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一種高精度自動化光電晶體提拉爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8202565

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種光電晶體提拉爐,尤其涉及一種高精度自動化光電晶體提 拉爐。 背景技術(shù)人工晶體在科學(xué)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中起到越來越重要的作用,而人工晶 體的制備設(shè)備和制備技術(shù),成為了制約人工晶體產(chǎn)量和質(zhì)量的主要瓶頸。最先 進的人工晶體制備技術(shù)掌握在美國、德國、法國等發(fā)達國家手中,他們的晶體 提拉設(shè)備自動化程度高,易于實現(xiàn)批量生產(chǎn),生產(chǎn)的晶體質(zhì)量也很高,但是其 價格昂貴。目前世界上比較先進的晶體提拉主要面向單晶硅生長,適用于光電 晶體生長的自動化提拉設(shè)備還比較少見。國內(nèi)有少數(shù)企業(yè)也可以提供光電晶體 提拉設(shè)備,但技...
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