專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種例如作為半導(dǎo)體制造裝置排氣泵使用的真空泵，更具體地說是涉及在排氣口用大氣壓或接近大氣壓的壓力進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵，是涉及在容易粘結(jié)反應(yīng)生成物的生產(chǎn)過程中使用的干式真空泵。
干式真空泵因?yàn)樵趶奈鼩饪诹魅氲臍怏w通道上沒有油和水，因此具有可以得到純凈的真空的優(yōu)良特征，但另一方面在氣體壓縮過程中的發(fā)熱沒有排除的效能，致使泵內(nèi)的溫度升高。所以過去都是在發(fā)熱部的外側(cè)裝設(shè)冷卻套用水冷卻。
圖7是表示舊有的干式真空泵。
在具有吸氣口1、排氣口2的殼體3的內(nèi)部，裝設(shè)有由軸承6旋轉(zhuǎn)自如的支承著的轉(zhuǎn)子4和在殼體3內(nèi)被固定著的靜止的定子5。從吸氣口1吸入的氣體，通過由轉(zhuǎn)子4和定子5組成的泵機(jī)構(gòu)部的壓縮作用被順次壓縮，從排氣口2向大氣排出。在該壓縮過程中，發(fā)生氣體的壓縮熱，且越靠近排氣口其壓縮熱量越多。為了排除掉該壓縮熱，按圖上所示已往的例子，是在定子5的外側(cè)設(shè)置冷卻水套7，用從給水口8供給的水進(jìn)行冷卻。
這種現(xiàn)有技術(shù)登載在特開昭62-29796號和實(shí)開昭64-46495號公報上。
上述現(xiàn)有技術(shù)，主要是用水作為冷卻介質(zhì)，因?yàn)樗谋葻岽?，且熱傳?dǎo)率也大，其冷卻效果非常好。然而真空泵的吸入氣體如為升華溫度高的、即在低溫下也容易凝固的氣體，則泵體內(nèi)部過份冷卻時，上述氣體就固體化，在泵的內(nèi)部產(chǎn)生反應(yīng)生成物的粘結(jié)堆積，會發(fā)生泵通路堵塞或轉(zhuǎn)子振動等缺點(diǎn)。另外，已往為防止發(fā)生這種缺點(diǎn)，如上述實(shí)開昭64-46495號公報上所記載的那樣，也考慮過用控制冷卻水的循環(huán)量，任意設(shè)定定子溫度的方法。然而將冷卻水量減少某一定量以上時，會發(fā)生冷卻不均現(xiàn)象，不能使機(jī)體均勻冷卻，造成真空泵的性能下降，并且為了控制冷卻水量就有必要裝流量計，而在流量計的狹小部位會析出水垢，從這點(diǎn)上看也有不能穩(wěn)定地控制溫度的問題。
此外，還有考慮僅在真空泵的排氣口處設(shè)加熱器，以防止升華性氣體的固體化，但設(shè)加熱器進(jìn)行加熱的方法，又有容易發(fā)生故障的缺點(diǎn)。
本發(fā)明的目的在于提供即使在泵的通路部位吸入升華溫度高的氣體，氣體也不會固體化的，防止反應(yīng)生成物粘結(jié)堆積的真空泵。
本發(fā)明的另一目的，在于提供不過度減少冷卻液體的循環(huán)量，即可防止吸入氣體的凝固，從而可以防止在通路上粘附凝固物的真空泵。
本發(fā)明的其它目的，在于提供適合于半導(dǎo)體制造裝置使用、且可抑制使用于半導(dǎo)體制造裝置的反應(yīng)氣體的凝固、該反應(yīng)氣體產(chǎn)生的反應(yīng)生成物不會粘結(jié)堆積在定子和殼體內(nèi)壁面上的真空泵。
本發(fā)明其它目的在于提供能防止反應(yīng)生成物在通路上粘結(jié)堆積、且能使定子得到均勻冷卻的真空泵。
為達(dá)到上述目的，在本發(fā)明中，通過使冷卻套內(nèi)面的熱傳導(dǎo)率變小，使泵內(nèi)部的溫度均勻地上升，使從吸氣口吸入的升華溫度高的物質(zhì)能夠保持在氣相側(cè)的溫度以上。
