基板的異物檢測(cè)方法
【專利摘要】為了檢測(cè)基板，首先顯示涂敷鉛之前的基板的圖像信息。接著，拍攝基板上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，由此獲得所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像。然后，利用所獲得的測(cè)量區(qū)域的圖像來更新所顯示的圖像信息，并顯示所更新的圖像信息。并且，為了檢測(cè)基板的異物，通過比較所獲得的測(cè)量區(qū)域的圖像和基板的基準(zhǔn)圖像，來檢測(cè)是否存在異物。由此，對(duì)應(yīng)于所顯示的基板的圖像的特定部分，操作人員能夠容易地掌握實(shí)際基板的相應(yīng)部分的位置，并能容易地檢測(cè)出存在于基板上的異物。
【專利說明】基板的異物檢測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板的異物檢測(cè)方法，更詳細(xì)地，涉及在基板的檢測(cè)過程中所執(zhí)行的基板的異物檢測(cè)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]通常,在電子裝置內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)印刷電路基板(printed circuit board ；PCB),在這種印刷電路基板上安裝有電路圖案、連接墊部、與上述連接墊部進(jìn)行電性連接的驅(qū)動(dòng)芯片等多種電路元件。為了確認(rèn)如上所述的多種電路元件是否準(zhǔn)確地形成或配置于上述印刷電路基板而使用形狀測(cè)定裝置。
[0003]以往的形狀測(cè)量裝置在顯示器畫面上以整體的方式顯示(display)基板的圖像，以便能夠使操作人員執(zhí)行一系列的檢測(cè)作業(yè)，此時(shí)，利用格柏(gerber)數(shù)據(jù)來顯示，以表示將要涂敷鉛的部分，即，墊區(qū)域等。
[0004]但如上顯示的基板的圖像與基板的實(shí)際圖像不同，僅顯示墊區(qū)域等一部分，而不顯示模板(stencil)、孔(hole)等，因此，在操作人員執(zhí)行一系列的檢測(cè)作業(yè)的過程中，由于所顯示的圖像和實(shí)際圖像之間的差異而存在難以識(shí)別基板上的所需部分的問題。
[0005]例如，在所顯示的基板的圖像中，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果，可能難以掌握產(chǎn)生問題的部分實(shí)際相當(dāng)于基板的哪一部分的位置，且可能需要時(shí)間。
[0006]因此，正需要操作人員針對(duì)所顯示的基板的圖像的特定部分，能夠容易地掌握實(shí)際基板的相應(yīng)部分的位置的顯示方法。
[0007]另一方面，如上所述，由于為了執(zhí)行一系列的檢測(cè)作業(yè)而顯示的基板的圖像并非實(shí)際基板的圖像，因此難以直接掌握實(shí)際存在于基板上的異物。
[0008]由于這種異物可能會(huì)引起基板運(yùn)作上的問題，因此，需要能夠檢測(cè)上述異物的基板的異物檢測(cè)方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明所要解決的問題在于，提供能夠容易且準(zhǔn)確地檢測(cè)存在于基板上的異物的基板的異物檢測(cè)方法。
[0010]本發(fā)明的例示性一實(shí)施例的基板的異物檢測(cè)方法包括:利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得測(cè)量基板的基于高度的三維信息的步驟；利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟；利用多個(gè)彩色光，來獲得上述測(cè)量基板的各顏色的二維信息的步驟；利用上述各顏色的二維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟；以及合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。
[0011]作為一實(shí)施例，利用上述各顏色的二維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟可包括:利用上述多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟；利用上述多個(gè)彩色光，來獲得上述測(cè)量基板的各顏色的測(cè)量圖像的步驟；以及通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟。
[0012]通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟可包括:通過合并上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成測(cè)量基板圖像的步驟；通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像的步驟；以及通過比較上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測(cè)異物的步驟。
[0013]通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟可包括:利用上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成上述測(cè)量基板的飽和度圖(saturat1n map)的步驟；利用上述各顏色的主圖像，來形成對(duì)上述主基板的飽和度圖的步驟；以及通過比較上述測(cè)量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)異物的步驟。
[0014]作為一實(shí)施例，合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟可包括:當(dāng)根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果均被判定為異物時(shí)，判定為最終異物的步驟。
[0015]上述基板的異物檢測(cè)方法在利用上述基于高度的三維信息來檢測(cè)對(duì)上述測(cè)量基板的異物的步驟及利用上述各顏色的二維信息來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟之前，還可以包括:利用紅外線照明，來獲得對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息的步驟；以及基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟。例如，上述掩模信息可包括形成于上述測(cè)量基板的孔(hole)信息。
[0016]本發(fā)明的例示性另一實(shí)施例的基板的異物檢測(cè)方法包括:利用多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟；利用上述多個(gè)彩色光，來獲得測(cè)量基板的各顏色的測(cè)量圖像的步驟；通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像，通過合并上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成測(cè)量基板圖像的步驟；通過比較上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測(cè)第一異物的步驟；利用上述各顏色的主圖像，來形成對(duì)上述主基板的飽和度圖，利用上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成上述測(cè)量基板的飽和度圖的步驟；通過比較上述測(cè)量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)第二異物的步驟；以及合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。
