凈化裝置以及凈化方法
【專利摘要】?jī)艋b置(30)具備：調(diào)整在供給管(31)中朝收納容器供給的凈化氣體的供給流量的供給流量調(diào)整部(35、41)；以及調(diào)整在排出管(33)中從收納容器的內(nèi)部吸氣的凈化氣體的吸氣流量以使得收納容器的內(nèi)部(54)的壓力相對(duì)于收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓的吸氣流量調(diào)整部(37、42)，供給流量調(diào)整部能夠以第1流量(f1)以及比第1流量大的流量即第2流量(f2)至少兩個(gè)階段調(diào)整供給流量，吸氣流量調(diào)整部在供給流量為第1流量的情況下使吸氣流量為零。
【專利說明】
凈化裝置以及凈化方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及利用惰性氣體或者潔凈干燥空氣等凈化氣體對(duì)收納有被收納物的收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理的凈化裝置以及凈化方法。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，公知有通過朝收納有半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等被收納物的收納容器的內(nèi)部注入凈化氣體來保持潔凈度(進(jìn)行所謂的凈化處理)的凈化裝置。對(duì)于這種凈化裝置所進(jìn)行的凈化處理，例如，在大量使用凈化氣體的凈化儲(chǔ)料器等中，在密閉區(qū)域中進(jìn)行。進(jìn)而，為了抑制朝這種密閉區(qū)域的內(nèi)部、進(jìn)而從該密閉區(qū)域朝密閉區(qū)域的外部排出需要進(jìn)行某種應(yīng)對(duì)的濃度的凈化氣體這一情況，例如，如專利文獻(xiàn)I所示，在收納容器的凈化氣體的排出口連接排氣管，進(jìn)行經(jīng)由排氣管來回收凈化氣體的處理。在這種構(gòu)成的凈化裝置中，由于在朝排氣管排出凈化氣體的方面沒有足夠的壓力，因此形成為如下的結(jié)構(gòu):連接現(xiàn)有的吸氣單元等，強(qiáng)制性地吸入并回收凈化氣體。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007 — 5604號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]然而，在上述的構(gòu)成中，例如，若與朝收納容器供給的凈化氣體的量相比而從收納容器吸氣的凈化氣體的量多，則存在收納容器內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部成為負(fù)壓的顧慮。在該情況下，例如，存在從收納容器中的凈化氣體的供給口或主體部與蓋部之間等吸入臟污空氣以及/或者塵埃等的情況，并非所期望的狀態(tài)。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于，即便在任意地設(shè)定變更朝收納容器的凈化氣體的供給流量的情況下，也能夠抑制朝凈化裝置所被配置的密閉區(qū)域泄漏的凈化氣體的量、并且能夠防止朝收納容器的內(nèi)部吸入臟污空氣以及/或者塵埃這一情況的凈化裝置以及凈化方法。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的凈化裝置是利用凈化氣體對(duì)收納有被收納物的收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理的凈化裝置，具備:供給管，通過與收納容器連接而朝收納容器供給上述凈化氣體;供給流量調(diào)整部，調(diào)整在供給管中朝收納容器供給的凈化氣體的供給流量;排出管，通過與收納容器連接而將收納容器內(nèi)部的凈化氣體排出；以及吸氣流量調(diào)整部，調(diào)整在排出管中從收納容器的內(nèi)部吸氣的凈化氣體的吸氣流量，以使得收納容器的內(nèi)部的壓力不會(huì)相對(duì)于收納容器的外部成為負(fù)壓，供給流量調(diào)整部能夠以第I流量以及比第I流量大的流量即第2流量至少兩個(gè)階段進(jìn)行供給流量的調(diào)整，吸氣流量調(diào)整部在供給流量為第I流量的情況下使吸氣流量為零。