本發(fā)明提供一種真空泵，其設(shè)有具有吸氣口及排氣口的殼體、固定在殼體內(nèi)的定子以及在殼體內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地支承著的轉(zhuǎn)子，將從上述吸氣口吸入的氣體，從上述排氣口以大氣壓或接近大氣壓的壓力進(jìn)行排氣;其特征在于將冷卻套裝設(shè)在定子的近旁以冷卻上述定子，使比水的熱傳導(dǎo)率還小的冷卻液體流過該冷卻套。
其次，本發(fā)明提供一種真空泵，其設(shè)有具有吸氣口和排氣口的殼體、在其殼體內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地支承著的回轉(zhuǎn)軸、在殼體內(nèi)壁安裝著的定子以及裝在回轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)子，將上述的定子和轉(zhuǎn)子互相組合構(gòu)成的泵段，從上述吸氣口吸入的氣體從排氣口能直接向大氣排出;其特征在于在上述定子的外周裝設(shè)冷卻套，向該冷卻套供給熱傳導(dǎo)率為0.08～0.25千卡/m.h.℃范圍的冷卻劑。
其次，本發(fā)明提供一種真空泵，吸入氣體為含氯化鋁(Alcl3)的氣體，壓縮到大氣壓或接近大氣壓的壓力進(jìn)行排氣;其特征在于設(shè)置冷卻套以冷卻通路，在該冷卻套中流入熱傳導(dǎo)率小的冷卻液體，使上述通路內(nèi)的溫度，一方面保持在比氯化鋁的升華溫度高的溫度，一方面進(jìn)行冷卻。
其次，本發(fā)明提供一種真空泵，其包括具有吸氣口和排氣口的殼體內(nèi)收納有定子和轉(zhuǎn)子的泵機(jī)構(gòu)部以及在該泵機(jī)構(gòu)部的下方設(shè)置的油潤滑軸承，從上述吸氣口吸入的氣體由上述排氣口排出;其特征在于在上述定子和外周裝設(shè)冷卻套，向該冷卻套供給與上述油潤滑軸承用的潤滑油相同的潤滑油，對上述泵機(jī)構(gòu)部進(jìn)行冷卻。
再其次，本發(fā)明提供一種真空泵，從吸氣口吸入的氣體，由泵殼體內(nèi)設(shè)置的泵機(jī)構(gòu)部順次地進(jìn)行壓縮，在排氣口以大致相等于大氣壓的壓力進(jìn)行排氣，其特征在于設(shè)置冷卻套以便對上述泵機(jī)構(gòu)部進(jìn)行冷卻。向該冷卻套通入比水的熱傳導(dǎo)率小的冷卻液體，同時，設(shè)置可以控制該冷卻液體溫度的裝置。
再其次，本發(fā)明提供一種真空泵，從吸氣口吸入的含有升華性氣體的氣體，被泵殼體內(nèi)設(shè)置的泵機(jī)構(gòu)部順次壓縮，在排氣口以大致相等于大氣壓的壓力排出;其特征在于在靠近上述泵機(jī)構(gòu)部處裝設(shè)冷卻套，并裝設(shè)由罐向這個冷卻套供給冷卻液的菅路和由冷卻套向上述罐返回冷卻液的菅路，構(gòu)成冷卻液的閉合環(huán)路，在該閉合環(huán)路內(nèi)設(shè)置供液泵，形成將冷卻液由罐到冷卻套的循環(huán)供給，并且設(shè)置控制上述冷卻液溫度的裝置，以使上述真空泵內(nèi)的通路壁保持比上述升華性氣體的升華溫度高的溫度。
再其次，本發(fā)明提供一種真空泵，在由設(shè)于殼體內(nèi)的轉(zhuǎn)子和定子構(gòu)成的泵機(jī)構(gòu)部的作用下，將從吸氣口吸入的低壓氣體進(jìn)行壓縮，由排氣口向大氣進(jìn)行排氣;其特征在于使設(shè)在上述定子的外周的冷卻套的罩可以裝卸。