[0017]作為一實(shí)施例，合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟可包括:當(dāng)在上述第一異物的檢測(cè)結(jié)果及上述第二異物的檢測(cè)結(jié)果中的一個(gè)以上中檢測(cè)出為異物時(shí)，則判定為異物的步驟。
[0018]作為一實(shí)施例，上述基板的異物檢測(cè)方法在檢測(cè)上述第一異物的步驟及檢測(cè)上述第二異物的步驟之前，還可以包括:獲得對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息的步驟；以及基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟?；谘谀Ｐ畔砩裳谀?，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的上述步驟可包括:以包括形成于上述測(cè)量基板的孔的方式生成孔掩模的步驟；以包括形成于上述測(cè)量基板的電路圖案的方式生成邊緣掩模的步驟；以及將上述孔掩模及上述邊緣掩模從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟。
[0019]作為一實(shí)施例，上述基板的異物檢測(cè)方法還可以包括:利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得測(cè)量基板的基于高度基板的三維信息的步驟，以及利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟；在利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟及合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟之后，還可以包括:合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟可包括:當(dāng)根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果而均被判定為異物時(shí)，判定為最終異物的步驟。
[0020]本發(fā)明的例示性再一實(shí)施例的基板的異物檢測(cè)方法包括:顯示(display)涂敷鉛之前的基板的圖像信息的步驟；拍攝上述基板上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，從而獲得上述所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像的步驟；將所顯示的上述圖像信息更新為所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像，并予以顯示的步驟；以及將所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像與上述基板的基準(zhǔn)圖像相比較，從而檢測(cè)是否存在異物的步驟。
[0021]作為一實(shí)施例，在顯示涂敷鉛之前的基板的圖像信息的步驟中，上述基板的圖像信息可包括上述基板的格柏信息，上述格柏信息可以為黑白圖像信息，在更新為所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像，并予以顯示的步驟中，上述更新的圖像信息可以為彩色圖像信息。
[0022]作為一實(shí)施例，拍攝上述基板上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，從而獲得上述所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像的步驟可包括:在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基板照射光柵圖案光，并進(jìn)行拍攝的步驟；以及在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基板照射至少一個(gè)彩色光，并進(jìn)行拍攝的步驟中的至少一個(gè)步驟。
[0023]作為一實(shí)施例，上述基板的異物檢測(cè)方法，在顯示涂敷鉛之前的上述基板的圖像信息的步驟之前，還可以包括獲得上述基板的基準(zhǔn)圖像的步驟；上述基板的基準(zhǔn)圖像包括:在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向預(yù)先選定的基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)彩色光，并進(jìn)行拍攝，從而獲得的圖像；以及在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)光柵圖案光，并進(jìn)行拍攝，從而獲得的圖像中的至少一個(gè)。
[0024]根據(jù)本發(fā)明，為了執(zhí)行檢測(cè)作業(yè)，所顯示的基板的圖像更新為所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像，因此，對(duì)應(yīng)于所顯示的基板的圖像的特定部分操作人員能夠容易地掌握實(shí)際基板的相應(yīng)部分的位置。
[0025]并且，通過將所獲得的測(cè)量區(qū)域的圖像與基板的基準(zhǔn)圖像相比較，能夠容易地檢測(cè)出存在于基板上的異物。
[0026]并且，在執(zhí)行對(duì)測(cè)量基板的異物檢測(cè)的過程中，分別檢測(cè)明亮屬性的異物和暗屬性的異物，從而進(jìn)行合并，使得能夠提高異物檢測(cè)的可靠性。
[0027]并且，在執(zhí)行對(duì)測(cè)量基板的異物檢測(cè)的過程中，同時(shí)進(jìn)行通過基于高度的三維信息的異物檢測(cè)和通過各顏色的二維信息的異物檢測(cè)，使得能夠提高對(duì)測(cè)量基板的異物檢測(cè)的可靠性。
[0028]并且，通過利用紅外線照明等方式，事先從用于檢測(cè)異物的檢測(cè)對(duì)象中除去不必要或具有引發(fā)錯(cuò)誤可能性的部分，從而能夠更加容易或更加準(zhǔn)確地執(zhí)行異物的檢測(cè)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的三維形狀測(cè)量裝置的概念圖。
[0030]圖2為表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的基板檢測(cè)方法及基板的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0031]圖3為表示在圖2中顯示基板的圖像信息的過程中所顯示的基板的圖像信息的一例的俯視圖。
[0032]圖4為表不與圖3的基板圖像相對(duì)應(yīng)的實(shí)際基板的形狀的俯視圖。
[0033]圖5為表示在圖2中獲得基板的測(cè)量區(qū)域的圖像的過程的一例的概念圖。
[0034]圖6為表示用于說明在圖2中顯示已更新的圖像信息的過程的俯視圖。
[0035]圖7為表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0036]圖8為表示檢測(cè)明亮屬性的異物的過程的流程圖。
[0037]圖9為表示通過比較測(cè)量基板圖像和主基板圖像的差異，來表示檢測(cè)明亮屬性的異物的過程的概念圖。
[0038]圖10為表示檢測(cè)暗屬性的異物的過程的流程圖。
[0039]圖11為表示通過比較對(duì)測(cè)量基板的飽和度圖和對(duì)主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)暗屬性的異物的過程的概念圖。