[0011 ]本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的凈化方法是利用凈化氣體對(duì)收納有被收納物的收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理時(shí)的凈化方法，包括:供給流量調(diào)整工序，調(diào)整朝收納容器供給的凈化氣體的供給流量；以及吸氣流量調(diào)整工序，調(diào)整從收納容器的內(nèi)部吸氣的凈化氣體的吸氣流量，以使得收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓，在供給流量調(diào)整工序中，以第I流量以及比第I流量大的流量即第2流量至少兩個(gè)階段調(diào)整供給流量，在吸氣流量調(diào)整工序中，在供給流量為第I流量的情況下，進(jìn)行調(diào)整以使得吸氣流量為零。
[0012]根據(jù)上述構(gòu)成的凈化裝置以及上述的凈化方法，由于從排出管對(duì)收納容器內(nèi)部的凈化氣體進(jìn)行吸氣，因此能夠抑制在收納容器中從連接有排出管的排出口以外的部分泄漏的凈化氣體的量。并且，根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置，調(diào)整吸氣流量，以使得收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓。由此，不會(huì)出現(xiàn)從收納容器的外部朝收納容器的內(nèi)部吸入臟污空氣或塵埃這一情況。結(jié)果，能夠抑制朝凈化裝置所被配置的密閉區(qū)域泄漏的凈化氣體的量，并且能夠防止朝收納容器的內(nèi)部吸入臟污空氣或塵埃這一情況。
[0013]此外，根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置，朝收納容器供給的凈化氣體的供給流量能夠任意地設(shè)定變更，因此能夠以各種模式朝收納容器供給凈化氣體。進(jìn)而，即便在變更了凈化氣體的供給流量的情況下，也在供給流量比較小的情況下使吸氣流量為零。由此，即便收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部錯(cuò)誤也能夠使其不會(huì)成為負(fù)壓。
[0014]本申請(qǐng)
【發(fā)明人】經(jīng)過深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了如下情況:在從收納容器的內(nèi)部對(duì)凈化氣體進(jìn)行吸氣的情況下，盡管正實(shí)施凈化處理、即盡管正朝收納容器供給凈化氣體，但在朝收納容器的凈化氣體的供給流量比預(yù)定流量小的情況下，收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部成為負(fù)壓。
[0015]因此，在一個(gè)實(shí)施方式中，也可以為，在連接有供給管以及排出管時(shí)，若朝收納容器供給凈化氣體的流量比預(yù)定流量小則存在收納容器的內(nèi)部相對(duì)于收納容器的外部成為負(fù)壓的顧慮的收納容器中，以下述方式設(shè)定第I流量以及第2流量。即、可以將第I流量設(shè)為上述預(yù)定流量以下的流量，將第2流量設(shè)為比上述預(yù)定流量大的流量。
[0016]根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置，即便在變更了朝收納容器供給的凈化氣體的流量的情況下，在排出管中從收納容器的內(nèi)部吸氣的凈化氣體的吸氣流量也被變更，以使得收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓。
[0017]并且，在一個(gè)實(shí)施方式中，也可以為，吸氣流量調(diào)整部具有設(shè)置于排出管的閥和控制閥的開閉的吸氣流量控制部，吸氣流量控制部在供給流量為第I流量的情況下控制為關(guān)閉閥，在供給流量為第2流量的情況下控制為打開閥。
