技術(shù)編號：39729205
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導體，涉及一種具有橫向電容結(jié)構(gòu)的硅調(diào)制器。背景技術(shù)、硅基光電子設備是指采用硅作為光波導的光電子設備。硅基光電子設備在近紅外波段透明，在光纖通信系統(tǒng)中有重要應用。由于硅通常用作集成電路的基板，所以硅基光電子可以在單個芯片上集成光學和電子器件。這種混合型設備可以采用現(xiàn)有的半導體制造技術(shù)來制造，可以提供芯片間及芯片內(nèi)更快數(shù)據(jù)傳輸?shù)墓鈱W互連。因此，增加了人們對硅基光電子的興趣。、硅調(diào)制器在光纖通信系統(tǒng)中負責把電信號加載到光域，是影響系統(tǒng)帶寬、能耗和信號完整性的核心器件?；诘入x子體色散效...
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