置在罐體內(nèi)部，不便于維護(hù)與更換；還有一個(gè)最大的弊端就是，在每次進(jìn)出料之前都要將 所有的管道斷開并脫離罐體，以便能讓罐體作垂直于地面的圓周運(yùn)動(dòng)。而每次清洗完畢，進(jìn) 入下一個(gè)清洗循環(huán)時(shí)，須再將所有管線與罐體連接上，操作不但煩瑣，而且容易造成清洗物 料及試劑出現(xiàn)“跑、漏、冒”現(xiàn)象，容易造成安全事故，沒有太大的工業(yè)實(shí)用性。
中國公開專利文獻(xiàn)200620069659. 3與中國公開專利文獻(xiàn)200420121258. 9有 相似之處，那就是將罐體兩側(cè)安裝在帶轉(zhuǎn)軸的支架上可以轉(zhuǎn)動(dòng)。中國公開專利文獻(xiàn) 200620069659. 3裝置內(nèi)安裝有帶葉片的機(jī)械攪拌器，清洗過程中與石英砂的磨擦很大，磨 損嚴(yán)重，會(huì)對(duì)物料造成二次污染。
中國公開專利文獻(xiàn)02205792. 7是一種反應(yīng)過濾器，帶機(jī)械攪拌裝置，過濾板設(shè)置 在罐體內(nèi)壁上，采用內(nèi)襯鈦材和兩層鈦材過濾夾板，過濾面積大是其優(yōu)點(diǎn)，過濾網(wǎng)的更換將 有很大的難度是其缺點(diǎn)。對(duì)于硬度大的石英砂采用機(jī)械攪拌會(huì)產(chǎn)生大的磨損。同時(shí)該設(shè)備 采用鈦材制造難度大，造價(jià)昂貴，投資高。而且，以上公開技術(shù)都采用夾套加熱，傳質(zhì)慢，影 響生產(chǎn)效率。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更為合理，制 造成本低，維護(hù)方便，可操作性強(qiáng)，清洗提純效果好的的石英砂提純清洗裝置。
本發(fā)明所要解決的另一個(gè)技術(shù)問題是提供了一種使用上述石英砂提純清洗裝置 進(jìn)行石英砂提純清洗的工藝。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明是一種石英 砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是它設(shè)有罐體，罐體上連接設(shè)有上封蓋和下封頭，上封蓋通過法 蘭、密封圈及緊固件與罐體連接，上封蓋上設(shè)有進(jìn)料器、液體進(jìn)料口、視鏡口、排空口和加熱 通氣口，罐體內(nèi)還設(shè)有加熱通氣管，加熱通氣管經(jīng)加熱通氣口伸出上封蓋并通過管路與外 熱源連接；所述的液體進(jìn)料口內(nèi)設(shè)有進(jìn)水管和進(jìn)酸液管，進(jìn)水管與水源連接，進(jìn)酸液管與貯酸槽連接；下封頭上設(shè)有過濾口和排料口，排料口上連接設(shè)有反沖洗口，反沖洗口通過管路 與貯液槽連接，排料口通過排料管路與貯料器連接；所述的罐體上設(shè)有出液口、掃吹口和排 液口，它還設(shè)有循環(huán)泵，循環(huán)泵通過管路分別與出液口、掃吹口連接；在罐體上還設(shè)有帶過 濾板的過濾口，在下封頭上還設(shè)有排液口，所述的過濾口與排液口均通過管路與廢液貯槽 連接。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的掃吹口為2 4個(gè)，均勻分布于處于同一水平面的 罐體下部上。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的掃吹口與罐體成30°C 60°C銳角。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的廢液貯槽通過管路經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體；廢液 貯槽還與廢水處理系統(tǒng)連接。這樣，可以回收部分清洗或酸洗溶液進(jìn)行循環(huán)利用。通過所 設(shè)的廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行廢水處理。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的排料口位于下封頭的正下方。