[0018]根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置，能夠以比較簡(jiǎn)單的構(gòu)成變更從收納容器的內(nèi)部吸氣的凈化氣體的吸氣流量。
[0019]并且，在一個(gè)實(shí)施方式中，也可以為，還具備排出裝置，該排出裝置將從收納容器中連接有排出管的排出口以外的部分泄漏至收納容器的外部的凈化氣體排出。
[0020]在該構(gòu)成的凈化裝置中，在供給小流量的凈化氣體的情況下，為了防止收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于外部的壓力成為負(fù)壓，例如關(guān)閉閥等而在吸氣流量調(diào)整部中控制吸氣流量。在該情況下，存在凈化氣體從收納容器中的排出口以外的部分泄漏的顧慮。在該構(gòu)成的凈化裝置中，由于排出裝置能夠回收從排出口以外的部分泄漏的凈化氣體并排出，因此能夠抑制凈化氣體從凈化裝置所被配置的區(qū)域泄漏這一情況。
[0021]發(fā)明效果
[0022]根據(jù)本發(fā)明，即便在將朝收納容器的凈化氣體的供給流量任意地設(shè)定變更的情況下，也能夠抑制朝凈化裝置所被配置的密閉區(qū)域泄漏的凈化氣體的量，并且能夠防止朝收納容器的內(nèi)部吸入臟污空氣或塵埃。
【附圖說明】
[0023]圖1是示出具備一個(gè)實(shí)施方式所涉及的凈化裝置的凈化儲(chǔ)料器的主視圖。
[0024]圖2是從II一 II線觀察圖1的凈化儲(chǔ)料器的剖視圖。
[0025]圖3(A)是示出由圖1的凈化裝置凈化處理的收納容器的剖視圖，圖3(B)是示出由圖1的凈化裝置凈化處理的收納容器的立體圖。
[0026]圖4是示出圖1的凈化裝置的構(gòu)成的概要構(gòu)成圖。
[0027]圖5是示出以與排出管連接的狀態(tài)對(duì)收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理時(shí)的、凈化氣體的供給流量與收納容器內(nèi)部的壓力之間的關(guān)系的圖表。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下，參照附圖對(duì)一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。在附圖的說明中，對(duì)同一要素標(biāo)注同一標(biāo)號(hào)并省略重復(fù)的說明。附圖的尺寸比率未必與所說明的部件的尺寸比率一致。
[0029]對(duì)一個(gè)實(shí)施方式所涉及的凈化裝置30(參照?qǐng)D4)進(jìn)行說明。凈化裝置30是利用凈化氣體對(duì)收納有半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等被收納物的F0UP(Front Opening UnifiedPod)等收納容器50(參照?qǐng)D3(A)以及圖3(B))的內(nèi)部54進(jìn)行凈化處理的裝置。凈化裝置30配置于如圖1以及圖2所示的、保管收納有被收納物的收納容器50的凈化儲(chǔ)料器I等。凈化儲(chǔ)料器I例如設(shè)置于潔凈室100。
[0030]如圖1以及圖2所示，潔凈室100具有第I地面100A和第2地面100B。第2地面100B是用于供作業(yè)者移動(dòng)的地面、并且也是將潔凈室100分隔成兩個(gè)區(qū)域的部分。由第I地面100A和第2地面100B夾著的區(qū)域通常是作業(yè)者無法進(jìn)入的區(qū)域，是配置有各種裝置、配管、配線，或凈化氣體從后述的排氣口 15A所被排出到的區(qū)域。第2地面100B能夠由格柵板或者沖孔板等構(gòu)成。
[0031]設(shè)置于這種潔凈室100的凈化儲(chǔ)料器I具備:隔板3、FFU(Fan FilterUnit)5、支架7、起重機(jī)9、排氣口 15A、OHT(Overhead Hoist Transfer) 口 21 以及人工口 23。
