技術(shù)編號：39655047
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及mems領(lǐng)域，特別是涉及一種mems電容傳感器及其制備方法。背景技術(shù)、mems(micro-electro-mechanical?system，微電子機械系統(tǒng))電容傳感器通過檢測電容量的變化來探測外界物理量的變化。、三明治式mems電容傳感器由上蓋板、中間結(jié)構(gòu)板和下蓋板三層材料鍵合而成，上蓋板和中間結(jié)構(gòu)板之間，以及下蓋板和中間結(jié)構(gòu)板之間設(shè)有絕緣鍵合層，用于形成電容間隙以及構(gòu)成電絕緣。絕緣鍵合層會引入寄生電容，寄生電容不僅會降低傳感器的檢測靈敏度，同時由于寄生電容的漂移量不同于傳感器...
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