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具有能量收集器件的傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5265182

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本發(fā)明涉及一種傳感器,更具體地說,涉及一種具有能量收集器件的傳感器。背景技術(shù)傳感器有時(shí)被放在沒有電源或者電源受到例如蓄電池壽命或尺寸限制的位置。在MEMS傳感器有效的很多應(yīng)用中,一些微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器具有足夠大以影響蓄電池壽命的功率消耗。這種MEMS傳感器包括用于檢測(cè)位置、速度、加速度或磁場(chǎng)的傳感器。用于這種MEMS傳感器的應(yīng)用包括例如對(duì)智能手機(jī)的導(dǎo)航。動(dòng)態(tài)電磁感應(yīng)MEMS能量收集器通過將機(jī)械運(yùn)動(dòng)(諸如,能量收集器的一部分或所有的變形、位移、速度...
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