技術(shù)編號：9553071
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明光學(xué)位移傳感器元件 本發(fā)明涉及光學(xué)位移傳感器元件。示例可以為壓力傳感器或麥克風(fēng)，其包括通過 由間隔件限定的腔分離的兩個基本上平坦的表面，表面之間的距離根據(jù)相對于腔中的壓力 的環(huán)境中壓力波動是可變的。在表面之間距離上的改變可以由表面中的一個或兩個的偏轉(zhuǎn) 引起，或由壓縮間隔件引起。 直到最近諸如麥克風(fēng)的位移傳感器一直基于電容器結(jié)構(gòu)和阻抗測量。這具有與靈 敏度、高電壓偏置、層之間的隔離、相對于背電極的膜的對準(zhǔn)和定位、對前置放大器的高要 求以及非線性響應(yīng)相...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。