在本發(fā)明中，裝設(shè)有冷卻定子的冷卻套，向這個冷卻套供給比水的熱傳導(dǎo)率還差的冷卻液，例如用熱傳導(dǎo)率在0.08～0.25千卡/m.h.℃范圍內(nèi)的冷卻劑，如＃90汽輪機(jī)油和＃140汽輪機(jī)油或者真空油等，使之能將定子進(jìn)行冷卻，所以將向冷卻套供應(yīng)冷卻液體的流量沒有過于減少，而可以保持定子在某一定溫度以上，吸入氣體即使被壓縮也能在該壓力下保持在該氣體的升華溫度以上，所以在真空泵的通路上能夠防止吸入氣體的凝固物的粘結(jié)堆積，同時因?yàn)闆]有必要減少冷卻液流量，也可防止冷卻不均現(xiàn)象。
例如，即使在吸入含有氯化鋁(Alcl3)的氣體，壓縮到接近大氣壓再排出的真空泵中，按照本發(fā)明，由于可將流路內(nèi)溫度保持在該壓力下的氯化鋁的升華溫度以上，所以可以防止由于氯化鋁固化而導(dǎo)致在通路內(nèi)壁等處粘結(jié)堆積。
另外，即使使用控制在某一定溫度的溫水作為冷卻液體，也與使用熱傳導(dǎo)率小的冷卻液體大致一樣，不必過份減少冷卻液的流量，就可以保持真空泵內(nèi)通路在某一定溫度以上，也可防止發(fā)生冷卻不均現(xiàn)象。
例如，從半導(dǎo)體制造裝置反應(yīng)爐排出來的氣體，根據(jù)該物質(zhì)的蒸汽壓和溫度的關(guān)系，接近大氣壓時，若溫度不高，就成為固體，作為反應(yīng)生成物粘結(jié)堆積在泵的通路上。
泵由于壓縮作用產(chǎn)生大量的熱，所以若使冷卻套內(nèi)面的熱傳導(dǎo)率變小，便可以使泵的通路保持在一定高的溫度。由于這個原因，能使通過泵通路的氣體是高溫，且能保持一定，所以能夠防止的反應(yīng)生成物的粘結(jié)堆積。
下面參照附圖，通過本發(fā)明的實(shí)施例來進(jìn)一步說明本發(fā)明。


圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例1的真空泵的縱剖面總圖;圖2是表示在圖1所示實(shí)施例1中的冷卻液流的系統(tǒng)圖;圖3和圖4是分別將氯化鋁(Alcl3)的升華溫度特性曲線和在定子各部位的溫度與現(xiàn)有裝置比較而表示的曲線圖;圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例2的真空泵的縱剖面圖;圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例3的真空泵的縱剖面總圖;圖7是表示按照現(xiàn)有技術(shù)的真空泵的縱剖面總圖。
本發(fā)明由于使用比熱比水小、且熱傳導(dǎo)率小的液體、例如使用油作為冷卻介質(zhì)，因此能均勻地使泵內(nèi)部溫度冷卻，但不會低于某一定溫度，并且使從吸氣口吸入的升華溫度高的物質(zhì)處于升華溫度以上，保持氣體狀態(tài)，使其不會因固體化而發(fā)生粘結(jié)堆積在通路上。
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例1的縱剖面總圖。殼體103由圓筒體103a及上下端板103b、103c構(gòu)成，在上端板103b上有吸氣口101，下端板103c上有排氣口102。在下端板103c的下方裝設(shè)有電動機(jī)外套130。具有吸氣口101和排氣口102的殼體103的內(nèi)部，由上下軸承107a、107b支承著、被電動機(jī)外套130內(nèi)的電動機(jī)108驅(qū)動的轉(zhuǎn)子104以及圍著轉(zhuǎn)子104安裝著的定子105構(gòu)成泵機(jī)構(gòu)部106。由吸氣口101吸入的氣體，由于轉(zhuǎn)子104和定子105的壓縮作用順次被壓縮，從排氣口102向大氣排氣。