一種硅片切割液回收槽的制作方法
【專利說明】一種硅片切割液回收槽
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明主要涉及硅片切割液回收利用裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]在硅片切割生產(chǎn)過程中，作為金屬絲切割的負(fù)責(zé)耗材，硅片切割液并不可少，且價格較貴，使用量大。因此針對切割液的回收再利用以及使用維護(hù)的改進(jìn)，能有效降低硅片加工的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:針對上述現(xiàn)有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種硅片切割液回收槽，能有效對切割液進(jìn)行實時在線維護(hù)，以及對接近報廢切割液進(jìn)行聚乙二醇的回收再利用。
[0005]技術(shù)方案:為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種硅片切割液回收槽，包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述溢流隔板的高度低于槽體的高度。
[0006]作為優(yōu)選，所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um。進(jìn)一步優(yōu)選為多層纖維膜層疊結(jié)構(gòu)。
[0007]作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面下方空間連接有抽真空設(shè)備。
[0008]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:能在切割的同時對切割液進(jìn)行過濾篩選維護(hù)，延長切割液的使用壽命;并能對接近報廢的切割液進(jìn)行初篩，有理由后續(xù)的聚乙二醇的回收。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]其中，槽體1、溢流隔板2、沉降槽3、溢流槽4、切割液進(jìn)口5、切割液出口 6、網(wǎng)架7、微孔濾膜8。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合具體實施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0012]如圖1所示，一種硅片切割液回收槽，包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽體的高度。作為優(yōu)選，所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um。進(jìn)一步優(yōu)選為多層纖維膜層疊結(jié)構(gòu)。作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面下方空間連接有抽真空設(shè)備。
[0013]切割液經(jīng)過收集盤收集后從切割液進(jìn)口進(jìn)入到回收槽的沉降槽中，并經(jīng)過沉降切割液中的懸浮沉降顆粒，然后隨著液面上升從溢流隔板溢流進(jìn)入溢流槽中，隨后在負(fù)壓狀態(tài)下經(jīng)過微孔濾膜進(jìn)行二級過濾，最后送至后續(xù)處理槽中進(jìn)行物料補(bǔ)充和回收。
【主權(quán)項】
1.一種硅片切割液回收槽，其特征在于:包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽體的高度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片切割液回收槽，其特征在于:所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片切割液回收槽，其特征在于:所述溢流槽內(nèi)液面下方空間連接有抽真空設(shè)備。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅片切割液回收槽，包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽體的高度。本發(fā)明能在切割的同時對切割液進(jìn)行過濾篩選維護(hù)，延長切割液的使用壽命；并能對接近報廢的切割液進(jìn)行初篩，有理由后續(xù)的聚乙二醇的回收。
【IPC分類】C10M175/00
【公開號】CN105419925
【申請?zhí)枴緾N201510791343
【發(fā)明人】陳斌
【申請人】江蘇金暉光伏有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年11月17日