本技術屬于半導體封裝，具體而言，涉及一種半導體封裝基板tray盤清洗設備。

背景技術：

1、由于半導體封裝基板線路精細，在加工過程中，各制程需要tray盤把基板隔開，方便自動搬運到各工序；而為了避免tray盤對基板隔開時對基板造成污染，需要對tray盤進行清洗；目前，常采用的設備包括水平鏈條網(wǎng)帶設備和傳統(tǒng)垂直清洗設備，其中，采用水平鏈條網(wǎng)帶設備在對tray盤進行清洗時，無法安裝對tray盤上用于夾持基板的固定夾子自動打開機構，造成tray盤夾子清洗不干凈或烘不干；而采用傳統(tǒng)垂直清洗設備在對tray盤進行清洗時，雖然通過安裝輔助機構(例如氣缸方式)可克服無法打開固定夾子的問題，但是結構復雜。

技術實現(xiàn)思路

1、為了解決現(xiàn)有技術存在的問題，本實用新型旨在提供一種半導體封裝基板tray盤清洗設備，以實現(xiàn)對tray盤進行清洗的情況下，通過簡單結構實現(xiàn)對固定夾子進行打開，保證對tray盤固定夾子清洗干凈和烘干。

2、為達到上述技術目的及效果，本實用新型通過以下技術方案實現(xiàn)：

3、一種半導體封裝基板tray盤清洗設備，包括框架、輸送機構、清洗機構和烘干機構；所述框架內(nèi)形成有一水洗槽和一烘干槽；所述輸送機構設置在所述框架內(nèi)，并從所述水洗槽和所述烘干槽中穿過，通過所述輸送機構驅動tray盤依次從所述水洗槽和所述烘干槽通過，并在驅動的過程中實現(xiàn)對tray盤上的固定夾子打開及閉合；所述清洗機構和所述烘干機構設置在所述框架上，通過所述清洗機構實現(xiàn)對經(jīng)過所述水洗槽的tray盤進行清洗，以及通過所述烘干機構實現(xiàn)對經(jīng)過所述烘干槽的tray盤進行烘干。

4、進一步的，所述輸送機構包括一雙層滾輪線，所述雙層滾輪線與一齒輪模組連接；所述雙層滾輪線的下層滾輪上設置有限位轉輪，所述雙層滾輪線的上層滾輪上設置有閉夾轉輪；還包括有若干對開夾自由輪，所述開夾自由輪均通過支撐桿可轉動的設置在所述雙層滾輪線上。

5、進一步的，所述齒輪模組包括套設在所述雙層滾輪線下層中每組滾輪上的第一齒輪、第二齒輪以及套設在所述雙層滾輪線上層中每組滾輪上的第三齒輪，所述第三齒輪分別與一所述第一齒輪嚙合連接；每組所述第二齒輪嚙合連接有一第四齒輪，所述第四齒輪均套設在一連接桿上，所述連接桿可轉動的穿設在若干組支撐座內(nèi)。

6、進一步的，所述第一齒輪和所述第三齒輪均采用斜齒輪，且兩者之間90°傳動。

7、進一步的，所述清洗機構包括上噴管、下噴管和夾子清洗噴管；所述上噴管、所述下噴管和所述夾子清洗噴管接入一分流管，所述分流管通過一輸液管與一噴淋泵連接。

8、進一步的，所述上噴管、所述下噴管和所述夾子清洗噴管上分別安裝有噴頭。

9、進一步的，所述烘干機構包括上風管、下風管和夾子吹干風管；所述上風管、所述下風管和所述夾子吹干風管接入一分風管，所述分風管通過一送風管與一鼓風機連接。

10、進一步的，所述上風管上安裝有上風刀，所述下風管上安裝有下風刀，所述夾子吹干風管上安裝有夾子吹干風刀。

11、本實用新型的有益效果如下：本實用新型設備設置水洗槽和烘干槽，實現(xiàn)了對tray盤進行清洗的同時，實現(xiàn)了對清洗后的tray盤進行烘干；其次，本設備通過采用滾輪線，并在滾輪線上設置開夾自由輪和閉夾轉輪，實現(xiàn)了對tray盤水平輸送的情況下，實現(xiàn)了對tray盤進行清洗和烘干過程中，對tray盤上的固定夾子打開和閉合，從而保證了對tray盤中固定夾子清洗干凈和烘干的同時，設備結構簡單；另外，本設備滾輪線采用雙層滾輪線，通過調(diào)整雙層滾輪線的間距，可滿足不同厚度的tray盤，提升了適用范圍。