在定子105的外周，裝設(shè)有冷卻套109，通過油泵113，將電動機(jī)外套130下部積存的潤滑油110，經(jīng)過給油口111供給冷卻套109。從吸氣口101吸入的氣體由于被壓縮而發(fā)生的熱，被供給冷卻套109的油110帶走。另外，在冷卻套109內(nèi)設(shè)有肋109a，使向冷卻套下部供給的冷卻流體(油)在定子105的周圍一面順圓周方向轉(zhuǎn)一面向上方流動，從冷卻套109的上方排出，以使定子圓周方向的溫度能夠均勻。
此外，如圖所示，冷卻套109未裝設(shè)在轉(zhuǎn)子及定子的最終段一側(cè)。這是因?yàn)樵绞歉邏翰吭接斜匾３指邷?，而且由于最終段的一側(cè)已由密封氣體冷卻，這樣可以防止過分冷卻的緣故。
圖2是表示去冷卻套109的潤滑油110的供給系統(tǒng)，如圖所示，潤滑油供給系統(tǒng)成密封環(huán)路。在冷卻套109帶走氣體壓縮熱而上升了溫度的油110，在油冷卻器117用冷卻水等被冷卻后，再次用油泵113循環(huán)供給。潤滑油的溫度則由油冷卻器117來控制。
如圖1所示，在本實(shí)施例中，油泵113還兼有向滾動軸承107a、107b供給潤滑油的作用，輸向軸承的潤滑油通路和輸向冷卻套的冷卻劑通路，由同一密封環(huán)路構(gòu)成。即，構(gòu)成為由油泵113排出的潤滑油的一部分通過給油口112a、112b，分別向上下軸承107a、107b供油。這樣的結(jié)構(gòu)因?yàn)榭梢允節(jié)櫥屯泛屠鋮s劑通路兼用，所以可以使裝置小形化。
泵機(jī)構(gòu)部106和上軸承107a之間形成有軸封部114，該軸封部114是通過密封氣體供給口115從外部供給密封氣體。為不使密封氣體與從吸氣口101吸入的氣體發(fā)生反應(yīng)，一般使用干燥氮?dú)獾茸鳛檫@種密封氣體。從密封氣體供給口115向轉(zhuǎn)子表面排出的密封氣體分為上下兩個方向流動，一部分流進(jìn)泵機(jī)構(gòu)部和從吸氣口101流入的氣體一起從排氣口102排出，其余的通過上述軸承107a進(jìn)入電動機(jī)室116，從密封氣體排氣口117排出。通過該分為兩個方向流動的密封氣體，既能防止供給軸承部的潤滑油流入泵機(jī)構(gòu)部106，也可防止由吸氣口101流入的氣體進(jìn)入電動機(jī)室116。
下面對上述本發(fā)明實(shí)施例的動作加以說明。從吸氣口101吸入的氣體，在由轉(zhuǎn)子104和定子105組成的泵機(jī)構(gòu)部106的流路內(nèi)順次被壓縮。通過排氣口102向大氣排出。排氣過程中，在轉(zhuǎn)子104高速旋轉(zhuǎn)的部分，氣體成為高溫，其熱被傳導(dǎo)到定子105。在這樣狀態(tài)下，氣體溫度升高，泵機(jī)構(gòu)部106的壓縮性能降低，會使泵的性能低下，也會發(fā)生由于熱膨脹而使轉(zhuǎn)子104和定子105相接觸的情況，但在本發(fā)明中，可以使?jié)櫥土飨蚶鋮s套109而進(jìn)行油冷卻，能夠通過穩(wěn)定的冷卻使其保持一定的溫度。
在真空泵的吸氣口101與例如半導(dǎo)體制造裝置的鋁板干腐蝕裝置的反應(yīng)爐連接的情況下，做為腐蝕后的反應(yīng)生成物，生成有氯化鋁(Alcl3)。這個升華溫度特性如圖3所示，根據(jù)壓力和溫度的關(guān)系分為固相側(cè)和氣相側(cè)。在圖3中，18表示現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，19表示本發(fā)明的一個實(shí)施例的數(shù)據(jù)。
