技術(shù)編號：39727881
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體外觀檢測設(shè)備照明光源濾波裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)普遍使用的光刻膠，在遭遇光線照射(特別是紫外線)即有曝光之效果，因此在顯影之前，都要遠(yuǎn)離此光源。、camtek?adi背照式(bsi)模塊使用的是白光，而白光會在幾秒內(nèi)使涂有光刻膠層的基材曝光，從而使可重復(fù)性的光刻工藝變得不可能。、因此，需要提出一種新的裝置來解決上述問題。技術(shù)實現(xiàn)思路、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體外觀檢測設(shè)備照明光源濾波裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。