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一種磁性懸臂梁的制備方法以及電磁掃描振鏡模組技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39679060

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本發(fā)明涉及振鏡,具體涉及一種磁性懸臂梁的制備方法以及電磁掃描振鏡模組。背景技術(shù)、振鏡技術(shù),從最初的機(jī)械裝置到現(xiàn)代高速、高精度電子光學(xué)設(shè)備,經(jīng)歷了漫長的發(fā)展而逐漸成熟;早期的機(jī)械振鏡由一個(gè)反射鏡、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(如電磁線圈和磁鐵系統(tǒng))、位置傳感器(如光學(xué)編碼器)和控制系統(tǒng)組成,主要依靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)(如電機(jī)驅(qū)動(dòng))實(shí)現(xiàn)反射鏡的擺動(dòng)。、目前,多軸振鏡系統(tǒng)結(jié)合智能控制系統(tǒng)能夠在多個(gè)方向上同時(shí)掃描并實(shí)時(shí)通過反饋?zhàn)赃m應(yīng)調(diào)整掃描參數(shù),能夠提高掃描效率、穩(wěn)定和精度;新材料(如輕質(zhì)高強(qiáng)度合金、復(fù)合材料)和新技術(shù)(如光學(xué)編...
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