[0032]隔板3是凈化儲(chǔ)料器I的罩板、且是對(duì)第I地面100A上方的區(qū)域進(jìn)行分隔(劃分)的部分，在其內(nèi)側(cè)形成有保管區(qū)域IA13FFU 5在由隔板3隔開的空間的頂棚部分、即保管區(qū)域IA的上方沿著預(yù)定方向設(shè)置有多個(gè)。FFU 5從保管區(qū)域IA的外部朝保管區(qū)域IA內(nèi)吸入空氣，并將潔凈空氣朝保管區(qū)域IA的下方吹出。另外，在潔凈室的頂棚通常配置有FFU，因此，在凈化儲(chǔ)料器的頂棚距潔凈室的頂棚近的情況下，也可以利用潔凈室的FFU。排氣口 15A設(shè)置在保管區(qū)域IA的底部附近，是將凈化氣體朝潔凈室100的第I地面100A與第2地面100B之間的區(qū)域排出的部分。凈化氣體由排氣用風(fēng)扇15從保管區(qū)域IA排出。即、利用FFU 5以及排氣用風(fēng)扇15構(gòu)成一個(gè)排氣系統(tǒng)(排出裝置)(以下將該排氣系統(tǒng)也稱為“第I排氣系統(tǒng)”)。
[0033]支架7是保管收納容器50的部分，在保管區(qū)域IA內(nèi)通常設(shè)置有I?2列(此處為2列)。各支架7沿預(yù)定方向X延伸，相鄰的2個(gè)支架7、7以對(duì)置的方式大致平行地配置。在各支架7，沿著預(yù)定方向X以及鉛垂方向形成有多個(gè)載置并保管收納容器50的保管架7A。
[0034]起重機(jī)9是將收納容器50相對(duì)于保管架7A取出放入的部分，配置在由對(duì)置的支架7、7夾著的區(qū)域。起重機(jī)9通過在沿著支架7的延伸方向X配置于地面的行進(jìn)軌道(未圖示)上行進(jìn)，能夠沿著支架7而在預(yù)定方向X上移動(dòng)。起重機(jī)9的載臺(tái)9A設(shè)置成能夠沿著導(dǎo)軌9B升降，能夠相對(duì)于沿鉛垂方向設(shè)置的多個(gè)保管架7A而將收納容器50取出放入。
[0035]收納容器50相對(duì)于凈化儲(chǔ)料器I的取出放入從OHT 口 21以及人工口 23進(jìn)行。OHT 口21是在沿敷設(shè)于頂棚100C的行進(jìn)軌道25行進(jìn)的橋式吊車(0HT)27與凈化儲(chǔ)料器I之間交接收納容器50的部分，具有輸送收納容器50的輸送器21A。人工口 23是在作業(yè)者與凈化儲(chǔ)料器I之間交接收納容器50的部分，具有輸送收納容器50的輸送器23A。
[0036]在支架7的保管架7A上設(shè)置有利用凈化氣體(例如氮?dú)?對(duì)所載置的收納容器50的內(nèi)部54進(jìn)行凈化的凈化裝置30。凈化裝置30是用于朝載置于保管架7A的收納容器50內(nèi)供給凈化氣體以及將凈化氣體排出的裝置。
[0037]此處，對(duì)收納容器50進(jìn)行說明。如圖3(A)以及圖3(B)所示，收納容器50具備形成殼體的主體部51以及蓋部53。收納容器50利用主體部51和蓋部53形成收納容器50的內(nèi)部54。在收納容器50的內(nèi)部54收納有多個(gè)半導(dǎo)體晶片(未圖示)。
[0038]在主體部51中，在成為底面的底面部52的下表面，當(dāng)以蓋部53所配置的一側(cè)作為前方時(shí)，在前端部的左右兩端附近設(shè)置有排出口 56，在后端部的左右兩端設(shè)置有供給口 55。供給口 55由連接部52A以及連通部52C形成。排出口 56由連接部52B以及連通部52D形成。在該例子中，連接部52A構(gòu)成為能夠與后面詳述的凈化裝置30的供給管31連接。并且，連接部52B構(gòu)成為能夠與凈化裝置30的排出管33連接。在連接部52A、52B，分別形成有與供給管31以及排出管33的內(nèi)徑相同直徑的連通部52C、52D。連通部52C、52D是連通收納容器50的內(nèi)部54和收納容器50的外部的孔部。
[0039]蓋部53配置于作為主體部51的側(cè)面的一個(gè)面。在蓋部53例如設(shè)置有閂鎖機(jī)構(gòu)58。閂鎖機(jī)構(gòu)58具有閂鎖部58A和凸輪部58B。閂鎖部58A構(gòu)成為:在將鑰匙(未圖示)插入至設(shè)置于凸輪部58B的插入口 58C的狀態(tài)下，若使該鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)，則閂鎖部58A的與凸輪部58B所處的一側(cè)相反側(cè)的端部伸出或縮入。進(jìn)而，通過該閂鎖部58A的端部與在同閂鎖部58A對(duì)置的面、且是在主體部51設(shè)置的嵌合槽51A嵌合，蓋部53被固定于主體部51。