12、上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本實用新型的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。

技術特征：

1.一種半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：包括框架(1)、輸送機構(2)、清洗機構(3)和烘干機構(4)；所述框架(1)內(nèi)形成有一水洗槽(11)和一烘干槽(12)；所述輸送機構(2)設置在所述框架(1)內(nèi)，并從所述水洗槽(11)和所述烘干槽(12)中穿過，通過所述輸送機構(2)驅動tray盤依次從所述水洗槽(11)和所述烘干槽(12)通過，并在驅動的過程中實現(xiàn)對tray盤上的固定夾子打開及閉合；所述清洗機構(3)和所述烘干機構(4)設置在所述框架(1)上，通過所述清洗機構(3)實現(xiàn)對經(jīng)過所述水洗槽(11)的tray盤進行清洗，以及通過所述烘干機構(4)實現(xiàn)對經(jīng)過所述烘干槽(12)的tray盤進行烘干。

2.根據(jù)權利要求1所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述輸送機構(2)包括一雙層滾輪線(21)，所述雙層滾輪線(21)與一齒輪模組(22)連接；所述雙層滾輪線(21)的下層滾輪上設置有限位轉輪(23)，所述雙層滾輪線(21)的上層滾輪上設置有閉夾轉輪(24)；還包括有若干對開夾自由輪(25)，所述開夾自由輪(25)均通過支撐桿(26)可轉動的設置在所述雙層滾輪線(21)上。

3.根據(jù)權利要求2所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述齒輪模組(22)包括套設在所述雙層滾輪線(21)下層中每組滾輪上的第一齒輪(221)、第二齒輪(222)以及套設在所述雙層滾輪線(21)上層中每組滾輪上的第三齒輪(223)，所述第三齒輪(223)分別與一所述第一齒輪(221)嚙合連接；每組所述第二齒輪(222)嚙合連接有一第四齒輪(224)，所述第四齒輪(224)均套設在一連接桿(225)上，所述連接桿(225)可轉動的穿設在若干組支撐座(226)內(nèi)。

4.根據(jù)權利要求3所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述第一齒輪(221)和所述第三齒輪(223)均采用斜齒輪，且兩者之間90°傳動。

5.根據(jù)權利要求1所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述清洗機構(3)包括上噴管(31)、下噴管(32)和夾子清洗噴管(33)；所述上噴管(31)、所述下噴管(32)和所述夾子清洗噴管(33)接入一分流管(34)，所述分流管(34)通過一輸液管(35)與一噴淋泵(36)連接。

6.根據(jù)權利要求5所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述上噴管(31)、所述下噴管(32)和所述夾子清洗噴管(33)上分別安裝有噴頭(37)。

7.根據(jù)權利要求1所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述烘干機構(4)包括上風管(41)、下風管(42)和夾子吹干風管(43)；所述上風管(41)、所述下風管(42)和所述夾子吹干風管(43)接入一分風管(44)，所述分風管(44)通過一送風管(45)與一鼓風機(46)連接。

8.根據(jù)權利要求7所述的半導體封裝基板tray盤清洗設備，其特征在于：所述上風管(41)上安裝有上風刀(47)，所述下風管(42)上安裝有下風刀(48)，所述夾子吹干風管(43)上安裝有夾子吹干風刀(49)。

技術總結
本技術公開了一種半導體封裝基板TRAY盤清洗設備，包括框架、輸送機構、清洗機構和烘干機構；框架內(nèi)形成水洗槽和烘干槽；輸送機構設在框架內(nèi)，并從水洗槽和烘干槽中穿過，通過輸送機構驅動TRAY盤從水洗槽和烘干槽通過，并在驅動的過程中對TRAY盤上的固定夾子打開及閉合；清洗機構和烘干機構設在框架上，通過清洗機構對經(jīng)過水洗槽的TRAY盤進行清洗，以及通過烘干機構對經(jīng)過烘干槽的TRAY盤進行烘干。本技術實現(xiàn)對TRAY盤進行清洗和烘干；且實現(xiàn)清洗和烘干過程中，對TRAY盤上的固定夾子打開和閉合，保證對固定夾子清洗干凈和烘干；采用雙層滾輪線，滿足不同厚度的TRAY盤，提升了適用范圍。

技術研發(fā)人員：匡飛傳
受保護的技術使用者：昊邁勒機械（蘇州）有限公司
技術研發(fā)日：20240126
技術公布日：2024/10/21