技術編號：39526768
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微機械傳感器領域，尤其涉及一種高對稱性微半球諧振結構成型方法。背景技術、半球諧振陀螺(hrg)是當前綜合性能最好的高精度振動式陀螺，在航空航天領域得到了廣泛的應用。微半球諧振陀螺(mhrg)是近年來興起的一種新型mems陀螺，采用創(chuàng)新的三維結構、高性能的材料來繼承半球諧振陀螺精度高、壽命長等優(yōu)點，且兼具體積小、功耗低、可批量生產(chǎn)、成本低等mems技術固有的優(yōu)勢，有望成為新一代高性能陀螺儀。、半球諧振陀螺(hrg)的諧振結構采用精密磨削和拋光工藝制造而成，可以達到極高的結構對稱性。但...
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