[0040]圖12為表示根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0041]圖13為表示根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0042]本發(fā)明能夠進(jìn)行多種變更，并能具有多種形態(tài)，因此，將特定實(shí)施例例示于附圖中，并在本文中進(jìn)行詳細(xì)說明。但是，這非用于將本發(fā)明限定于特定的公開形態(tài)，而應(yīng)理解為其包括包含于本發(fā)明的思想及技術(shù)范圍內(nèi)的所有變更、等同物至代替物。
[0043]第一、第二等術(shù)語(yǔ)能夠用于說明多種結(jié)構(gòu)要素，但上述結(jié)構(gòu)要素并不能限定于上述術(shù)語(yǔ)。上述術(shù)語(yǔ)僅用于將一個(gè)結(jié)構(gòu)要素區(qū)別于另一結(jié)構(gòu)要素。例如，在不脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍的情況下，第一結(jié)構(gòu)要素能夠命名為第二結(jié)構(gòu)要素，類似地，第二結(jié)構(gòu)要素也能夠命名為第一結(jié)構(gòu)要素。
[0044]在本申請(qǐng)中所使用的術(shù)語(yǔ)僅用于說明特定的實(shí)施例，并非用于限定本發(fā)明。除非在上下文中有明確表示，單數(shù)形態(tài)包括復(fù)數(shù)形態(tài)。在本申請(qǐng)中，“包括”或“具有”等術(shù)語(yǔ)用于指定說明書所記載的特征、數(shù)字、步驟、動(dòng)作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在，并非表示預(yù)先排除一個(gè)或一個(gè)以上的其他特征或數(shù)字、步驟、動(dòng)作、結(jié)構(gòu)要素、部件或它們的組合的存在或附加可能性。
[0045]除非另行定義，則包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)或科學(xué)術(shù)語(yǔ)的，在此所使用的所有術(shù)語(yǔ)與本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員通常所理解的術(shù)語(yǔ)具有相同的含義。
[0046]對(duì)于與通常所使用的詞典中已有定義的術(shù)語(yǔ)相同的術(shù)語(yǔ)，應(yīng)解釋為具有與相關(guān)技術(shù)的上下文中所表示的含義具有相同的含義，除非在本申請(qǐng)中明確定義，否則，不應(yīng)解釋為理想化或者過于形式化的含義。
[0047]以下，將參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行更加詳細(xì)的說明。
[0048]圖1為示出根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的三維形狀測(cè)量裝置的概念圖。
[0049]參照?qǐng)D1，使用于根據(jù)本實(shí)施例的三維形狀測(cè)量方法的三維形狀測(cè)量裝置可包括測(cè)量載物臺(tái)部100、影像拍攝部200、第一投影部300、第二投影部400、照明部450、影像獲取部500、模塊控制部600及中央控制部700。
[0050]上述測(cè)量載物臺(tái)部100可包括:載物臺(tái)110，用于支撐測(cè)量對(duì)象物10 ;以及載物臺(tái)移動(dòng)單元120，用于移動(dòng)上述載物臺(tái)110。在本實(shí)施例中，隨著上述測(cè)量對(duì)象物10借助上述載物臺(tái)I1而相對(duì)于上述影像拍攝部200與上述第一投影部300及第二投影部400進(jìn)行移動(dòng)，在上述測(cè)量對(duì)象物10中的測(cè)量位置可能會(huì)變更。
[0051]上述影像拍攝部200配置于上述載物臺(tái)110的上部，并接收從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的光，從而測(cè)量對(duì)上述測(cè)量對(duì)象物10的影像。即，上述影像拍攝部200接收從上述第一投影部300及第二投影部400射出，并從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的光，從而拍攝上述測(cè)量對(duì)象物10的平面影像。
[0052]上述影像拍攝部200可包括照相機(jī)210、成像鏡頭220、濾波器230及圓形燈240。上述照相機(jī)210接收從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的光，從而拍攝上述測(cè)量對(duì)象物10的平面影像，作為一例，上述照相機(jī)210可使用CCD照相機(jī)或CMOS照相機(jī)中的一個(gè)。上述成像鏡頭220配置于上述照相機(jī)210的下部，使得從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的光在上述照相機(jī)210中實(shí)現(xiàn)成像。上述濾波器230配置于上述成像鏡頭220的下部，過濾從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的光，并向上述成像鏡頭220提供，作為一例，上述濾波器230可由頻率濾波器、彩色濾波器及光強(qiáng)度調(diào)節(jié)濾波器中的一個(gè)而構(gòu)成。上述圓形燈240配置于上述濾波器230的下部，為了拍攝與上述測(cè)量對(duì)象物10的二維形狀相同的特殊影像能夠向上述測(cè)量對(duì)象物10提供光。
[0053]上述第一投影部300能夠相對(duì)于支撐上述測(cè)量對(duì)象物10的上述載物臺(tái)110傾斜地配置于如上述影像拍攝部200的右側(cè)。上述第一投影部300可包括第一照明單元310、第一光柵單元320、第一光柵移動(dòng)單元330及第一聚光鏡頭340。上述第一照明單元310由照明源和至少一個(gè)鏡頭構(gòu)成，從而生成光，上述第一光柵單元320配置于上述第一照明單元310的下部，從而將上述第一照明單元310所產(chǎn)生的光變更為具有光柵紋圖案的第一光柵圖案光。上述第一光柵移動(dòng)單兀330與上述第一光柵單兀320相連接,用于移動(dòng)上述第一光柵單元320，作為一例，上述第一光柵移動(dòng)單元330可使用壓電(PZT，Piezoelectric)移動(dòng)單元或微直線移動(dòng)單元中的一個(gè)。上述第一聚光鏡頭340配置于上述第一光柵單元320的下部，使得從上述第一光柵單元320射出的上述第一光柵圖案光向上述測(cè)量對(duì)象物10會(huì)聚。
[0054]上述第二投影部400能夠相對(duì)于支撐上述測(cè)量對(duì)象物10的上述載物臺(tái)110傾斜地配置于如上述影像拍攝部200的左側(cè)。上述第二投影部400可包括第二照明單元410、第二光柵單元420、第二光柵移動(dòng)單元430及第二聚光鏡頭440。上述第二投影部400與上述中所述的第一投影部300實(shí)質(zhì)上相同，因此，省略重復(fù)的詳細(xì)說明。
[0055]在上述第一投影部300中，當(dāng)上述第一光柵移動(dòng)單元330依次移動(dòng)上述第一光柵單元320，并向上述測(cè)量對(duì)象物10照射N個(gè)第一光柵圖案光時(shí)，上述影像拍攝部200能夠依次接收從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的上述N個(gè)第一光柵圖案光，從而拍攝N個(gè)第一圖案影像。并且，在上述第二投影部400中，當(dāng)上述第二光柵移動(dòng)單元430依次移動(dòng)上述第二光柵單元420，并向上述測(cè)量對(duì)象物10照射N個(gè)第二光柵圖案光時(shí)，上述影像拍攝部200依次接收從上述測(cè)量對(duì)象物10反射的上述N個(gè)第二光柵圖案光，從而拍攝N個(gè)第二圖案影像。其中，上述N為自然數(shù),例如,可以為3或4。
