技術編號：39677674
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及超聲換能器，具體為一種具有高k絕緣層增強結構的cmut及其工藝。背景技術、超聲換能器元件及傳感器是實現生物組織成像、設備結構健康檢測的核心元器件，廣泛應用于臨床醫(yī)學診療、重大裝備無損檢測等領域。傳統(tǒng)超聲換能器存在體積大、帶寬窄、二維陣列制備困難、不易與集成電路(integrated?circuit，ic)集成等問題，難以滿足航空航天重大裝備健康檢測、個性化超聲診療等應用領域對超聲換能器微型化和集成化的需求?；谖C電系統(tǒng)(micro?electromechanical?system，...
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