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的罐體的罐壁由3層材料復(fù)合構(gòu)成，中間層為鋼體支 撐層，內(nèi)層是耐腐材料層，外層為防腐保溫材料層；所述的加熱通氣管的管壁結(jié)構(gòu)與罐體的 罐壁結(jié)構(gòu)相同。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述的 石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的內(nèi)層為聚三氟氯乙烯層或者聚四氟乙烯層；所述 的外層防腐保溫涂料層或防腐保溫纖維層；內(nèi)層和外層均采用襯與/或涂的方式設(shè)置。所 述的防腐保溫涂料、防腐保溫纖維可以為可以為現(xiàn)有技術(shù)中公開的任何一種可適應(yīng)于本發(fā) 明的防腐保溫涂料、防腐保溫纖維。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。以上所述 的石英砂提純清洗裝置，其特點(diǎn)是所述的過濾口上設(shè)有2塊過濾板，2塊過濾板內(nèi)放置有 過濾網(wǎng)；所述的過濾板的板體結(jié)構(gòu)與罐體的罐壁結(jié)構(gòu)相同，且在過濾板上均勻布滿直徑為 5 IOmm的過濾孔；所述的過濾網(wǎng)為四氟過濾網(wǎng)或其他耐腐材質(zhì)制成的過濾網(wǎng)。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題還可以通過以下的技術(shù)方案進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明是 一種用以上任何一項(xiàng)所述的石英砂的提純清洗裝置進(jìn)行石英砂的提純清洗的工藝，其特點(diǎn) 是，其步驟如下(1)打開排空口讓其始終處于開放狀態(tài)；然后將待處理的石英砂由進(jìn)料器進(jìn)入罐體中； 將水和酸液或其他清洗溶液經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體內(nèi)；石英砂與清洗溶液的固液比為1 2 :1，加入固液總量控制在罐體容積的70-75%;加料完畢，開啟循環(huán)泵，打開出液口和掃吹 口，循環(huán)泵不斷將罐體內(nèi)的液體由出液口抽出、再經(jīng)由掃吹口打入罐體內(nèi)，使罐體內(nèi)的物料 攪拌懸浮起來；它采用間歇方式，循環(huán)泵每運(yùn)行2-5min后停下，使物料靜置2-5min再開啟 循環(huán)泵；作業(yè)時(shí)，打開反沖洗口打入適量的高壓水，打開加熱通氣管對(duì)物料進(jìn)行加熱，加熱 溫度控制在80-90°C，整個(gè)清洗作業(yè)時(shí)間為3- ；(2)作業(yè)結(jié)束后，關(guān)閉加熱通氣管，關(guān)閉循環(huán)泵、出液口和掃吹口 ；靜置沉降10-30min， 開啟排液口，放出上層清液，然后關(guān)閉排液口，打開過濾口，放盡清洗溶液后關(guān)閉過濾口 ；再 向罐體內(nèi)通過清洗水，清洗水與石英砂的重量比為1 2:1，開啟循環(huán)泵，沖洗2-5min，關(guān)閉 循環(huán)泵，采用前述方法放盡清洗水，再加水重復(fù)操作若干次，直到排液口放出的清洗水呈中 性即停止水洗作業(yè)；最后打開排料口排出物料，打開反沖洗口打入適量高壓水沖洗掃凈排 料口物料，從而完成石英砂的提純清洗過程；排出的清洗溶液或清洗水根據(jù)需要循環(huán)利用。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明裝置及其工藝具有如下優(yōu)點(diǎn)1、作業(yè)時(shí)罐體內(nèi)無機(jī)械磨損，延長了設(shè)備的使用壽命，壁免了機(jī)械攪拌帶來的二次污染 O
2、酸洗、水洗及過濾在同一罐體內(nèi)進(jìn)行，簡化了操作程序，縮短作業(yè)周期，提高生 產(chǎn)效率；密閉作業(yè)，進(jìn)一步保證了產(chǎn)品純度；3、直接加熱可以加快傳質(zhì)，加快清洗反應(yīng)速度。
