技術(shù)編號(hào)：39526780
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜厚度測量，具體涉及一種薄膜厚度測量裝置及方法。背景技術(shù)、在薄膜的生產(chǎn)制造過程中，需要對(duì)薄膜的厚度進(jìn)行測量，現(xiàn)有的測量方法，如利用光源向薄膜發(fā)射光束，光束經(jīng)過薄膜上下兩表面的反射被接收器接收，通過計(jì)算兩反射光束的光程差來計(jì)算薄膜的厚度。、現(xiàn)有的薄膜樣品裁切后通過人工鋪在檢測臺(tái)上，薄膜平鋪存在劃痕和折痕且薄膜與檢測臺(tái)之間存在氣泡，薄膜放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上時(shí)不能保證平整，造成局部反射光束不能正常被接收器接收，造成測量誤差，且測量區(qū)域單一，測量數(shù)據(jù)不具備單一性，導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性不高。技術(shù)實(shí)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。