向冷卻套109供水進(jìn)行水冷卻時，定子105內(nèi)部的溫度則位于氯化鋁的升華溫度特性曲線A的固相側(cè)，氯化鋁(以下稱Alcl3)固體化，Alcl3則粘結(jié)堆積在定子105的內(nèi)壁。在本實(shí)施例中，向冷卻套109供油，對定子進(jìn)行油冷卻，因?yàn)橛偷臒醾鲗?dǎo)率比水的熱傳導(dǎo)率約低1/5，在同溫度下使用水或油時，用油可以使定子105內(nèi)部的溫度提高。其結(jié)果，能使定子105內(nèi)部的溫度保持在Alcl3的升華溫度特性曲線A的氣相側(cè)位置，可以防止反應(yīng)生成物在定子105內(nèi)壁上粘結(jié)。
現(xiàn)將本發(fā)明的作用參照圖4做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖，18是表示現(xiàn)有技術(shù)的數(shù)據(jù)，19是表示本發(fā)明一個實(shí)施例的數(shù)據(jù)。
向上述的冷卻套109供水，進(jìn)行水冷卻時，定子105內(nèi)部的溫度則位于Alcl3的升華溫度特性曲線A的固相側(cè)，在定子105的內(nèi)壁粘結(jié)堆積Alcl3。水的熱傳導(dǎo)率在水溫40℃時為0.54千卡/m.h.℃，與油等相比，熱傳導(dǎo)率大。在本發(fā)明中，是向冷卻套109供給熱傳導(dǎo)率為0.08～0.25千卡/m.h.℃的冷卻劑。滿足這個條件合適的冷卻劑，有潤滑油(＃90汽輪機(jī)油、＃140汽輪機(jī)油)真空油(烷基二苯醚類、全氟聚醚類)、礦物油、合成油、乙二醇、乙醇等。例如，使用潤滑油做為冷卻劑時，因?yàn)闈櫥偷臒醾鲗?dǎo)率與水的熱傳導(dǎo)率相比約低1/5，所以水與潤滑油在同一溫度情況下，使用潤滑油可以形成高溫，于是能夠使定子105內(nèi)部的溫度升高，可使定子105的內(nèi)部溫度保持在Alcl3的升華溫度特性曲線A的氣相側(cè)位置，這個結(jié)果就可以防止反應(yīng)生成物粘結(jié)在定子105的內(nèi)壁。
另外，在本發(fā)明中，使用了熱傳導(dǎo)率為0.08～0.25千卡/m.h.℃范圍內(nèi)的物質(zhì)作為冷卻劑，理由是因?yàn)槿绻褂脽醾鲗?dǎo)率為0.25千卡/m.h.℃的冷卻劑時，如圖4的曲線19a所示，定子從第1段到第8段的溫度是在變化，有時出現(xiàn)與ALCL3的升華溫度曲線A相當(dāng)接近的狀態(tài)，如使用熱傳導(dǎo)率比這個大的物質(zhì)時，有可能使ALCL3固體化。因此，為防止ALCL3的固體化，以使用熱傳導(dǎo)率為0.25千卡/m.h.℃以下的冷卻劑為宜。還有，使用熱傳導(dǎo)率為0.08千卡/m.h.℃的冷卻劑，定子的溫度大致可以保持在如圖4所示曲線19b，但是若使用熱傳導(dǎo)率比這種更小的冷卻劑，則定子15的冷卻不充分，定子會成為高溫，例如達(dá)到約250℃以上，定子105接合面上涂布的密封劑會被破壞，壓縮氣體的冷卻不充分，使壓縮性能低下。定子105的溫度以保持在250℃以下為好，為此，以使用熱傳導(dǎo)率為0.08千卡/m.h.℃以上的冷卻劑為好。
此外，圖1所示的實(shí)施例1中，是表示了將油冷卻器117設(shè)于電動機(jī)外套130的外部的例子，但也可將油冷卻器117裝設(shè)在電動機(jī)外套130的內(nèi)部。
圖5表示本發(fā)明的實(shí)施例2。在實(shí)施例2中與圖1的實(shí)施例1通用的部件，已用同一參照號碼指示。