4、本發(fā)明裝置及工藝具有很好的工業(yè)實(shí)用性，低成本高效率的生產(chǎn)方式可充分保 證半導(dǎo)體和電子級(jí)石英砂質(zhì)量。同時(shí)該裝置和工藝還可用于其他化工反應(yīng)領(lǐng)域。


圖1為本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下參照附圖，進(jìn)一步描述本發(fā)明的具體技術(shù)方案，以便于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn) 一步地理解本發(fā)明，而不構(gòu)成對(duì)其權(quán)利的限制。
實(shí)施例1。參照?qǐng)D1。一種石英砂提純清洗裝置它設(shè)有罐體7，罐體7上連接設(shè) 有上封蓋2和下封頭13，上封蓋2通過法蘭、密封圈及緊固件與罐體7連接，上封蓋2上設(shè) 有進(jìn)料器1、液體進(jìn)料口、視鏡口、排空口和加熱通氣口，罐體7內(nèi)還設(shè)有加熱通氣管17，加 熱通氣管17經(jīng)加熱通氣口伸出上封蓋2并通過管路與外熱源連接；所述的液體進(jìn)料口內(nèi)設(shè) 有進(jìn)水管3和進(jìn)酸液管5，進(jìn)水管3與水源連接，進(jìn)酸液管5與貯酸槽4連接；下封頭13上 設(shè)有過濾口 11和排料口 14，排料口 14上連接設(shè)有反沖洗口 19，反沖洗口 19通過管路與貯 液槽15連接，排料口 14通過排料管路與貯料器12連接；所述的罐體7上設(shè)有出液口 18、 掃吹口 6和排液口 8，它還設(shè)有循環(huán)泵16，循環(huán)泵16通過管路分別與出液口 18、掃吹口 6連 接；在罐體7上還設(shè)有帶過濾板的過濾口 11，在下封頭13上還設(shè)有排液口 8，所述的過濾口 11與排液口 8均通過管路與廢液貯槽9連接。
實(shí)施例2。實(shí)施例1所述的石英砂提純清洗裝置中所述的掃吹口 6為4個(gè)，均勻 分布于處于同一水平面的罐體7下部上；所述的掃吹口 6與罐體7成30°C°C銳角。
實(shí)施例3。實(shí)施例1所述的石英砂提純清洗裝置中所述的掃吹口 6為3個(gè)，均勻 分布于處于同一水平面的罐體7下部上；所述的掃吹口 6與罐體7成60°C銳角。
實(shí)施例4。實(shí)施例1所述的石英砂提純清洗裝置中所述的掃吹口 6為3個(gè)，均勻 分布于處于同一水平面的罐體7下部上；所述的掃吹口 6與罐體7成45°C銳角。
實(shí)施例5。實(shí)施例1-4任何一項(xiàng)所述的石英砂提純清洗裝置中所述的廢液貯槽9 通過管路經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體7 ；廢液貯槽9還與廢水處理系統(tǒng)10連接。
實(shí)施例6。實(shí)施例1-5任何一項(xiàng)所述的石英砂提純清洗裝置中所述的排料口 14 位于下封頭13的正下方。
實(shí)施例7。實(shí)施例1-6任何一項(xiàng)所述的石英砂提純清洗裝置中所述的罐體的罐壁 由3層材料復(fù)合構(gòu)成，中間層為鋼體支撐層，內(nèi)層是耐腐材料層，外層為防腐保溫材料層； 所述的加熱通氣管的管壁結(jié)構(gòu)與罐體的罐壁結(jié)構(gòu)相同。
實(shí)施例8。實(shí)施例7所述的石英砂提純清洗裝置中所述的內(nèi)層為聚三氟氯乙烯 層或者聚四氟乙烯層；所述的外層防腐保溫涂料層或防腐保溫纖維層；內(nèi)層和外層均采用 襯與/或涂的方式設(shè)置。
實(shí)施例9。實(shí)施例7或8所述的石英砂提純清洗裝置中所述的過濾口 11上設(shè) 有2塊過濾板，2塊過濾板內(nèi)放置有過濾網(wǎng)；所述的過濾板的板體結(jié)構(gòu)與罐體的罐壁結(jié)構(gòu)相 同，且在過濾板上均勻布滿直徑為5 IOmm的過濾孔；所述的過濾網(wǎng)為四氟過濾網(wǎng)或其他 耐腐材質(zhì)制成的過濾網(wǎng)。