[0040]其次，對(duì)利用凈化氣體(例如氮?dú)?對(duì)如上所述的收納容器50的內(nèi)部54進(jìn)行凈化處理的凈化裝置30進(jìn)行說明。如圖4所示，凈化裝置30具備:供給管31、MFC(Mass FlowContro 11 er)(供給流量調(diào)整部)35、凈化氣體源(未圖示)、排出管33、閥(吸氣流量調(diào)整部)37以及控制部40。
[0041]供給管31的前端形成為噴嘴，是通過與收納容器的供給口55連接而朝收納容器50供給凈化氣體的部分。在本實(shí)施方式中，供給管31通過與連接部52A密接而與連通部52C連接。MFC 35是計(jì)測(cè)在供給管31流動(dòng)的凈化氣體的質(zhì)量流量、并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。本實(shí)施方式的MFC 35由后述的供給流量控制部(供給流量調(diào)整部)41進(jìn)行流量控制。凈化氣體源(未圖示)是貯存凈化氣體的罐。
[0042]排出管33的前端形成為噴嘴，是通過與收納容器50的排出口56連接而將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體吸氣、并將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體排出的部分。在本實(shí)施方式中，排出管33通過與連接部52B密接而與連通部52D連接。閥37調(diào)整在排出管33中吸氣的凈化氣體的流量，以使得收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部不會(huì)成為負(fù)壓。閥37例如能夠采用電磁式或者氣動(dòng)式等、能夠遙控的構(gòu)成的設(shè)備。本實(shí)施方式的閥37由后述的吸氣流量控制部(吸氣流量調(diào)整部)42進(jìn)行開閥控制以及閉閥控制。
[0043]如圖4所示，對(duì)于本實(shí)施方式的凈化裝置30中的排出管33，來自多個(gè)凈化裝置30的排出管33匯集，并經(jīng)由潔凈室100中的第I地面100A與第2地面100B之間的區(qū)域而與現(xiàn)有的負(fù)壓排氣管道連接(參照?qǐng)D1以及圖2)。根據(jù)這種構(gòu)成，連接于各凈化裝置30的排出管33能夠通過與收納容器50的排出口 56連接而將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體吸氣，并將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體經(jīng)由負(fù)壓排氣管道排出。換言之，利用各排出管33以及負(fù)壓排氣管道構(gòu)成一個(gè)排氣系統(tǒng)(以下將該排氣系統(tǒng)也稱為“第2排氣系統(tǒng)”)。
[0044]控制部4O是對(duì)凈化裝置3 O中的各種凈化處理進(jìn)行控制的部分，例如是由CP U(Central Processing Unit)、R0M(Read Only Memory)、RAM (Random Access Memory)等構(gòu)成的電子控制單元?？刂撇?0如圖4所示具有作為執(zhí)行凈化裝置30的各種控制處理的概念部分的供給流量控制部41和吸氣流量控制部42。這種概念部分所執(zhí)行的功能是基于CPU等的控制執(zhí)行的。
[0045]供給流量控制部41是為了調(diào)整朝收納容器50供給凈化氣體的供給流量而控制MFC35的部分。吸氣流量控制部42是進(jìn)行控制以便在第I流量時(shí)關(guān)閉閥37、在第2流量時(shí)打開閥37的部分?！暗贗流量”是指:在收納容器50與供給管31以及排出管33連接的狀態(tài)下，若朝收納容器50供給凈化氣體的流量比預(yù)定流量Fl小則存在收納容器50的內(nèi)部54相對(duì)于收納容器50的外部成為負(fù)壓的顧慮的收納容器50中，比預(yù)定流量Fl小的流量。并且，“第2流量”是指比第I流量大的流量。
