技術編號：9815835
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術高純多晶硅(多晶硅)作為原材料用于通過直拉(切克勞斯基，Cz ο chra I sk i)(CZ)或區(qū)域熔融(FZ)方法生產(chǎn)半導體用的單晶硅，以及用于通過各種拉伸和鑄造方法生產(chǎn)單或多晶硅，用于生產(chǎn)光伏用的太陽能電池。通常借助西門子法(Siemens process)來生產(chǎn)多晶硅。這涉及將包含一種或多種含硅組分的反應氣體和可選的氫氣引入包括通過直接通電加熱的支撐體(支持體，supportbody)的反應器中，硅以固體形式沉積在支撐體上。使...
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