一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置，它包括圓盤基座（1）和盤簧（2），所述圓盤基座（1）由中心向四周開設(shè)有凹槽（1.1），邊緣為臺階面（1.2），在所述圓盤基座（1）的邊緣開設(shè)有三個等分的卡槽（1.3），所述盤簧（2）的一端豎直卡入卡槽（1.3）內(nèi)，另一端固定于圓盤基座（1）中心的立柱（1.4）上，在所述盤簧（2）卡入卡槽（1.3）內(nèi)的一端上設(shè)置有質(zhì)地相對較軟且耐一定溫度的套管（3）。本實用新型改變了傳統(tǒng)的背面金屬化固定裝置固定方法，將圓片邊緣與帶套管的彈簧接觸，增加圓片的邊緣接觸面積，即起到固定作用，又防止硬接觸造成的碎片問題，使二種目的都能實現(xiàn)，有效地降低了圓片的碎裂，適合工業(yè)化生產(chǎn)使用。
【專利說明】
一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種適用于半導體超薄圓片背面金屬化過程中的工裝夾具，屬于集成電路或分立器件圓片制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]于半導體分立器件而言，隨著封裝技術(shù)的進步與發(fā)展，對圓片的厚度要求是越來越薄，為適應(yīng)封裝的要求，半導體圓片的厚度也自然而然的變的越來越薄，圓片邊緣由于倒角因素的影響，變得越來越鋒利，這樣對半導體圓片的背面金屬化固定裝置提出了更高要求。
[0003]在本實用新型作出以前，常用的適用于背面金屬化的裝置主要采用以下:
[0004]現(xiàn)行裝置一:將整個圓片采用三個彈簧呈120度角均勻分布在固定裝置上，利用彈簧的收縮力固定圓片；
[0005]不足之處在于:
[0006]1、圓片邊緣鋒利時，彈簧與圓片邊緣點接觸，極易產(chǎn)生碎裂；
[0007]2、圓片較薄時，操作上不適用；
[0008]3、圓片正面易擦傷。
[0009]現(xiàn)行裝置二:將整個圓片放入空心圓環(huán)內(nèi)，圓片上面放上同一形狀的固定片，再采用彈簧片壓??；
[0010]不足之處在于:
[0011]1、圓片正面極易被固定片擦傷；
[0012]2、圓片有翹曲時，極易導致圓片碎裂；
[0013]3、生產(chǎn)效率低。
【實用新型內(nèi)容】
[0014]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種既能減少圓片碎裂又能保證正面質(zhì)量的超薄圓片背面金屬化的裝置。
[0015]本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案為:一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置，它包括圓盤基座和盤簧，所述圓盤基座由中心向四周開設(shè)有凹槽，邊緣為臺階面，在所述圓盤基座的邊緣開設(shè)有三個等分的卡槽，所述盤簧的一端豎直卡入卡槽內(nèi)，另一端固定于圓盤基座中心的立柱上，在所述盤簧卡入卡槽內(nèi)的一端上設(shè)置有質(zhì)地相對較軟且耐一定溫度的套管。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于:
[0017]本實用新型改變了傳統(tǒng)的背面金屬化固定裝置固定方法，將圓片邊緣與帶套管的彈簧接觸，增加圓片的邊緣接觸面積，即起到固定作用，又防止硬接觸造成的碎片問題，使二種目的都能實現(xiàn)，有效地降低了圓片的碎裂，適合工業(yè)化生產(chǎn)使用。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型實施例中的剖視圖。
[0019]圖2為本實用新型實施例中的俯視圖。
[0020]其中:
[0021]圓盤基座1、凹槽1.1、臺階面1.2、卡槽1.3、立柱1.4、盤簧2、套管3。
【具體實施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。
[0023]如圖1一圖2所示，本實施例中的一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置，包括圓盤基座I和盤簧2，所述圓盤基座I由中心向四周開設(shè)有凹槽1.1，邊緣為臺階面1.2，使得圓片放置于圓盤基座I上時只與邊緣的臺階面1.2接觸，在所述圓盤基座I的邊緣開設(shè)有三個等分的卡槽1.3，所述盤簧2的一端豎直卡入卡槽1.3內(nèi)，另一端固定于圓盤基座I中心的立柱1.4上，在所述盤簧2卡入卡槽1.3內(nèi)的一端上設(shè)置有質(zhì)地相對較軟且耐一定溫度的套管3，使得圓片位于固定裝置時邊緣與套管接觸，減少破裂。
[0024]具體使用如下:
[0025]將套上套管的盤簧固定在圓盤基座的卡槽內(nèi)，其中兩個盤簧直接卡入小槽內(nèi)，另一個盤簧暫不卡入固定裝置小槽內(nèi)；然后將圓片放入圓盤基座上，將另一個盤簧卡入卡槽內(nèi)固定，由于圓片邊緣不硬接觸，大幅減少圓片碎裂，且不易擦傷正面。
[0026]除上述實施例外，本實用新型還包括有其他實施方式，凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術(shù)方案，均應(yīng)落入本實用新型權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種適用于超薄圓片背面金屬化的固定裝置，其特征在于它包括圓盤基座(I)和盤簧(2)，所述圓盤基座(I)由中心向四周開設(shè)有凹槽(1.1)，邊緣為臺階面(1.2)，在所述圓盤基座(I)的邊緣開設(shè)有三個等分的卡槽(1.3)，所述盤簧(2)的一端豎直卡入卡槽(1.3)內(nèi)，另一端固定于圓盤基座(I)中心的立柱(1.4)上，在所述盤簧(2)卡入卡槽(1.3)內(nèi)的一端上設(shè)置有質(zhì)地相對較軟且耐一定溫度的套管(3)。
【文檔編號】H01L21/687GK205645786SQ201620322190
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年4月18日
【發(fā)明人】丁軍, 陳坤伍, 李建立, 王友鑄, 陶勇, 潘偉, 呂偉
【申請人】江陰新順微電子有限公司