[0046]其次，對(duì)上述凈化裝置30中的凈化處理的動(dòng)作(凈化方法)進(jìn)行說明?？刂撇?0若檢測(cè)到收納容器50的載置(或者若由用戶輸入了凈化處理命令)，則開始朝收納容器50的凈化氣體的供給(凈化處理)。此時(shí)，供給流量控制部41控制MFC 35，以便以指示流量朝收納容器50供給凈化氣體(供給流量調(diào)整工序)。另外，對(duì)于此時(shí)的指示流量，能夠輸入至少2個(gè)流量，由作業(yè)者事先適當(dāng)設(shè)定輸入。吸氣流量控制部42控制閥37的開閉，以使得收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部不會(huì)成為負(fù)壓。通常，若利用MFC 35開始凈化氣體的供給，則閥37打開，若MFC 35所進(jìn)行的凈化氣體的供給結(jié)束則閥37關(guān)閉(吸氣流量調(diào)整工序)。
[0047]然而，根據(jù)條件(收納容器的特性、凈化裝置的特性以及供給流量等)，存在盡管利用MFC 35開始了凈化氣體的供給，但收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部成為負(fù)壓的情況。因此，在收納容器50連接于供給管31以及排出管33的狀態(tài)下，若朝收納容器50供給凈化氣體的流量比預(yù)定流量小則存在收納容器50的內(nèi)部54相對(duì)于收納容器50的外部成為負(fù)壓的顧慮的收納容器50中，進(jìn)行以下的控制。即、吸氣流量控制部42控制為，在比預(yù)定流量小的第I流量時(shí)關(guān)閉閥37，在比第I流量大的第2流量時(shí)打開閥37。
[0048]對(duì)上述實(shí)施方式的凈化裝置30的作用效果進(jìn)行說明。根據(jù)上述實(shí)施方式的凈化裝置30，收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體從排出管33被吸氣，因此，能夠抑制從收納容器50中的供給口55或主體部51與蓋部53之間(排出口以外的部分)泄漏的凈化氣體的量。并且，根據(jù)上述實(shí)施方式的凈化裝置30，控制閥37的開閉，以使得收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部不會(huì)成為負(fù)壓。由此，不會(huì)出現(xiàn)從收納容器50的外部朝收納容器50的內(nèi)部54吸入臟污空氣或塵埃的情況。結(jié)果，能夠抑制朝凈化裝置30所被配置的保管區(qū)域IA泄漏的凈化氣體的量、進(jìn)而能夠抑制從保管區(qū)域IA泄漏的凈化氣體的量，并且能夠防止朝收納容器50的內(nèi)部54吸入臟污空氣或塵埃的情況。
[0049]此處，凈化氣體從保管區(qū)域IA泄漏的情況是指:凈化氣體未被從排氣口15A引導(dǎo)性排出，而是例如凈化氣體從保管區(qū)域IA的開口部即OHT 口 21以及人工口 23等被排出的情況。
[0050]并且，在上述實(shí)施方式的凈化裝置30中，由于具備變更在供給管31中朝收納容器50供給的凈化氣體的流量的MFC 35，因此能夠以各種模式朝收納容器50供給凈化氣體。例如，能夠?qū)崿F(xiàn)為了確保凈化處理的即效性而欲朝收納容器50供給相對(duì)大的流量的凈化氣體的情況或者在充分確保潔凈度后欲朝收納容器50連續(xù)供給相對(duì)小的流量的凈化氣體的情況下等符合需求的凈化氣體的供給。
[0051]并且，在上述實(shí)施方式的凈化裝置30中，即便在上述那樣變更凈化氣體的供給流量的情況下，也在供給流量比較小的第I流量的情況下使吸氣流量為零。由此，能夠進(jìn)行調(diào)整，以使得收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部不會(huì)成為負(fù)壓。