[0056]另一方面,在本實(shí)施例中，作為用于生成上述第一光柵圖案光及第二光柵圖案光的裝置，只說明了第一投影部300及第二投影部400，但與此不同地，上述投影部的數(shù)量可以為3個(gè)以上。S卩，向上述測(cè)量對(duì)象物10照射的光柵圖案光能夠從多個(gè)方向進(jìn)行照射，從而能夠拍攝多種圖案影像。例如，在3個(gè)投影部以上述影像拍攝部200為中心配置為正三角形形態(tài)的情況下，3個(gè)光柵圖案光能夠從互不相同的方向施加于上述測(cè)量對(duì)象物10，在4個(gè)投影部以上述影像拍攝部200為中心配置為正方形形態(tài)的情況下，4個(gè)光柵圖案光能夠從互不相同的方向施加于上述測(cè)量對(duì)象物10。并且，上述投影部可以為8個(gè)，在這種情況下，可以從8個(gè)方向照射光柵圖案光，從而拍攝影像。
[0057]上述照明部450向上述測(cè)量對(duì)象物10照射用于獲得上述測(cè)量對(duì)象物10的二維影像的光。作為一實(shí)施例，上述照明部450可包括紅色照明452、綠色照明454及藍(lán)色照明456。例如，上述紅色照明452、上述綠色照明454及上述藍(lán)色照明456能夠在上述測(cè)量對(duì)象物10的上部配置成圓形，從而能夠向上述測(cè)量對(duì)象物10分別照射紅色光、綠色光及藍(lán)色光，如圖1所示，可分別以不同的高度形成。
[0058]上述影像獲取部500與上述影像拍攝部200的照相機(jī)210進(jìn)行電性連接，從而從上述照相機(jī)210獲得基于上述第一投影部300及第二投影部400的圖案影像，并進(jìn)行存儲(chǔ)。并且，上述影像獲取部500從上述照相機(jī)210獲得基于上述照明部450的二維影像，并進(jìn)行存儲(chǔ)。例如，上述影像獲取部500包括圖像系統(tǒng)，上述圖像系統(tǒng)接收由上述照相機(jī)210所拍攝的上述N個(gè)第一圖案影像及上述N個(gè)第二圖案影像，并進(jìn)行存儲(chǔ)。
[0059]上述模塊控制部600與上述測(cè)量載物臺(tái)部100、上述影像拍攝部200、上述第一投影部300及上述第二投影部400進(jìn)行電性連接，并進(jìn)行控制。上述模塊控制部600包括例如照明控制器、光柵控制器及載物臺(tái)控制器等。上述照明控制器分別控制上述第一照明單元310及第二照明單元410，從而生成光，上述光柵控制器分別控制上述第一光柵移動(dòng)單元330及第二光柵移動(dòng)單元430，從而移動(dòng)上述第一光柵單元320及第二光柵單元420。上述載物臺(tái)控制器能夠控制上述載物臺(tái)移動(dòng)單元120，從而使上述載物臺(tái)110向上下左右進(jìn)行移動(dòng)。
[0060]上述中央控制部700分別與上述影像獲取部500及上述模塊控制部600進(jìn)行電性連接，并分別控制上述影像獲取部500及上述模塊控制部600。具體地，上述中央控制部700從上述影像獲取部500的圖像系統(tǒng)中接收上述N個(gè)第一圖案影像及上述N個(gè)第二圖案影像，并對(duì)此進(jìn)行處理，從而能夠測(cè)量上述測(cè)量對(duì)象物的三維形狀。并且，上述中央控制部700可分別控制上述模塊控制部600的照明控制器、光柵控制器及載物臺(tái)控制器。與此相同地，上述中央控制部可包括圖像處理板、控制板及界面板。
[0061]以下，參照附圖，詳細(xì)說明利用如上所述的三維形狀測(cè)量裝置對(duì)采用為測(cè)量對(duì)象物10的基板的基板檢測(cè)方法及基板的異物檢測(cè)方法。
[0062]圖2為表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的基板檢測(cè)方法及基板的異物檢測(cè)方法的流程圖，圖3為表示在圖2中顯示基板的圖像信息的過程中所顯示的基板的圖像信息的一例的俯視圖，圖4為表不與圖3的圖像相對(duì)應(yīng)的實(shí)際基板的形狀的俯視圖。
[0063]參照?qǐng)D2至圖4，為了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例來檢測(cè)基板10，首先顯示(display)涂敷鉛之前的基板10的圖像信息(SllO)。
[0064]作為一實(shí)施例，上述基板10的圖像信息可包括上述基板10的格柏(gerber)信息。上述基板10的格柏信息可以為表示涂敷鉛之前的基板10的設(shè)計(jì)基準(zhǔn)，并且，如圖3所示，能夠以格柏圖像GI顯示于操作人員的顯示器。
[0065]如圖3所示，能夠在上述格柏圖像GI呈現(xiàn)涂敷鉛的多種形態(tài)的墊G1-P，上述格柏信息可以為黑白圖像信息。
[0066]接著，拍攝上述基板10上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，來獲得上述所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像(S120)。
[0067]上述測(cè)量區(qū)域作為欲測(cè)量或檢測(cè)的上述基板10之上區(qū)域，能夠進(jìn)行自動(dòng)設(shè)定或由操作人員進(jìn)行設(shè)定。上述測(cè)量區(qū)域可分為上述基板10上的規(guī)定范圍的區(qū)域而進(jìn)行設(shè)定，能夠測(cè)量整個(gè)上述基板10，也能測(cè)量上述基板10的一部分。例如，上述規(guī)定范圍能夠借助圖1所示的影像拍攝部200的照相機(jī)210的視野范圍(field of view)來定義。
[0068]圖5為表示在圖2中獲得基板的測(cè)量區(qū)域的圖像的過程的一例的概念圖。
[0069]參照?qǐng)D5，上述基板10的測(cè)量區(qū)域FOV能夠借助照相機(jī)的視野范圍來定義，并能沿著箭頭方向拍攝。
[0070]在圖5中，雖然表示出拍攝上述基板10的整個(gè)區(qū)域，但與此不同地，能夠選擇性地僅拍攝所需的區(qū)域。
[0071]例如，上述測(cè)量區(qū)域FOV的拍攝能夠借助圖1所示的投影部300、400及照明部450中的至少一個(gè)來實(shí)現(xiàn)。
[0072]S卩，能夠利用上述投影部300、400，使光柵圖案光在上述測(cè)量區(qū)域FOV中朝向上述基板10照射并拍攝，在這種情況下，上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像包括基于高度信息的三維圖像。
[0073]并且，能夠利用上述照明部450，使至少一個(gè)彩色光在上述測(cè)量區(qū)域FOV中朝向上述基板10照射并拍攝，在這種情況下，上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像包括二維平面圖像。
[0074]然后，利用所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像來更新所顯示的上述圖像信息，并顯示所更新的上述圖像信息(S130)。
[0075]在此情況下，所更新的上述圖像信息可以為彩色圖像信息。
[0076]提供得到更新的上述圖像信息的上述照相機(jī)210可以為彩色照相機(jī)。與此不同地，獲得上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像的上述照相機(jī)210可以為黑白照相機(jī)。在上述照相機(jī)210為黑白照相機(jī)的情況下，若上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像為借助上述照明部450而獲得圖像時(shí)，則根據(jù)上述照明部450的彩色光而獲得的圖像會(huì)具有規(guī)定的差異，因此，利用上述差異而得到更新的上述圖像信息可以為彩色。
