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一種用于微電子器件真空封裝的吸氣劑激活裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39654368

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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體,具體而言,涉及一種用于微電子器件真空封裝的吸氣劑激活裝置及方法。背景技術(shù)、以mems(micro-electro-mechanical?system,微機(jī)電系統(tǒng))諧振壓力計(jì)、mems時(shí)鐘震蕩器、mems陀螺、mems加速度計(jì)等為代表的諧振類電子器件需要在真空氣密環(huán)境下工作?,F(xiàn)階段,器件級(jí)封裝和晶圓級(jí)封裝是兩種主流的方法。封裝之后,由于密閉腔體內(nèi)部材料會(huì)逐漸釋放氣體,導(dǎo)致真空度降低,嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致器件失效。為此,通常采用非蒸散型薄膜吸氣劑對(duì)腔內(nèi)的殘余氣體進(jìn)行吸附,以維持器件內(nèi)部的...
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