[0052]并且，本申請(qǐng)發(fā)明人經(jīng)過深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了如下情況:盡管正朝收納容器50供給凈化氣體，但收納容器的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器的外部成為負(fù)壓。即、如圖5所示，發(fā)現(xiàn)了如下情況:在朝收納容器50的凈化氣體的供給流量相對(duì)小的情況(預(yù)定流量Fl)下，收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部成為負(fù)壓。
[0053]因此，在上述實(shí)施方式的凈化裝置30中，對(duì)于在收納容器50與供給管31以及排出管33連接的狀態(tài)下，若朝收納容器50的凈化氣體的供給流量小于預(yù)定流量Fl則存在收納容器50的內(nèi)部54相對(duì)于收納容器50的外部成為負(fù)壓的顧慮的收納容器50，進(jìn)行以下的控制。即、當(dāng)設(shè)比預(yù)定流量Fl小的流量為第I流量Π、將比第I流量Π大的流量設(shè)為第2流量f2時(shí)，控制為，在第I流量Π時(shí)關(guān)閉閥37、在第2流量f2時(shí)打開閥37。
[0054]并且，根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置30，進(jìn)行閥37的開閉控制，以使得即便在變更了朝收納容器50供給的凈化氣體的流量的情況下，收納容器50的內(nèi)部54的壓力相對(duì)于收納容器50的外部也不會(huì)成為負(fù)壓。結(jié)果，能夠防止從收納容器50的外部朝收納容器50的內(nèi)部54吸入臟污空氣或塵埃這一情況。
[0055]并且，根據(jù)該構(gòu)成的凈化裝置30，由于具備將從收納容器50中的供給口55或主體部51與蓋部53之間泄漏至收納容器50的外部的凈化氣體換氣并排出的第I排氣系統(tǒng)(FFU 5以及排氣用風(fēng)扇15)，因此能夠抑制從收納容器50泄漏的凈化氣體從凈化儲(chǔ)料器I的保管區(qū)域IA泄漏這一情況。該情況在供給預(yù)定流量Fl以下的流量的凈化氣體的情況下尤為有效。這是因?yàn)?在本實(shí)施方式的凈化裝置30中，在朝收納容器50供給的凈化氣體的供給流量為預(yù)定流量Fl以下的情況下閥37關(guān)閉，存在凈化氣體從收納容器50中的供給口 55或主體部51與蓋部53之間泄漏的顧慮。
[0056]換言之，在朝收納容器50的凈化氣體的供給流量為預(yù)定流量Fl以下的情況下，為了使得收納容器50的內(nèi)部54不會(huì)成為負(fù)壓而特意從供給口 55或主體部51與蓋部53之間將凈化氣體排出，僅利用第I排氣系統(tǒng)回收凈化氣體、并朝凈化儲(chǔ)料器I的外部排出。在朝收納容器50的凈化氣體的供給流量比預(yù)定流量Fl大的情況下，利用第I排氣系統(tǒng)以及第2排氣系統(tǒng)這雙方將凈化氣體朝凈化儲(chǔ)料器I的外部排出。
[0057]以上，對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式。能夠在不脫離發(fā)明的主旨的范圍進(jìn)行各種變更。
[0058]<第1變形例>
[0059]在上述實(shí)施方式中，舉出各排出管33與負(fù)壓排氣管道連接的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，例如也可以形成為另外具備吸氣裝置的構(gòu)成。即便在該情況下，也能夠通過連接于各凈化裝置30的排出管33與收納容器50的排出口 56連接而將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體吸氣，將收納容器50的內(nèi)部54的凈化氣體排出。
[0060]<第2變形例>
[0061]在上述實(shí)施方式的凈化裝置30中，舉出具備第I排氣系統(tǒng)的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。例如，在從收納容器50的供給口 55或主體部51與蓋部53之間泄漏的凈化氣體的量相對(duì)小的情況下，也可以形成為不具備第I排氣系統(tǒng)的構(gòu)成的凈化裝置。
[0062]<其他變形例>