[0077]圖6為表示用于說明在圖2中顯示得到更新的圖像信息的過程的俯視圖。
[0078]參照?qǐng)D6，得到更新的圖像信息相當(dāng)于粗線的內(nèi)部的區(qū)域，未得到更新的圖像信息相當(dāng)于粗線的外部的區(qū)域。
[0079]如圖6所示，以如圖5的方式拍攝的測(cè)量區(qū)域能夠?qū)崟r(shí)得到更新并進(jìn)行顯示。
[0080]如此地，為了執(zhí)行檢測(cè)作業(yè)而顯示的基板10的圖像被更新為所拍攝的測(cè)量區(qū)域FOV的圖像，因此，操作人員能夠?qū)⑺@示的基板10的圖像容易地與實(shí)際基板10進(jìn)行對(duì)應(yīng)。并且，在上述格柏信息為黑白，所更新的上述圖像信息為彩色的情況下，由于操作人員利用更新為彩色圖像從而進(jìn)行顯示的基板10的圖像，因此能夠更加容易地掌握實(shí)際基板10的位置等。
[0081]另一方面，本步驟能夠在異物檢測(cè)方法中被予以省略。
[0082]然后，將所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像與上述基板10的基準(zhǔn)圖像相比較，從而檢測(cè)是否存在異物(S140)。
[0083]作為一實(shí)施例，上述基板10的基準(zhǔn)圖像能夠以示教(teaching)已選定的基準(zhǔn)基板而獲得。作為一實(shí)施例，上述基準(zhǔn)基板可以是預(yù)定的可作為樣板的基板(主基板，masterboard)。預(yù)先選定上述基準(zhǔn)基板，并以與在先說明的測(cè)量區(qū)域FOV的拍攝方法相同的方法預(yù)先進(jìn)行拍攝，從而可以獲得基準(zhǔn)圖像。
[0084]S卩，作為一例，上述基板10的基準(zhǔn)圖像可包括利用上述照明部450在上述測(cè)量區(qū)域FOV中朝向上述基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)彩色光而獲得的圖像。
[0085]在這種情況下，上述基準(zhǔn)圖像為二維平面圖像，并且，通過比較上述基準(zhǔn)圖像和所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像，能夠?qū)⒋嬖诓町惖牟糠峙袛酁楫愇铩?br> [0086]例如，如圖4所示，在基板10上存在第一異物FSl、第二異物FS2的情況下，雖然在上述基準(zhǔn)圖像中不存在這種異物FS1、FS2，但如圖6所示，在測(cè)量圖像Cl中呈現(xiàn)出第一異物C1-FS1。因此，通過比較上述基準(zhǔn)圖像和所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的測(cè)量圖像Cl，能夠?qū)⒋嬖诓町惖牟糠諧1-FSl判斷為異物。
[0087]并且，上述基板10的基準(zhǔn)圖像還可以包括作為一例，利用上述投影部300、400在上述測(cè)量區(qū)域FOV中朝向上述基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)光柵圖案光并進(jìn)行拍攝從而獲得的圖像。
[0088]在這種情況下，上述基準(zhǔn)圖像為基于高度的三維圖像，通過比較上述基準(zhǔn)圖像和所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像，能夠?qū)⒋嬖诓町惖牟糠峙袛酁楫愇铩?br> [0089]例如，如圖4所示，在基板10上存在第一異物FSl、第二異物FS2的情況下，雖然在上述基圖像中不存在這種異物FSl、FS2，但在測(cè)量圖像中，上述第一異物FSl、第二異物FS2的高度以不同于上述基準(zhǔn)圖像的方式呈現(xiàn)。因此，通過比較上述基準(zhǔn)圖像和所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的測(cè)量圖像Cl，能夠?qū)⒋嬖诓町惖牟糠峙袛酁楫愇铩?br> [0090]另一方面，在本步驟中，除了通過將所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像與上述基板10的基準(zhǔn)圖像進(jìn)行比較檢測(cè)是否存在異物之外，還能只利用所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV基于高度的三維圖像來檢測(cè)是否存在異物。
[0091]S卩，在所獲得的上述測(cè)量區(qū)域FOV的圖像為借助上述投影部300、400來獲得的基于高度的三維圖像的情況下，當(dāng)高度發(fā)生急劇變化或高度超過已設(shè)定的基準(zhǔn)值時(shí)，能判斷為異物。
[0092]例如，如圖4所示，若在基板10上存在第一異物FSl及第二異物FS2的情況下，在基于高度的三維測(cè)量圖像中，上述第一異物FSl及第二異物FS2的高度與周邊相比，能夠急劇增加或超過已設(shè)定的基準(zhǔn)值。因此，在這種情況下，上述基準(zhǔn)圖像和上述測(cè)量圖像無(wú)需比較的，高度急劇變化或超過已設(shè)定的基準(zhǔn)值時(shí)，能夠判斷為異物。
[0093]另一方面，上述基準(zhǔn)圖像的獲得能夠在顯示涂敷鉛之前的基板10的圖像信息的過程(SllO)之前預(yù)先獲得。
[0094]根據(jù)如上所述的本發(fā)明，為了執(zhí)行檢測(cè)作業(yè)而顯示的基板的圖像更新為拍攝圖像的測(cè)量區(qū)域的圖像，因此，在操作人員對(duì)應(yīng)于所顯示的基板的圖像的特定部分，能夠容易地掌握實(shí)際基板的相應(yīng)部分的位置。
[0095]并且，將所獲得的測(cè)量區(qū)域的圖像與基板的基準(zhǔn)圖像相比較，從而能夠容易地檢測(cè)出存在于基板上的異物。
[0096]圖7為表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0097]參照?qǐng)D7，為了根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例檢測(cè)基板的異物，首先利用多個(gè)彩色光來獲得對(duì)主基板的各顏色的主圖像(S210)。
[0098]作為一例，利用從紅色照明452中照射的紅色光來獲得針對(duì)上述主基板的紅色主圖像，利用從綠色照明454中照射的綠色光來獲得針對(duì)上述主基板的綠色主圖像，利用從藍(lán)色照明456中照射的藍(lán)色光來獲得針對(duì)上述主基板的藍(lán)色主圖像。
[0099]然后，利用上述多個(gè)彩色光來獲得針對(duì)測(cè)量基板10的各顏色的測(cè)量圖像(S220)。
[0100]作為一實(shí)施例，利用從紅色照明452中照射的紅色光來獲得針對(duì)上述測(cè)量基板10的紅色測(cè)量圖像，利用從綠色照明454中照射的綠色光來獲得針對(duì)上述測(cè)量基板10的綠色測(cè)量圖像，利用從藍(lán)色照明456中照射的藍(lán)色光來獲得針對(duì)上述測(cè)量基板10的藍(lán)色測(cè)量圖像。
[0101]接著，比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像從而能夠檢測(cè)出異物。
[0102]上述異物能夠由不同屬性的異物組成，例如，上述異物能夠包括明亮屬性的異物和暗屬性的異物。
[0103]作為一例，上述明亮屬性的異物和暗屬性的異物能夠根據(jù)對(duì)測(cè)量基板10的相對(duì)亮度來區(qū)別。上述異物能夠根據(jù)明亮屬性的異物和暗屬性的異物，利用互不相同的方式來檢測(cè)，由此能夠進(jìn)行更加準(zhǔn)確的檢測(cè)。
[0104]以下，對(duì)通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，根據(jù)屬性來檢測(cè)異物的過程進(jìn)行說明。
