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激光裝置、激光裝置的波長(zhǎng)控制方法和電子器件的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39729726

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本公開(kāi)涉及激光裝置、激光裝置的波長(zhǎng)控制方法和電子器件的制造方法。背景技術(shù)、近年來(lái),在半導(dǎo)體曝光裝置中,隨著半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)化和高集成化,要求分辨率的提高。因此,從曝光用光源發(fā)射的光的短波長(zhǎng)化得以發(fā)展。例如,作為曝光用的氣體激光裝置,使用輸出波長(zhǎng)大約為nm的激光的krf準(zhǔn)分子激光裝置、以及輸出波長(zhǎng)大約為nm的激光的arf準(zhǔn)分子激光裝置。、krf準(zhǔn)分子激光裝置和arf準(zhǔn)分子激光裝置的自然振蕩光的譜線寬度較寬,為~pm。因此,在利用使krf和arf激光這種紫外線透過(guò)的材...
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