一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其包括第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)，所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均包括高導(dǎo)熱內(nèi)襯，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上具有用于容置待加熱法蘭的卡槽，且所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上貼設(shè)有發(fā)熱膜，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯和發(fā)熱膜外包覆有氣凝膠保溫層，且所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均通過(guò)連接線連接有接插件，所述接插件插接于電源上給發(fā)熱膜供電。上述卡扣式加熱器將發(fā)熱膜緊貼在高導(dǎo)熱內(nèi)襯上，使得即使在局部接觸的情況下，加熱器內(nèi)表面的溫度仍然非常均勻。從而大大延長(zhǎng)了加熱器的壽命。同時(shí)，真正使得卡扣的溫度和直管的溫度非常接近，徹底消除了由于局部低溫所導(dǎo)致的卡扣堵塞的問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】
一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體真空管道加熱技術(shù)，尤其是涉及一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體真空管道加熱已經(jīng)廣泛應(yīng)用于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中。由于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中(例如CVD，PECVD，Etch)有大量的可凝生成物的生成，對(duì)管道的加熱可以避免此類生成物在管道內(nèi)壁上的沉積，從而，避免了管道的堵塞，以保證半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的正常運(yùn)行。一個(gè)完美加熱的半導(dǎo)體管道可以大大增加設(shè)備的利用率，延長(zhǎng)真空栗的壽命，提高成品的良率，并且減少操作工人和有毒氣體的接觸。
[0003]為了便于真空管道的安裝和維護(hù)，在一個(gè)真空管道快速接頭。對(duì)于管道直徑小于50mm的管道，一般用KF形式的快速接頭。即用一個(gè)帶O型圈的中心圈來(lái)密封，用一個(gè)金屬卡扣將法蘭和中心圈緊固起來(lái)。對(duì)于直徑大于50mm的管道，一般都是ISO接頭來(lái)連接。由于法蘭的直徑往往要比管道的直徑要大許多，而且卡扣要比法蘭的直徑更大，所以在真空加熱管道上，在法蘭接頭處形成了一個(gè)散熱肋片。因此，溫度要比管道上低許多。按理來(lái)說(shuō)，為了保證管道沿線沒有冷點(diǎn)，首先要對(duì)管道上溫度最低的卡扣接頭進(jìn)行加熱。但是，由于卡扣不規(guī)則的外形，目前基本上都是對(duì)卡扣接頭進(jìn)行保溫處理，從而，在該加熱的地方卻沒有加熱。使得在卡扣接頭的溫度遠(yuǎn)低于直線管道的溫度。例如當(dāng)直線管道溫度在150°C時(shí)，卡扣的溫度一般只有115 °C左右。
[0004]對(duì)于不規(guī)則卡扣的加熱，用傳統(tǒng)的接觸式導(dǎo)熱來(lái)加熱往往是不可行的。這是因?yàn)槿嵝约訜崞魍怯脤?dǎo)熱性能比較差的材料來(lái)做成，例如，玻璃纖維或硅橡膠。因此局部與高導(dǎo)熱的金屬材料的接觸(例如，和鋁合金卡扣)會(huì)導(dǎo)致加熱器溫度分布的極其不均勻，往往引起局部的超高溫，從而使得加熱器局部過(guò)早老化，甚至燒毀。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其具有加熱效果好、加熱均勻和使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體真空管道加熱存在的上述問(wèn)題。
[0006]為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0007]—種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其包括第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)，所述第一加熱半環(huán)的一端與所述第二加熱半環(huán)的一端鉸接，所述第一加熱半環(huán)的另一端與所述第二加熱半環(huán)的另一端卡扣連接，其中，所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均包括高導(dǎo)熱內(nèi)襯，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上具有用于容置待加熱法蘭的卡槽，且所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上貼設(shè)有發(fā)熱膜，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯和發(fā)熱膜外包覆有氣凝膠保溫層，且所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均通過(guò)連接線連接有接插件，所述接插件插接于電源上給發(fā)熱膜供電。
[0008]特別地，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯采用鋁合金制成。
[0009]特別地，所述發(fā)熱膜包括位于中間的電加熱膜，所述電加熱膜的兩面均設(shè)置有玻纖層。
[0010]特別地，所述連接線上設(shè)置有用于控制加熱器溫度的控制器，所述控制器上設(shè)置有指示燈。
[0011]特別地，所述氣凝膠保溫層外設(shè)置有外皮，所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)的外皮上對(duì)應(yīng)設(shè)置有卡扣組件。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果為，與現(xiàn)有技術(shù)相比所述用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器將發(fā)熱膜緊貼在高導(dǎo)熱內(nèi)襯上，使得即使在局部接觸的情況下，加熱器內(nèi)表面的溫度仍然非常均勻。從而大大延長(zhǎng)了加熱器的壽命。解決了卡扣加熱器短壽命的問(wèn)題，同時(shí)，真正使得卡扣的溫度和直管的溫度非常接近，徹底消除了由于局部低溫所導(dǎo)致的卡扣堵塞的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】