[0105]首先，利用上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)灰塵、芯片等明亮屬性的異物進(jìn)行檢測(cè)(S230)。
[0106]圖8為表示檢測(cè)明亮屬性的異物的過程的流程圖。
[0107]參照?qǐng)D8，合并上述各顏色的測(cè)量圖像，從而形成對(duì)測(cè)量基板10的測(cè)量基板圖像(S232)。例如，按不同的像素合并上述紅色測(cè)量圖像、上述綠色測(cè)量圖像及上述藍(lán)色測(cè)量圖像的各個(gè)亮度(Intensity)，從而形成合并為一個(gè)的上述測(cè)量基板圖像。
[0108]與上述測(cè)量基板圖像的形成不同，合并上述各顏色的主圖像，從而形成對(duì)上述主基板的主基板圖像(S234)。例如，按不同的像素合并上述紅色測(cè)量圖像、上述綠色測(cè)量圖像及上述藍(lán)色測(cè)量圖像的各個(gè)亮度，從而形成合并為一個(gè)的上述主基板圖像。
[0109]在形成上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像之后，比較上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像的差異，從而檢測(cè)上述明亮屬性的異物(S236)。
[0110]圖9為表示通過比較對(duì)測(cè)量基板圖像和對(duì)主基板圖像的差異，從而檢測(cè)明亮屬性的異物的過程的概念圖。
[0111]參照?qǐng)D9，從測(cè)量基板圖像ISI中減去主基板圖像MSI，從而生成比較圖像PI。由于主基板圖像MSI為沒有異物的清晰的圖像，因此，在測(cè)量基板圖像ISI上存在異物FM的情況下，在比較圖像PI之上將只能看到異物FM。
[0112]另一方面，為了提高對(duì)比較圖像PI之上的異物FM的檢測(cè)性能，能夠以特定基準(zhǔn)值為基準(zhǔn)對(duì)比較圖像PI進(jìn)行二值化，從而生成二值化圖像BI。在二值化圖像BI上，異物FM區(qū)域和非異物區(qū)域呈現(xiàn)出極為明顯的對(duì)比，因此能夠提高對(duì)異物FM的檢測(cè)能力。并且，還進(jìn)行對(duì)二值化圖像BI執(zhí)行除去噪音的步驟，從而能夠更加明確地檢測(cè)異物FM。
[0113]重新參照?qǐng)D7，在檢測(cè)明亮屬性的異物之后，利用上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)如同頭發(fā)、絕緣膠帶等暗屬性的異物(S240)。
[0114]圖10為表示檢測(cè)暗屬性的異物的過程的流程圖。
[0115]參照?qǐng)D10，利用上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成針對(duì)上述測(cè)量基板10的飽和度(Saturat1n)圖(S242)。
[0116]并且，利用上述各顏色的主圖像，來形成對(duì)上述主基板的飽和度圖(S244)。
[0117]例如，上述飽和度圖能夠利用紅色圖像、綠色圖像及藍(lán)色圖像的不同像素的飽和度信息來生成。具體地，上述飽和度圖能夠基于通過如下數(shù)學(xué)式I來計(jì)算出的不同像素的飽和度來生成。
[0118]數(shù)學(xué)式1:
[0119]saturat1n = (l_3*Min(R, G, B)/(R+G+B))
[0120]在上述數(shù)學(xué)式I中，R為對(duì)紅色圖像中的各像素的飽和度信息，G為對(duì)綠色圖像中的各像素的飽和度信息，B為對(duì)藍(lán)色圖像中的各像素的飽和度信息。
[0121]根據(jù)不同的像素，通過上述數(shù)學(xué)式I生成的飽和度圖300具有O?I的值，且越靠近1，越呈現(xiàn)出原色。通常，由于暗的異物接近無(wú)彩色，因此，在上述飽和度圖上顯示為具有接近O的值的區(qū)域。
[0122]在通過上述數(shù)學(xué)式I來形成上述測(cè)量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖之后，通過比較對(duì)上述測(cè)量基板的飽和度圖和對(duì)上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)上述暗屬性的異物(S246)。
[0123]圖11為通過表示比較測(cè)量基板的飽和度圖和主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)暗屬性的異物的過程的概念圖。
[0124]參照?qǐng)D11，從對(duì)主基板的飽和度圖MSM中減去測(cè)量基板的飽和度圖TSM，從而生成比較圖像PM。在對(duì)測(cè)量基板的飽和度圖TSM上存在異物FM的情況下，在比較圖像PM上就會(huì)顯示出異物FM。
[0125]另一方面，為了提高針對(duì)比較圖像PM上的異物FM的檢測(cè)性能，以特定基準(zhǔn)值為基準(zhǔn)進(jìn)行針對(duì)比較圖像PM的二值化，從而能夠生成二值化圖像BM。在二值化圖像BM上，異物FM區(qū)域和非異物區(qū)域呈現(xiàn)出極為明顯的對(duì)比，因此能夠提高對(duì)異物FM的檢測(cè)能力。
[0126]并且，在利用二值化圖像BM—次性確認(rèn)具有異物FM的區(qū)域之后，只將具有異物FM的區(qū)域設(shè)定為關(guān)心區(qū)域R0I，并且，通過針對(duì)上述關(guān)心區(qū)域ROI的顏色成分的分析，能夠更加提高對(duì)異物FM的檢測(cè)能力。例如，在進(jìn)行針對(duì)整個(gè)基板圖像的飽和度圖的比較分析之后，將存在異物FM的區(qū)域設(shè)定為關(guān)心區(qū)域R0I。之后，剩余區(qū)域以掩模處理來除去的狀態(tài)下，只對(duì)所設(shè)定的上述關(guān)心區(qū)域ROI進(jìn)行選擇性的增幅，并且，合并所增幅的上述關(guān)心區(qū)域ROI的彩色圖像(例如，紅色圖像、綠色圖像及藍(lán)色圖像)，來生成關(guān)心區(qū)域圖像。之后，通過針對(duì)上述關(guān)心區(qū)域圖像的二值化處理及除去噪音，從而能夠更加明確地檢測(cè)出異物。
[0127]重新參照?qǐng)D7，合并對(duì)上述明亮屬性的異物和對(duì)上述暗屬性的異物的異物檢測(cè)結(jié)果(S250)。即，合并在檢測(cè)上述明亮屬性的異物的過程中檢測(cè)到的異物檢測(cè)結(jié)果和在檢測(cè)上述暗屬性的異物的過程中檢測(cè)的異物檢測(cè)結(jié)果，從而最終對(duì)測(cè)量基板檢測(cè)異物。
[0128]如此地，在執(zhí)行測(cè)量基板的異物檢測(cè)的過程中，分別檢測(cè)明亮屬性的異物和暗屬性的異物并進(jìn)行合并，從而能夠提高異物檢測(cè)的可靠性。
[0129]另一方面，在需要事先預(yù)測(cè)異物的屬性并進(jìn)行檢測(cè)或僅檢測(cè)某一屬性的異物的情況下，能夠只采用檢測(cè)相應(yīng)屬性的異物的方式來檢測(cè)異物。
[0130]與此不同地，無(wú)需事先預(yù)測(cè)異物的屬性并進(jìn)行檢測(cè)或無(wú)需僅檢測(cè)某一屬性的異物的情況下，能夠一并采用檢測(cè)兩種屬性的異物的方式來檢測(cè)異物，而適用的順序不受限制。
[0131]另一方面，上述明亮屬性的異物和上述暗屬性的異物通常相應(yīng)于某一側(cè)，因此，在上述明亮屬性的異物的檢測(cè)結(jié)果及上述暗屬性的異物的檢測(cè)結(jié)果中，一個(gè)以上被檢測(cè)為異物時(shí)，能夠判定為異物。
[0132]圖12為表示根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0133]參照?qǐng)D12，為了根據(jù)本發(fā)明的再一實(shí)施例檢測(cè)基板的異物，首先利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得測(cè)量基板的基于高度的三維信息(S310)。即，利用從至少一個(gè)投影部300、400照射的光柵圖案光，來獲得包括對(duì)測(cè)量基板的高度信息的三維信息。
