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MEMS器件和制造MEMS器件的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39707111

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本發(fā)明涉及mems器件和生產(chǎn)mems器件的方法。更具體地,本發(fā)明涉及包括兩個(gè)器件層的mems器件和用于制造雙層mems器件的方法。背景技術(shù)、使用硅基技術(shù)制造的微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件是普遍的。mems器件的典型應(yīng)用是慣性傳感器,其檢測(cè)加速度和角速度中的至少一個(gè)。該類型的mems器件廣泛用于消費(fèi)、汽車和工業(yè)應(yīng)用中。、mems器件中的電容感測(cè)通過(guò)檢測(cè)由兩個(gè)電極之間的距離變化引起的電容變化來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常,在可移動(dòng)電極與一個(gè)或更多個(gè)靜態(tài)電極之間感測(cè)電容。、在用于慣性感測(cè)的典型電容mems器件中,在...
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