技術編號：39729749
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種高功率(hp)發(fā)生器，其配置成能夠向容性負載，特別是向等離子體過程提供具有高電壓值和/或高電流的高功率脈沖。本發(fā)明還涉及一種為等離子體過程提供高功率脈沖的方法。背景技術、容性負載是指具有容性部分的負載，這意味著該負載上的電壓上升意味著高電流能力。在這些情況下，電容部分可以至少為pf，優(yōu)選為pf或更高，例如在pf左右。這可能是等離子體處理過程中的負載，例如，等離子體處理應用。、一些等離子體處理應用，如蝕刻或?qū)映练e，需要高電壓(hv)、高頻(hf)、矩形、不對稱的...
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