技術(shù)編號：39678986
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種微機電系統(tǒng)(micro?electromechanical?system，mems)器件及其制造方法。背景技術(shù)、基于mems技術(shù)制作的慣性傳感器由于其具有結(jié)構(gòu)簡單、與微電子制作工藝兼容性好、可大批量制造等優(yōu)點而受到廣泛使用。但是，慣性傳感器的尺寸是當(dāng)前mems器件制造的挑戰(zhàn)。在一些情況下，由于可移動結(jié)構(gòu)的接觸面積減小，慣性傳感器的性能隨著慣性傳感器的尺寸減小而降低。、因此，目前急需在提高慣性傳感器的精度的同時減小慣性傳感器的尺寸和制造成本。技術(shù)實現(xiàn)思路、本...
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