技術(shù)編號(hào)：8898233
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在純離子納米薄膜過(guò)程中，為了更好地控制離子束流的運(yùn)行方向，以提高沉積速率，需要對(duì)磁場(chǎng)過(guò)濾器施加合適的偏壓(通常+15V左右)，因?yàn)殛?yáng)極接地，所以必須設(shè)計(jì)絕緣結(jié)構(gòu)使得磁場(chǎng)過(guò)濾器與陽(yáng)極之間絕緣。目前采用的絕緣方式如圖1、2所示，在接地陽(yáng)極30和磁場(chǎng)過(guò)濾器20之間設(shè)置環(huán)形絕緣墊板10a，環(huán)形絕緣墊板上下板面分別開設(shè)用于連接和固定陽(yáng)極以及磁場(chǎng)過(guò)濾器的小孔，環(huán)形絕緣墊板厚度為十幾厘米，環(huán)形絕緣墊板的內(nèi)徑和與陽(yáng)極的內(nèi)徑相一致。該種環(huán)形絕緣墊板在使用時(shí)，環(huán)形絕緣墊板的內(nèi)...
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