在上述實(shí)施例1中，向軸承的潤滑通路和向冷卻套的冷卻劑通路，由一個密封環(huán)路構(gòu)成，在實(shí)施例2中，潤滑油系統(tǒng)則只向上下軸承107a、107b供油，對定子105部的冷卻由另設(shè)的供液泵220供給溫水進(jìn)行。亦即從水罐221出來的水，由供液泵220通過給水口223，進(jìn)入冷卻套209。進(jìn)入冷卻套209的水，由于轉(zhuǎn)子104和定子105的氣體壓縮作用發(fā)生的熱，通過定子105徐徐加溫，成為溫水后再返回水罐221，形成密封環(huán)路。如果僅是這樣的密封環(huán)路，則溫度會徐徐上升，能形成相當(dāng)?shù)母邷?。所以為了使密封環(huán)路內(nèi)的溫水的溫度保持一定，向水罐221內(nèi)由給水菅225供給冷卻水，構(gòu)成能使水罐221內(nèi)的溫水從排水菅226排出的結(jié)構(gòu)。在排水管226上，為了將水罐221的溫水向外部排出，將外部來的水導(dǎo)入水罐內(nèi)，設(shè)有溫度調(diào)節(jié)閥222。該溫度調(diào)節(jié)閥222，可以將水罐221內(nèi)的溫水224控制在一定溫度內(nèi)，能排出水罐內(nèi)的溫水以使定子的溫度保持在圖3或圖4表示的Alcl3的升華溫度曲線A的氣相側(cè)。因此，在定子105的內(nèi)壁等泵通路上不會粘結(jié)固體化的反應(yīng)生成物。
以下，參照圖6說明本發(fā)明實(shí)施例3。
在圖6中，在具有吸氣口301和排氣口302的殼體303內(nèi)，有由軸承307支承，被電動機(jī)308驅(qū)動的轉(zhuǎn)子304和圍著轉(zhuǎn)子安裝的定子305組成的泵機(jī)構(gòu)部306。從吸氣口301吸入的氣體，由于轉(zhuǎn)子304和定子305的壓縮作用，順次被壓縮，由排氣口302向大氣排出。在定子305的外側(cè)裝設(shè)有冷卻套309，在其內(nèi)面貼附有用粘結(jié)劑粘接的塑料板310。并且用橡膠制O型圈311密封，由殼體罩312形成密封空間。在殼體罩312上設(shè)有給水口313及排水口314，從給水口313流入的冷卻水，在泵機(jī)構(gòu)部306帶走在氣體壓縮時發(fā)生的熱，從排水口314排出。
其次，就本發(fā)明的實(shí)施例3的動作加以說明。從吸氣口301吸入的氣體，在由轉(zhuǎn)子304和定子305組成的泵機(jī)構(gòu)部306的通路內(nèi)，被順次壓縮，通過排氣口302向大氣排出。排氣過程中，在轉(zhuǎn)子304高速旋轉(zhuǎn)的部分，氣體形成高溫，其熱被傳導(dǎo)到定子305。在這樣的狀態(tài)下，氣體溫度升高，泵機(jī)構(gòu)部306的壓縮作用變壞使泵的性能下降，或由于熱膨脹而使轉(zhuǎn)子304和定子305接觸，所以向冷卻套309通入冷卻水進(jìn)行冷卻。
當(dāng)將真空泵的吸氣口301與例如半導(dǎo)體制造裝置的鋁板干腐蝕裝置連接時，會產(chǎn)生氯化鋁(ALCL3)作為腐蝕后的反應(yīng)生成物。該升華溫度特性圖，如圖3所示，按照壓力和溫度的關(guān)系，分為固相側(cè)和氣相側(cè)。
向冷卻套309直接通冷卻水冷卻時，定子305的內(nèi)部溫度位于ALCL3的升華溫度特性圖的固相側(cè)，會在定子305的內(nèi)壁粘結(jié)堆積ALCL3。因此，在冷卻套309的內(nèi)面貼附塑料板310時，由于塑料比鐵的熱傳導(dǎo)率小約1/10，所以冷卻水和定子鐵305內(nèi)部的氣體之間的溫度梯度變大，可以保持氣體的高溫度。其結(jié)果就可以使定子305的內(nèi)部溫度位于ALCL3的升華溫度特性圖的氣相側(cè)，在定子305的內(nèi)壁不會有反應(yīng)生成物的粘結(jié)堆積。