[0013]圖1是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】I提供的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型【具體實(shí)施方式】I供的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖并通過(guò)【具體實(shí)施方式】來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0016]請(qǐng)參閱圖1和圖2所示，本實(shí)施例中，一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器包括第一加熱半環(huán)I和第二加熱半環(huán)2，所述第一加熱半環(huán)I的一端與所述第二加熱半環(huán)2的一端鉸接，所述第一加熱半環(huán)I的另一端與所述第二加熱半環(huán)2的另一端卡扣連接，所述第一加熱半環(huán)I和第二加熱半環(huán)2均包括高導(dǎo)熱內(nèi)襯3，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯3采用鋁合金制成，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯3上具有用于容置待加熱法蘭的卡槽4，且所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯3上貼設(shè)有發(fā)熱膜5，所述發(fā)熱膜5包括位于中間的電加熱膜，所述電加熱膜的兩面均設(shè)置有玻纖層。所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯3和發(fā)熱膜5外包覆有氣凝膠保溫層6。所述氣凝膠保溫層6外設(shè)置有外皮，所述第一加熱半環(huán)I和第二加熱半環(huán)2的外皮上對(duì)應(yīng)設(shè)置有卡扣組件。
[0017]所述第一加熱半環(huán)I和第二加熱半環(huán)2均通過(guò)連接線分別連接有公插件7和母插件8，所述公插件7和母插件8插接于電源上給發(fā)熱膜5供電。
[0018]所述母插件8的連接線上設(shè)置有控制器9，通過(guò)控制器9來(lái)控制發(fā)熱膜5的加熱溫度，所述控制器9上設(shè)置有指示燈10。
[0019]采用上述卡扣加熱器后，對(duì)于小直徑的KF卡扣，傳熱主要是通過(guò)高導(dǎo)熱內(nèi)襯3的卡扣本體來(lái)完成。而對(duì)于直徑較大的ISO法蘭，傳熱主要是通過(guò)空氣的導(dǎo)熱來(lái)完成。也就是說(shuō)，卡扣加熱器形成了一個(gè)烘箱，對(duì)金屬法蘭進(jìn)行有效的加熱。
[0020]上述用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器解決了加熱管道沿線上法蘭接頭處堵塞的問(wèn)題。極大的降低了設(shè)備的維護(hù)時(shí)間。在具體的實(shí)踐中，一半導(dǎo)體生產(chǎn)廠，在沒有使用上述卡扣加熱器之前，即使在聯(lián)合使用熱氮?dú)獾臈l件下，每一個(gè)月必須進(jìn)行管道的維護(hù)。也就是說(shuō)，要把局部管道更換，清洗。一般需要24?48小時(shí)。對(duì)于目前的半導(dǎo)體設(shè)備，這意味著12?24萬(wàn)美元的損失!而使用上述卡扣加熱器以后，6個(gè)月以后，管道仍然非常干凈?；旧喜恍枰吭碌墓艿蓝ㄆ诰S護(hù)。由于不需要拆裝管線，減少了工人對(duì)有毒氣體的接觸，對(duì)工人的身體健康大有益處！
[0021]以上實(shí)施例只是闡述了本實(shí)用新型的基本原理和特性，本實(shí)用新型不受上述事例限制，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其包括第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)，所述第一加熱半環(huán)的一端與所述第二加熱半環(huán)的一端鉸接，所述第一加熱半環(huán)的另一端與所述第二加熱半環(huán)的另一端卡扣連接，其特征在于，所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均包括高導(dǎo)熱內(nèi)襯，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上具有用于容置待加熱法蘭的卡槽，且所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯上貼設(shè)有發(fā)熱膜，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯和發(fā)熱膜外包覆有氣凝膠保溫層，且所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)均通過(guò)連接線連接有接插件，所述接插件插接于電源上給發(fā)熱膜供電。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其特征在于，所述高導(dǎo)熱內(nèi)襯采用鋁合金制成。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其特征在于，所述發(fā)熱膜包括位于中間的電加熱膜，所述電加熱膜的兩面均設(shè)置有玻纖層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其特征在于，所述連接線上設(shè)置有用于控制加熱器溫度的控制器，所述控制器上設(shè)置有指示燈。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體真空管道加熱的卡扣式加熱器，其特征在于，所述氣凝膠保溫層外設(shè)置有外皮，所述第一加熱半環(huán)和第二加熱半環(huán)的外皮上對(duì)應(yīng)設(shè)置有卡扣組件。
【文檔編號(hào)】H05B3/02GK205726461SQ201620570457
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年6月14日
【發(fā)明人】顧幼范, 謝龍
【申請(qǐng)人】無(wú)錫新輝龍科技有限公司