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以定向碳納米管層作為氣敏層的氣敏傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6099492

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本發(fā)明涉及一種電導(dǎo)型氣敏傳感器,特別涉及一種。背景技術(shù) 通常氧化物半導(dǎo)體型氣敏傳感器是利用待測氣體分子與氣敏傳感器的氣敏層表面發(fā)生化學(xué)吸附脫附反應(yīng)導(dǎo)致氣敏傳感器電導(dǎo)率變化來檢測待測氣體分子的存在的。為了提高氣敏傳感器的靈敏度和選擇性必須在一定的環(huán)境溫度下才能工作,通常該溫度為300℃以上,在室溫條件下,現(xiàn)有的氧化物半導(dǎo)體型氣敏傳感器是無法工作的,該常用的氣敏傳感器須設(shè)置一個加熱器,有的還需添加催化劑,才能使該型氣敏傳感器有足夠的靈敏度。其缺陷是由于高溫的存...
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