技術(shù)編號:10608002
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前,碳化硅單晶生產(chǎn)的溫度變化是通過調(diào)節(jié)感應(yīng)線圈的高度或調(diào)節(jié)功率來實現(xiàn)的,其溫度變化不穩(wěn)定,產(chǎn)品質(zhì)量不理想,同時在生產(chǎn)過程中存在安全隱患。發(fā)明內(nèi)容發(fā)明目的本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種溫度變化穩(wěn)定, 產(chǎn)品質(zhì)量高的。技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明所述的,它包括以下步驟,(1)使籽晶與坩堝同軸,且使籽晶與坩堝沿相反放線旋轉(zhuǎn);(2)通過控制晶體轉(zhuǎn)速和坩堝轉(zhuǎn)速,控制熔體溫度場和溫度分布;(3)使感應(yīng)線圈固定不動;(4)通過坩堝升降,調(diào)節(jié)碳化...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。