技術(shù)編號：39729651
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及開關(guān)結(jié)構(gòu)，更具體地說，特別涉及一種mo源瓶開關(guān)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、隨著mocvd?設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛應(yīng)用，作為配套設(shè)施之一的mo源瓶溫控裝置也越來越重要。mo源瓶是mo（metalorganic?source）源的專用包裝容器。、mocvd已經(jīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體材料和器件的關(guān)鍵設(shè)備和工藝，在開啟mo源瓶時，源瓶內(nèi)外的壓力不同，容易造成原料液體倒灌到流量控制器或者壓強(qiáng)控制器里面去，這樣就容易損壞流量控制器和壓強(qiáng)控制器，這兩種儀器只能接觸氣體介質(zhì)而不是液體介質(zhì)，一旦接觸到液體介質(zhì)就容易損壞流量...
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