另外，做為塑料板310的代替物，貼附與塑料以外的金屬相比熱傳導(dǎo)率小的物質(zhì)，或者在冷卻套309的內(nèi)面涂布凝結(jié)后就形成熱傳導(dǎo)率小的膜狀的液狀物質(zhì)，也可以得到同樣效果。
按照本發(fā)明，可以使向冷卻套的冷卻液體的供給流量不會過分減少，就能使定子保持某一定溫度以上。所以在進(jìn)行穩(wěn)定的冷卻的同時，能夠有防止在真空泵的通路粘結(jié)堆積吸氣氣體凝固物的效果。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，包括具有吸氣口和排氣口的殼體、在該殼體內(nèi)固定著的定子以及在殼體內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地支承著的轉(zhuǎn)子，將從上述吸氣口吸入的氣體，從上述排氣口以大氣壓或接近大氣壓的壓力進(jìn)行排氣；該真空泵的特征在于將冷卻套安裝在定子近旁以冷卻上述定子，向這個冷卻套通入熱傳導(dǎo)率比水小的冷卻液體。
2.一種真空泵，包括具有吸氣口和排氣口的殼體、在其殼體內(nèi)旋轉(zhuǎn)自如地支承著的回轉(zhuǎn)軸、在殼體內(nèi)壁安裝著的定子以及安裝在回轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)子，使上述定子和轉(zhuǎn)子相互組合構(gòu)成泵段，能將從上述吸氣口吸入的氣體從排氣口直接向大氣進(jìn)行排氣;該真空泵的特征在于在上述定子的外周裝設(shè)冷卻套，并向該冷卻套供給熱傳導(dǎo)率為0.08～0.25千卡/m.h.℃范圍內(nèi)的冷卻劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其特征在于冷卻劑是指潤滑油、真空油、礦物油、合成油、乙二醇、乙醇中的任何一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于潤滑油是＃90汽輪機(jī)油或＃140汽輪機(jī)油。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于真空油是烷基二苯醚類或全氟聚醚類。
6.一種真空泵，吸入含有氯化鋁(ALCL3)的氣體，將其壓縮到大氣壓或接近大氣壓的壓力，進(jìn)行排氣;該真空泵的特征在于裝設(shè)冷卻套以便冷卻通路，向這個冷卻套通以熱傳導(dǎo)率小的冷卻液體，一方面使上述通路內(nèi)的溫度能保持在比氯化鋁的升華溫度高的溫度上，一方面進(jìn)行冷卻。
7.一種真空泵，包括具有吸氣口及排氣口的殼體內(nèi)收納有定子和轉(zhuǎn)子的泵機(jī)構(gòu)部以及在這個泵機(jī)構(gòu)部的下方設(shè)置的油潤滑軸承，從上述吸氣口吸入的氣體從上述排氣口排出;該真空泵的特征在于在上述定子的外周設(shè)置冷卻套，并向這個冷卻套供給與上述油潤滑軸承用的潤滑油同一的潤滑油，冷卻上述泵機(jī)構(gòu)部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其特征在于通向軸承的潤滑油通路和通向冷卻套的冷卻劑通路，是由同一閉合環(huán)路的菅路構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵，其特征在于上述軸承是滾動軸承，且在上述泵機(jī)構(gòu)部和滾動軸承之間的位置上，設(shè)有由泵體外部供給密封氣體的軸封部。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其特征在于從吸氣口吸入的氣體，在泵機(jī)構(gòu)部被壓縮到大氣壓或接近大氣壓的壓力，從排氣口向大氣排出。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其特征在于為了冷卻潤滑油而設(shè)冷卻器。