[0134]之后，利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)對(duì)上述測(cè)量基板的異物(S320)。
[0135]作為一實(shí)施例，在對(duì)上述測(cè)量基板的上述基于高度的三維信息中，選擇高度與周邊相比，發(fā)生急劇變化或超過已設(shè)定的高度基準(zhǔn)值的區(qū)域，從而能夠檢測(cè)異物。
[0136]與利用上述三維信息檢測(cè)異物的方式不同，利用多個(gè)彩色光來獲得對(duì)上述測(cè)量基板的各顏色的二維信息(S330)。
[0137]之后，利用上述各顏色的二維信息，來獲得對(duì)上述測(cè)量基板的異物(S340)。其中，由于利用上述各顏色的二維信息來檢測(cè)異物的方法與上述參照?qǐng)D7至圖11進(jìn)行說明的實(shí)施例相同，因此省略對(duì)此的詳細(xì)說明。
[0138]之后，合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果(S350)。即，合并利用上述基于高度的三維信息來檢測(cè)的異物檢測(cè)結(jié)果和利用上述各顏色的二維信息來檢測(cè)的異物檢測(cè)結(jié)果，對(duì)測(cè)量基板最終檢測(cè)異物。
[0139]如此地，在執(zhí)行對(duì)測(cè)量基板的異物檢測(cè)的過程中，合并通過基于高度的三維信息的異物檢測(cè)和通過各顏色的二維信息的異物檢測(cè)，從而能夠提高對(duì)測(cè)量基板的異物檢測(cè)的可靠性。
[0140]另一方面，為了提高對(duì)真性異物的檢測(cè)能力和最小化過度檢測(cè)的發(fā)生，當(dāng)以基于上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果判斷最終異物時(shí)，若兩邊均判定為異物，則能夠判定為最終異物。
[0141]與此不同地，當(dāng)以基于上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果判斷最終異物時(shí)，若某一邊判定為異物，則能夠判定為最終異物。
[0142]另一方面，在進(jìn)行如上所述的基于高度的三維信息的異物檢測(cè)及基于各顏色的二維信息的異物檢測(cè)之前，可以從用于檢測(cè)異物的檢測(cè)對(duì)象中除去不必要的部分或能夠引發(fā)錯(cuò)誤的部分。
[0143]圖13為表示根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例的異物檢測(cè)方法的流程圖。
[0144]參照?qǐng)D13，為了根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施例來檢測(cè)異物，首先獲得對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息(S410)。
[0145]例如，上述掩模信息可包括形成于上述測(cè)量基板的孔(hole)信息。由于形成于上述測(cè)量基板的孔和形成于上述主基板的孔能夠以互不相同的大小形成，因此，在包括孔作為用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象的情況下，存在被誤認(rèn)為是異物的可能性。因此，為了排除上述誤認(rèn)可能性，能夠事先從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中將孔除外。在此情況下，與上述孔信息相同的掩模信息能夠利用紅外線(infrared，IR)照明來獲得。
[0146]例如，上述掩模信息可包括形成于上述測(cè)量基板的電路圖案(circuit pattern)信息。上述電路圖案通常借助蝕刻工序來形成，根據(jù)于此，形成于測(cè)量基板的電路圖案和形成于上述主基板的電路圖案可形成于稍微不同的位置，因而在將電路圖案包括在用于檢測(cè)異物的檢測(cè)對(duì)象的情況下，存在被誤認(rèn)為是異物的可能性。因此，為了除去上述誤認(rèn)可能性，能夠事先從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中將電路圖案除外。
[0147]另一方面，對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息可以從上述測(cè)量基板獲得，也能從上述主基板獲得。
[0148]然后，基于上述掩模信息生成掩模，從而從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外(S420)
[0149]例如，能夠以包括形成于上述測(cè)量基板的孔的方式生成孔掩模，并能以包括形成于上述測(cè)量基板的電路圖案的方式生成邊緣掩模。所生成的上述孔掩模及上述邊緣掩模能夠從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外。
[0150]在以如上所述的方式生成掩模，從而從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外之后，能夠執(zhí)行如上所述的基于高度的三維信息的異物檢測(cè)及/或基于各顏色的二維信息的異物檢測(cè)(S430)。
[0151]如此地，通過利用紅外線照明的方式等，從用于檢測(cè)異物的檢測(cè)對(duì)象中事先除去不必要的或存在引發(fā)錯(cuò)誤的可能性的部分，從而能夠更加容易或更加準(zhǔn)確地執(zhí)行異物檢測(cè)。
[0152]在上述中所述的本發(fā)明的詳細(xì)說明中，雖然參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的熟練技術(shù)人員或本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，能在不脫離權(quán)利要求書中所記載的有關(guān)本發(fā)明的思想及【技術(shù)領(lǐng)域】的情況下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行多種修改及變更。因此，上述的說明及以下的附圖應(yīng)解釋為并非用于限定本發(fā)明的技術(shù)思想，而是對(duì)本發(fā)明所進(jìn)行的示例。
【權(quán)利要求】
1.一種基板的異物檢測(cè)方法，其中，包括: 利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得基于測(cè)量基板高度的三維信息的步驟； 利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟； 利用多個(gè)彩色光，來獲得上述測(cè)量基板的各顏色的二維信息的步驟； 利用上述各顏色的二維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟；以及合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，利用上述各顏色的二維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟包括: 利用上述多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟； 利用上述多個(gè)彩色光，來獲得上述測(cè)量基板的各顏色的測(cè)量圖像的步驟；以及 通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟包括: 通過合并上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成測(cè)量基板圖像的步驟； 