實(shí)施例10。一種用實(shí)施例1-9任何一項(xiàng)所述的石英砂的提純清洗裝置進(jìn)行石英砂 的提純清洗的工藝，其步驟如下(1)打開排空口讓其始終處于開放狀態(tài)；然后將待處理的石英砂由進(jìn)料器1進(jìn)入罐體 7中；將水和酸液或其他清洗溶液經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體7內(nèi)；石英砂與清洗溶液的固液比 為1 2 1，加入固液總量控制在罐體7容積的70-75% ；加料完畢，開啟循環(huán)泵16，打開出液 口 18和掃吹口 6，循環(huán)泵16不斷將罐體7內(nèi)的液體由出液口 18抽出、再經(jīng)由掃吹口 6打入 罐體7內(nèi)，使罐體7內(nèi)的物料攪拌懸浮起來；它采用間歇方式，循環(huán)泵16每運(yùn)行2-5min后停 下，使物料靜置2-5min再開啟循環(huán)泵16 ；作業(yè)時(shí)，打開反沖洗口 19打入適量的高壓水，打 開加熱通氣管17對(duì)物料進(jìn)行加熱，加熱溫度控制在80-90°C，整個(gè)清洗作業(yè)時(shí)間為3- ；(2)作業(yè)結(jié)束后，關(guān)閉加熱通氣管17，關(guān)閉循環(huán)泵16、出液口18和掃吹口 6 ；靜置沉降 10-30min，開啟排液口 8，放出上層清液，然后關(guān)閉排液口 8，打開過濾口 11，放盡清洗溶液 后關(guān)閉過濾口 11 ；再向罐體7內(nèi)通過清洗水，清洗水與石英砂的重量比為1 2 :1，開啟循 環(huán)泵16，沖洗2-5min，關(guān)閉循環(huán)泵16，采用前述方法放盡清洗水，再加水重復(fù)操作若干次， 直到排液口 8放出的清洗水呈中性即停止水洗作業(yè)；最后打開排料口 14排出物料，打開反 沖洗口 19打入適量高壓水沖洗掃凈排料口 14物料，從而完成石英砂的提純清洗過程；排出 的清洗溶液或清洗水根據(jù)需要循環(huán)利用。
權(quán)利要求
1.一種石英砂提純清洗裝置，其特征在于它設(shè)有罐體(7)，罐體(7)上連接設(shè)有上封 蓋(2)和下封頭(13)，上封蓋(2)通過法蘭、密封圈及緊固件與罐體(7)連接，上封蓋(2)上 設(shè)有進(jìn)料器(1)、液體進(jìn)料口、視鏡口、排空口和加熱通氣口，罐體(7 )內(nèi)還設(shè)有加熱通氣管 (17)，加熱通氣管(17)經(jīng)加熱通氣口伸出上封蓋(2)并通過管路與外熱源連接；所述的液 體進(jìn)料口內(nèi)設(shè)有進(jìn)水管(3 )和進(jìn)酸液管(5 )，進(jìn)水管(3 )與水源連接，進(jìn)酸液管(5 )與貯酸槽 (4)連接；下封頭(13)上設(shè)有過濾口(11)和排料口(14)，排料口(14)上連接設(shè)有反沖洗口 (19)，反沖洗口(19)通過管路與貯液槽(15)連接，排料口(14)通過排料管路與貯料器(12) 連接；所述的罐體(7)上設(shè)有出液口(18)、掃吹口(6)和排液口(8)，它還設(shè)有循環(huán)泵(16)， 循環(huán)泵(16)通過管路分別與出液口(18)、掃吹口(6)連接；在罐體(7)上還設(shè)有帶過濾板 的過濾口(11)，在下封頭(13)上還設(shè)有排液口(8)，所述的過濾口(11)與排液口(8)均通 過管路與廢液貯槽(9)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的掃吹口(6)為2 4個(gè)，均勻分布于處于同一水平面的罐體(7)下部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的掃吹口(6)與罐體 (7)成30°C 60°C銳角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的廢液貯槽(9)通過 管路經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體(7)；廢液貯槽(9)還與廢水處理系統(tǒng)(10)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的排料口(14)位于 下封頭(13)的正下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的罐體的罐壁由3 層材料復(fù)合構(gòu)成，中間層為鋼體支撐層，內(nèi)層是耐腐材料層，外層為防腐保溫材料層；所述 