一種用于icp試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電感設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)，是除固體、液體和氣體以外的第四種物質(zhì)形態(tài)，它廣泛存在于宇宙和人類的活動中。隨著科技的發(fā)展，等離子體的應(yīng)用在不斷擴(kuò)展，在物理、化學(xué)、材料科學(xué)、微電子等領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用。
[0003]電感親合放電等離子體(Inductively Coupled Plasma，即ICP)是人們獲得等離子體的一種方法，將射頻功率輸入到非諧振感應(yīng)線圈，通過電感耦合將能量輸送給等離子體的方法叫電感耦合放電。為了獲得穩(wěn)定的低溫等離子體，需要用感應(yīng)線圈將射頻功率施加到放電的氣體中，為使等離子體保持穩(wěn)定，需要ICP感應(yīng)線圈的射頻阻抗保持穩(wěn)定，但現(xiàn)有技術(shù)中缺乏相關(guān)感應(yīng)線圈的研宄，常規(guī)的感應(yīng)線圈缺乏穩(wěn)定性和冷卻效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，該感應(yīng)線圈具有良好的穩(wěn)定性和冷卻效果。
[0005]—種用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，所述感應(yīng)線圈采用鍍銀銅管繞制，并采用螺旋線形式繞制3圈；
[0006]在所述感應(yīng)線圈的兩端焊接有進(jìn)水咀和出水咀。
[0007]在所述感應(yīng)線圈上加裝有4個固定板進(jìn)行加固。
[0008]所述固定板采用聚四氟乙烯板加工而成。
[0009]所述固定板的孔直徑等于所述鍍銀銅管的直徑。
[0010]所述固定板的孔距等于所述感應(yīng)線圈的螺距。
[0011]由上述本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案可以看出，應(yīng)用該感應(yīng)線圈的結(jié)構(gòu)，就可以具有良好的穩(wěn)定性和冷卻效果。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0013]圖1為本實(shí)用新型所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型所述固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0016]下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，如圖1所示為本實(shí)用新型所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈結(jié)構(gòu)示意圖，圖1中包括有鍍銀銅管1、進(jìn)水咀2、出水咀3和固定板4，具體結(jié)構(gòu)和組成為:
[0017]該感應(yīng)線圈采用鍍銀銅管I繞制，且鍍銀銅管I采用螺旋線形式繞制3圈；
[0018]為達(dá)到良好的冷卻效果，在所述感應(yīng)線圈的兩端焊接有進(jìn)水咀2和出水咀3，通過循環(huán)水進(jìn)行感應(yīng)線圈的冷卻。
[0019]為保證感應(yīng)線圈的間距固定牢靠，在所述感應(yīng)線圈上還可以加裝4個固定板進(jìn)行加固，如圖1所示的固定板4。
[0020]在具體實(shí)現(xiàn)中，固定板4可以采用聚四氟乙烯板加工而成，既具有一定的機(jī)械強(qiáng)度，又有良好的絕緣性能。
[0021]如圖2所示為本實(shí)用新型所述固定板的結(jié)構(gòu)示意圖，具體實(shí)現(xiàn)中，該固定板的孔直徑Φ可以等于鍍銀銅管I的直徑；還可以用固定板來限制所述感應(yīng)線圈的螺距，具體實(shí)現(xiàn)時，固定板的孔距d等于所述感應(yīng)線圈的螺距。
[0022]綜上所述，采用上述實(shí)施例所述的感應(yīng)線圈結(jié)構(gòu)，可以具有良好的穩(wěn)定性和冷卻效果；且線圈的間距固定牢靠，具有良好的絕緣性能。
[0023]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，其特征在于，所述感應(yīng)線圈采用鍍銀銅管繞制，并采用螺旋線形式繞制3圈； 在所述感應(yīng)線圈的兩端焊接有進(jìn)水咀和出水咀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，其特征在于， 在所述感應(yīng)線圈上加裝有4個固定板進(jìn)行加固。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，其特征在于， 所述固定板采用聚四氟乙稀板加工而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，其特征在于， 所述固定板的孔直徑等于所述鍍銀銅管的直徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，其特征在于， 所述固定板的孔距等于所述感應(yīng)線圈的螺距。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于ICP試驗(yàn)臺的感應(yīng)線圈，所述感應(yīng)線圈采用鍍銀銅管繞制，并采用螺旋線形式繞制3圈；在所述感應(yīng)線圈的兩端焊接有進(jìn)水咀和出水咀。在所述感應(yīng)線圈上加裝有4個固定板進(jìn)行加固。且所述固定板的孔直徑等于所述鍍銀銅管的直徑，所述固定板的孔距等于所述感應(yīng)線圈的螺距。應(yīng)用該感應(yīng)線圈的結(jié)構(gòu)，就可以具有良好的穩(wěn)定性和冷卻效果。
【IPC分類】H01F5-00, H05H1-46
【公開號】CN204498454
【申請?zhí)枴緾N201520120318
【發(fā)明人】蔡輝旭, 趙學(xué)琴, 張勇
【申請人】北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2015年2月28日