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一種MEMS慣性傳感器及其集成制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39726545

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本發(fā)明涉及慣性傳感器,具體涉及一種mems慣性傳感器及其集成制作方法,可廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航、無(wú)人機(jī)、自動(dòng)駕駛、智能制造及高端工業(yè)領(lǐng)域。背景技術(shù)、慣性傳感器包含加速度計(jì)和陀螺儀以及它們單、雙、三軸組合,其中加速度計(jì)用來(lái)測(cè)量物體的加速度,陀螺儀用來(lái)測(cè)量物體的角速度,加速度和角速度的綜合測(cè)試可以清楚的描述物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。單個(gè)的集成mems慣性器件需匹配對(duì)應(yīng)的電路進(jìn)行信號(hào)的輸出,集成mems慣性器件與配套電路的集成將影響慣性傳感器的最終狀態(tài)。、現(xiàn)有mems慣性表頭單元和asic單元的封裝方式均采用單...
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