[0063]在上述實(shí)施方式中，舉出配置于凈化儲(chǔ)料器I的凈化裝置為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。不僅能夠應(yīng)用于配置于由隔板3等劃分的空間中的凈化裝置，也能夠應(yīng)用于例如搭載于橋式吊車彼此的中繼點(diǎn)以及從輸送器朝橋式吊車的交接點(diǎn)(裝載口)、頂棚暫存區(qū)等的凈化裝置。
[0064]標(biāo)號(hào)說明
[0065]I:凈化儲(chǔ)料器;IA:保管區(qū)域;3:隔板;7:支架；15:排氣用風(fēng)扇；15A:排氣口； 30:凈化裝置;31:供給管;33:排出管;35: MFC(供給流量調(diào)整部)；37:閥(吸氣流量調(diào)整部)；40:控制部;41:供給流量控制部(供給流量調(diào)整部)；42:吸氣流量控制部(吸氣流量調(diào)整部)；50:收納容器;51:主體部;52:底面部;53:蓋部;54:收納容器的內(nèi)部；100:潔凈室；100A:第I地面;100B:第2地面;100C:頂棚;Fl:預(yù)定流量;Π:第I流量;f2:第2流量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種凈化裝置，利用凈化氣體對(duì)收納有被收納物的收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理，具備: 供給管，通過與上述收納容器連接而朝上述收納容器供給上述凈化氣體； 供給流量調(diào)整部，調(diào)整在上述供給管中朝上述收納容器供給的上述凈化氣體的供給流量； 排出管，通過與上述收納容器連接而排出上述收納容器內(nèi)部的上述凈化氣體；以及吸氣流量調(diào)整部，調(diào)整在上述排出管中從上述收納容器的內(nèi)部吸氣的上述凈化氣體的吸氣流量，以使得上述收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于上述收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓，上述供給流量調(diào)整部能夠以第I流量以及比上述第I流量大的流量即第2流量至少兩個(gè)階段進(jìn)行上述供給流量的調(diào)整， 上述吸氣流量調(diào)整部在上述供給流量為上述第I流量的情況下使上述吸氣流量為零。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的凈化裝置，其中， 上述吸氣流量調(diào)整部具有設(shè)置于上述排出管的閥和控制上述閥的開閉的吸氣流量控制部， 上述吸氣流量控制部在上述供給流量為上述第I流量的情況下控制為關(guān)閉上述閥，在上述供給流量為上述第2流量的情況下控制為打開上述閥。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的凈化裝置，其中， 還具備排出裝置，該排出裝置將從上述收納容器中連接有上述排出管的排出口以外的部分泄漏至上述收納容器的外部的上述凈化氣體排出。4.一種凈化方法，是利用凈化氣體對(duì)收納有被收納物的收納容器的內(nèi)部進(jìn)行凈化處理時(shí)的凈化方法，包括: 供給流量調(diào)整工序，調(diào)整朝上述收納容器供給的上述凈化氣體的供給流量；以及吸氣流量調(diào)整工序，調(diào)整從上述收納容器的內(nèi)部吸氣的上述凈化氣體的吸氣流量，以使得上述收納容器的內(nèi)部的壓力相對(duì)于上述收納容器的外部不會(huì)成為負(fù)壓， 在上述供給流量調(diào)整工序中，以第I流量以及比上述第I流量大的流量即第2流量至少兩個(gè)階段調(diào)整上述供給流量， 在上述吸氣流量調(diào)整工序中，在上述供給流量為上述第I流量的情況下，進(jìn)行調(diào)整以使得上述吸氣流量為零。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK105917458SQ201580005110
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2015年3月9日
【發(fā)明人】村田正直, 山路孝
【申請(qǐng)人】村田機(jī)械株式會(huì)社