的加熱通氣管的管壁結(jié)構(gòu)與罐體的罐壁結(jié)構(gòu)相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的內(nèi)層為聚三氟氯 乙烯層或者聚四氟乙烯層；所述的外層防腐保溫涂料層或防腐保溫纖維層；內(nèi)層和外層均 采用襯與/或涂的方式設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的石英砂提純清洗裝置，其特征在于所述的過濾口(11) 上設(shè)有2塊過濾板，2塊過濾板內(nèi)放置有過濾網(wǎng)；所述的過濾板的板體結(jié)構(gòu)與罐體的罐壁結(jié) 構(gòu)相同，且在過濾板上均勻布滿直徑為5 IOmm的過濾孔；所述的過濾網(wǎng)為四氟過濾網(wǎng)或 其他耐腐材質(zhì)制成的過濾網(wǎng)。
9.一種用權(quán)利要求1-7任何一項(xiàng)所述的石英砂的提純清洗裝置進(jìn)行石英砂的提純清 洗的工藝，其特征在于，其步驟如下(1)打開排空口讓其始終處于開放狀態(tài)；然后將待處理的石英砂由進(jìn)料器(1)進(jìn)入罐 體(7)中；將水和酸液或其他清洗溶液經(jīng)液體進(jìn)料口通入罐體(7)內(nèi)；石英砂與清洗溶液 的固液比為1 2 :1，加入固液總量控制在罐體(7)容積的70-75% ；加料完畢，開啟循環(huán)泵 (16)，打開出液口(18)和掃吹口(6)，循環(huán)泵(16)不斷將罐體(7)內(nèi)的液體由出液口(18) 抽出、再經(jīng)由掃吹口( 6 )打入罐體(7 )內(nèi)，使罐體(7 )內(nèi)的物料攪拌懸浮起來；它采用間歇方 式，循環(huán)泵(16)每運(yùn)行2-5min后停下，使物料靜置2-5min再開啟循環(huán)泵(16)；作業(yè)時(shí)，打 開反沖洗口( 19)打入適量的高壓水，打開加熱通氣管(17)對(duì)物料進(jìn)行加熱，加熱溫度控制 在80-90°C，整個(gè)清洗作業(yè)時(shí)間為3- ；(2)作業(yè)結(jié)束后，關(guān)閉加熱通氣管(17)，關(guān)閉循環(huán)泵(16)、出液口(18)和掃吹口(6);靜 置沉降10-30min，開啟排液口(8)，放出上層清液，然后關(guān)閉排液口(8)，打開過濾口(11)， 放盡清洗溶液后關(guān)閉過濾口(11);再向罐體(7)內(nèi)通過清洗水，清洗水與石英砂的重量比為 1 2 :1，開啟循環(huán)泵(16)，沖洗2-5min，關(guān)閉循環(huán)泵(16)，采用前述方法放盡清洗水，再加 水重復(fù)操作若干次，直到排液口(8)放出的清洗水呈中性即停止水洗作業(yè)；最后打開排料 口(14)排出物料，打開反沖洗口(19)打入適量高壓水沖洗掃凈排料口(14)物料，從而完成 石英砂的提純清洗過程；排出的清洗溶液或清洗水根據(jù)需要循環(huán)利用。
全文摘要
一種石英砂提純清洗裝置，其特征在于它設(shè)有罐體，罐體上連接設(shè)有上封蓋和下封頭，上封蓋上設(shè)有進(jìn)料器、液體進(jìn)料口、視鏡口、排空口和加熱通氣口，罐體內(nèi)還設(shè)有加熱通氣管，加熱通氣管經(jīng)加熱通氣口伸出上封蓋并通過管路與外熱源連接；所述的液體進(jìn)料口內(nèi)設(shè)有進(jìn)水管和進(jìn)酸液管；下封頭上設(shè)有過濾口和排料口，排料口上連接設(shè)有反沖洗口。本發(fā)明還公開了石英砂提純清洗方法。本發(fā)明裝置作業(yè)時(shí)罐體內(nèi)無機(jī)械磨損，延長了設(shè)備的使用壽命，壁免了機(jī)械攪拌帶來的二次污染；酸洗、水洗及過濾在同一罐體內(nèi)進(jìn)行，簡化了操作程序，縮短作業(yè)周期，提高生產(chǎn)效率；密閉作業(yè)，進(jìn)一步保證了產(chǎn)品純度；直接加熱可以加快傳質(zhì)，加快清洗反應(yīng)速度。
文檔編號(hào)B08B3/08GK102029271SQ20101053467
公開日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月8日
發(fā)明者胡修權(quán) 申請(qǐng)人:連云港晶族新材料科技有限公司