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基于微懸臂投影的光電式氣敏傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10611359

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氣敏傳感器是一種特定氣體濃度的電子器件,廣泛應(yīng)用于易燃/易爆/有毒氣體泄漏監(jiān)測、大氣污染監(jiān)測、室內(nèi)環(huán)境監(jiān)測、工藝過程控制、預(yù)報和自動控制、石油化工和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。目前半導(dǎo)體氣敏傳感器、石英諧振式氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器、電化學(xué)反應(yīng)式氣敏傳感器、光學(xué)式氣敏傳感器、熱傳導(dǎo)型氣敏傳感器、表面聲波氣敏傳感器等七種類型。其中,光光學(xué)式氣敏傳感器包括光干涉式、紅外吸收式、光纖化學(xué)材料式三種。光干涉式氣敏傳感器的原理是利用待測氣體與空氣折射率的不同而產(chǎn)生干涉現(xiàn)...
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