通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像的步驟；以及 通過比較上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測(cè)異物的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，通過比較上述各顏色的主圖像和上述各顏色的測(cè)量圖像，來檢測(cè)異物的步驟包括: 利用上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成對(duì)上述測(cè)量基板的飽和度圖的步驟； 利用上述各顏色的主圖像，來形成對(duì)上述主基板的飽和度圖的步驟；以及通過比較對(duì)上述測(cè)量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)異物的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟包括: 當(dāng)根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果均被判定為異物時(shí)，判定為最終異物的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，在利用上述基于高度的三維信息來檢測(cè)對(duì)上述測(cè)量基板的異物的步驟及利用上述各顏色的二維信息來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟之前，還包括: 利用紅外線照明，來獲得對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息的步驟；以及 基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，上述掩模信息包括形成于上述測(cè)量基板的孔信息。
8.—種基板的異物檢測(cè)方法，其中，包括: 利用多個(gè)彩色光，來獲得主基板的各顏色的主圖像的步驟； 利用上述多個(gè)彩色光，來獲得測(cè)量基板的各顏色的測(cè)量圖像的步驟； 通過合并上述各顏色的主圖像，來形成主基板圖像，通過合并上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成測(cè)量基板圖像的步驟； 通過比較上述測(cè)量基板圖像和上述主基板圖像的差異，來檢測(cè)第一異物的步驟； 利用上述各顏色的主圖像，來形成對(duì)上述主基板的飽和度圖，利用上述各顏色的測(cè)量圖像，來形成上述測(cè)量基板的飽和度圖的步驟； 通過比較上述測(cè)量基板的飽和度圖和上述主基板的飽和度圖的差異，來檢測(cè)第二異物的步驟；以及 合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟包括: 當(dāng)在上述第一異物的檢測(cè)結(jié)果及上述第二異物的檢測(cè)結(jié)果中的一個(gè)以上中檢測(cè)出為異物時(shí)，則判定為異物的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，在檢測(cè)上述第一異物的步驟及檢測(cè)上述第二異物的步驟之前，還包括: 獲得對(duì)上述測(cè)量基板的掩模信息的步驟；以及 基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，基于上述掩模信息來生成掩模，并從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟包括: 以包括形成于上述測(cè)量基板的孔的方式生成孔掩模的步驟； 以包括形成于上述測(cè)量基板的電路圖案的方式生成邊緣掩模的步驟；以及 將上述孔掩模及上述邊緣掩模從用于檢測(cè)上述異物的檢測(cè)對(duì)象中除外的步驟。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，還包括: 利用至少一個(gè)光柵圖案光，來獲得基于測(cè)量基板高度的三維信息的步驟，以及 利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟； 在利用上述基于高度的三維信息，來檢測(cè)上述測(cè)量基板的異物的步驟及合并上述第一異物和上述第二異物的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟之后，還包括: 合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，合并根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果和根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果的步驟包括: 當(dāng)根據(jù)上述基于高度的三維信息的異物檢測(cè)結(jié)果及根據(jù)上述各顏色的二維信息的異物檢測(cè)結(jié)果而均被判定為異物時(shí)，判定為最終異物的步驟。
14.一種基板的異物檢測(cè)方法，其中，包括: 顯示涂敷鉛之前的基板的圖像信息的步驟； 拍攝上述基板上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，從而獲得上述所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像的步驟； 將所顯示的上述圖像信息更新為所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像，并予以顯示的步驟；以及 將所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像與上述基板的基準(zhǔn)圖像相比較，從而檢測(cè)是否存在異物的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中， 在顯示涂敷鉛之前的基板的圖像信息的上述步驟中，上述基板的圖像信息包括上述基板的格柏信息，上述格柏信息為黑白圖像信息， 在更新為所獲得的上述測(cè)量區(qū)域的圖像，并予以顯示的上述步驟中，上述更新的圖像信息為彩色圖像信息。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中，拍攝上述基板上的至少一個(gè)測(cè)量區(qū)域，從而獲得上述所拍攝的測(cè)量區(qū)域的圖像的步驟包括: 在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基板照射光柵圖案光，并進(jìn)行拍攝的步驟；以及 在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基板照射至少一個(gè)彩色光，并進(jìn)行拍攝的步驟中的至少一個(gè)步驟。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板的異物檢測(cè)方法，其中， 在顯示涂敷鉛之前的上述基板的圖像信息的步驟之前，還包括獲得上述基板的基準(zhǔn)圖像的步驟； 上述基板的基準(zhǔn)圖像包括: 在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向預(yù)先選定的基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)彩色光，并進(jìn)行拍攝，從而獲得的圖像，以及 在上述測(cè)量區(qū)域中，朝向上述基準(zhǔn)基板照射至少一個(gè)光柵圖案光，并進(jìn)行拍攝，從而獲得的圖像中的至少一個(gè)。
【文檔編號(hào)】G01N21/94GK104335030SQ201480001346
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月2日
【發(fā)明者】李玄石, 梁在植, 金資根, 金熙泰, 柳希昱 申請(qǐng)人:株式會(huì)社高永科技