技術(shù)編號(hào)：9709756
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)用于集成電路制造和納米技術(shù)中的各種應(yīng)用中以創(chuàng)建并改變微觀和納米觀結(jié)構(gòu)。FIB系統(tǒng)可以使用各種源以產(chǎn)生離子，諸如等離子源或液體金屬離子源(LMIS)，其隨后聚焦至樣品上以用于成像和銑削(milling)。在近年，已經(jīng)開(kāi)發(fā)了利用等離子源以生成等離子聚焦離子束(P-FIBs)的各種FIB系統(tǒng)。P-FIB系統(tǒng)能夠產(chǎn)生比由利用諸如液體金屬離子源之類的其他離子源的FIB系統(tǒng)通常實(shí)現(xiàn)的更高的電流聚焦離子束。PFIB系統(tǒng)的更高電流聚焦離子束允許在樣...
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