12.一種真空泵，從吸氣口吸入的氣體，由設(shè)在殼體內(nèi)的泵機(jī)構(gòu)部順次進(jìn)行壓縮，從排氣口大致以大氣壓的壓力進(jìn)行排氣;該真空泵的特征在于為了冷卻上述泵機(jī)構(gòu)部，設(shè)置冷卻套，向該冷卻套通以熱傳導(dǎo)率比水小的冷卻液體，同時，設(shè)置對這個冷卻液體的溫度進(jìn)行控制的裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的真空泵，其特征在于冷卻液體是油，控制冷卻液體溫度的裝置是油冷卻器。
14.一種真空泵，將從吸氣口吸入的含有升華性氣體的氣體，由設(shè)在泵殼體內(nèi)的泵機(jī)構(gòu)部順次進(jìn)行壓縮，在排氣口大致以大氣壓的壓力進(jìn)行排氣;該真空泵的特征在于在靠近上述泵機(jī)構(gòu)部處設(shè)置冷卻套，并設(shè)置從罐向該冷卻套供給冷卻液體的菅路和從冷卻套向上述罐返回冷卻液體的菅路，構(gòu)成冷卻液體的閉合環(huán)路，在這個閉合環(huán)路內(nèi)設(shè)置給液泵，將冷卻液體由罐向冷卻套進(jìn)行循環(huán)供給，并且設(shè)置控制上述冷卻液體溫度的裝置以使上述真空泵內(nèi)的通路壁保持比上述升華性氣體的升華溫度還高的溫度。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的真空泵，其特征在于冷卻液體是被泵機(jī)構(gòu)部的壓縮熱加熱的溫水，為使這個溫水的溫度保持一定，在上述罐內(nèi)設(shè)有冷卻溫水的裝置。
16.一種真空泵，在設(shè)置在殼體內(nèi)的轉(zhuǎn)子和定子組成的泵機(jī)構(gòu)部的作用下，將從吸氣口吸入的低壓氣體進(jìn)行壓縮，由排氣口向大氣排出;該真空泵的特征在于將在上述定子外周裝設(shè)的冷卻套的罩，做成可以裝卸自如的。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的真空泵，其特征在于冷卻套的內(nèi)面貼附有塑料板。
18.根據(jù)權(quán)利要求16上所述的真空泵，其特征在于冷卻套的罩包括冷卻液體的供給口和排出口。
全文摘要
一種真空泵，包括具有吸氣口和排氣口的殼體、定子、轉(zhuǎn)子、以及在該定子近旁裝設(shè)的冷卻套，從吸氣口吸入的氣體，以大氣壓或接近大氣壓的壓力從排氣口進(jìn)行排氣。向冷卻套通以熱傳導(dǎo)率比水小的冷卻液體。含有氯化鋁的氣體場合，應(yīng)向冷卻套通以冷卻液體。向泵機(jī)構(gòu)部下方的油潤滑軸承供給潤滑油，也可從同一供油管路將潤滑油作為冷卻液體供給冷卻套。也可由冷卻套、罐及供油管路和回油管路構(gòu)成閉合環(huán)路，用泵使冷卻液體循環(huán)。
文檔編號F04C29/02GK1055800SQ91102168
公開日1991年10月30日 申請日期1991年4月6日 優(yōu)先權(quán)日1990年4月6日
發(fā)明者谷山實(shí), 真賴正弘, 中盛數(shù)明, 長岡隆司 申請人:株式會社日立制作所