技術(shù)編號(hào)：39670322
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微納米加工，特別涉及一種半球諧振子加工技術(shù)。背景技術(shù)、目前，微電機(jī)系統(tǒng)(mems)技術(shù)中生產(chǎn)半球諧振陀螺儀的主要方法包括微玻璃吹制技術(shù)、犧牲層技術(shù)以及精密加工技術(shù)。盡管傳統(tǒng)的mems工藝如吹制法和犧牲層法在成本控制、技術(shù)復(fù)雜性以及與精加工法相比的優(yōu)勢(shì)方面表現(xiàn)出色，但這些方法在實(shí)際應(yīng)用中仍存在一些未能解決的技術(shù)難題。微玻璃吹制法難以實(shí)現(xiàn)幾十微米級(jí)別的諧振子加工，高溫吹制過程中生成的半球殼壁厚且均勻性差；火焰吹制法則要求高精度的石墨模具和精確的定位及加工平臺(tái)，且其釋放工藝效率不高。濕法刻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。