技術(shù)編號：39729570
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及矩形閥，尤其涉及一種推桿閉合式矩形手閥。背景技術(shù)、閥門是真空系統(tǒng)應(yīng)用中不可或缺的基礎(chǔ)元件。最重要的用途之一就是在兩個真空腔體之間起到隔斷的作用。在半導(dǎo)體行業(yè)中，多數(shù)時候需要在腔體最外部設(shè)置一個手動閥來進(jìn)行保護(hù)隔斷。因此，不僅需要此種手閥有較高的可靠性，還需要有一定的潔凈性。目前國內(nèi)的手閥多是利用傳統(tǒng)鋼球頂開的閥芯，驅(qū)動方式也是通過簡單的齒輪傳動進(jìn)行。主要問題是因為過多的金屬摩擦?xí)a(chǎn)生大量污染粒子，而且齒輪傳動也不如通過一個擺桿驅(qū)動更省力。隨著半導(dǎo)體國產(chǎn)化替代的興起，作為重要組成部件的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。