利用紫外光可穿透模具來制造用于整合式相機(jī)的透鏡板的方法以及制造紫外光可穿透模 ...的制作方法
【專利摘要】間隔晶圓中的多個(gè)懸吊透鏡與透鏡在凹袋中的結(jié)構(gòu)復(fù)制于紫外光可穿透模具。制造紫外光可穿透模具的方法可包括提供帶有座體的基板，利用分步及重復(fù)處理步驟在各座體上制造透鏡，從帶有座體及具有透鏡在座體上的基板復(fù)制出中間模具，以及從中間模具復(fù)制出紫外光可穿透模具。制造紫外光可穿透模具的方法還可包括提供帶有孔洞的基板，在各孔洞中制造透鏡，從帶有座體及具有透鏡在孔洞的基板復(fù)制出紫外光可穿透模具。
【專利說明】利用紫外光可穿透模具來制造用于整合式相機(jī)的透鏡板的方法以及制造紫外光可穿透模具的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明關(guān)于一種整合式相機(jī)，特別關(guān)于一種制造用于整合式相機(jī)的透鏡板的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]整合式相機(jī)通過整合裝置制造技術(shù)或工藝制造而成，例如光微影、離子植入、擴(kuò)散、蝕刻以及其它常用于制造半導(dǎo)體集成電路的技術(shù)或工藝。多重獨(dú)立且分散的整合式相機(jī)芯片或晶?？梢灾圃煸趩我痪A上。整合式相機(jī)的體積通常很小，因此它們適合用于行動(dòng)電話、智能手機(jī)、筆記型電腦、平板電腦以及其它類似的裝置中。
[0003]整合式相機(jī)通常包括有光學(xué)組件(例如透鏡與其它用于成像的裝置)以及用以接收影像的傳感器、偵測器，或傳感器/偵測器陣列。為了要形成高質(zhì)量的影像，相機(jī)模塊中的光學(xué)組件可包括數(shù)個(gè)迭架在影像傳感器上且由間隔組件所分隔的透鏡。
[0004]整合式相機(jī)通常以晶圓等級進(jìn)行制造。在通常的制造過程中，首先會(huì)提供具有多個(gè)影像傳感器的晶圓；在帶有傳感器的晶圓上放置間隔晶圓，間隔晶圓具有對準(zhǔn)于所述傳感器的孔洞。接著，將帶有多個(gè)透鏡的晶圓(亦稱透鏡板)放置于間隔晶圓之上。透鏡板上的透鏡以及間隔晶圓上的孔洞都會(huì)對準(zhǔn)于影像傳感器。在將具有多個(gè)對準(zhǔn)于所述影像傳感器的透鏡的第二透鏡板放置在晶圓堆之前，可以提供第二間隔晶圓。在制造晶圓等級相機(jī)的過程中，會(huì)包括有多個(gè)間隔晶圓及多個(gè)透鏡板。堆迭而成的多片晶圓則切割成獨(dú)立的整合式相機(jī)，各相機(jī)則包括有影像傳感器以及堆迭的間隔組件及透鏡。
[0005]圖1為現(xiàn)有透鏡板100的剖面示意圖。透鏡板100包括有玻璃晶圓102以及多個(gè)形成于玻璃晶圓102上的透鏡104。圖2為兩個(gè)堆迭起來的現(xiàn)有透鏡板202與204的剖面示意圖。兩個(gè)透鏡板202與204由迭置于其中的間隔晶圓206所分隔。玻璃晶圓板可能會(huì)對制造在晶圓上的透鏡質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。此外，玻璃晶圓也會(huì)影響穿透光線的亮度及相位，進(jìn)而降低成像的質(zhì)量。這些影響的程度取決于玻璃晶圓的厚度。亦即，厚度越厚的玻璃晶圓對透鏡質(zhì)量以及相機(jī)的成像產(chǎn)生更為明顯的不利影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，提供一種制造紫外光(UV)可穿透模具的方法。根據(jù)所述方法，至少一個(gè)座體形成于基板上，而透鏡制造于各座體上。中間模具從帶有座體及透鏡的基板復(fù)制而得。紫外光可穿透模具則從中間模具復(fù)制而得。
[0007]在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，提供一種制造紫外光可穿透模具的方法。根據(jù)所述方法，至少一孔洞形成于基板上，而透鏡制造于各孔洞中。紫外光可穿透模具則從帶有孔洞及透鏡的基板復(fù)制而得。
[0008]在本發(fā)明的又一實(shí)施例中，提供一種制造透鏡板的方法。根據(jù)所述方法，至少一個(gè)座體形成于基板上，而透鏡制造于座體上。中間模具從帶有座體及透鏡的基板復(fù)制而得，而紫外光可穿透模具則從中間模具復(fù)制而得。多個(gè)位于間隔晶圓中的透鏡則從紫外光可穿透模具復(fù)制而得。
[0009]在本發(fā)明的再一實(shí)施例中，提供一種制造透鏡板的方法。根據(jù)所述方法，至少一個(gè)孔洞形成于基板上，而透鏡制造于孔洞中。紫外光可穿透模具則從帶有孔洞及位于孔洞中的透鏡的基板復(fù)制而得。多個(gè)位于間隔晶圓中的透鏡則從紫外光可穿透模具復(fù)制而得。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]本發(fā)明前述及其它特征可參照相關(guān)附圖及例示實(shí)施例即可明了，其中相同的組件將以相同的符號加以標(biāo)示。同時(shí)，附圖表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的示意，并未且亦不需要依據(jù)實(shí)際情形完整繪制。
[0011]圖1為一剖面示意圖，繪示一現(xiàn)有透鏡板；
[0012]圖2為一剖面示意圖，繪示兩個(gè)堆迭起來的透鏡板，且有間隔晶圓迭置于其中；
[0013]圖3為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖,繪示在間隔晶圓中懸吊有多個(gè)透鏡;
[0014]圖4為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示使用紫外光可穿透模具來制造懸吊于間隔晶圓中多個(gè)透鏡的流程；
[0015]圖5為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示用來制造凸透鏡的紫外光可穿透模具；
[0016]圖6為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示用來制造凹透鏡的紫外光可穿透模具；
[0017]圖7(a)至7(d)為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有座體的基板來制造紫外光可穿透模具的流程；
[0018]圖8為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用分步及重復(fù)處理程序在座體或孔洞中形成透鏡的流程；
[0019]圖9(a)至9(c)為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有孔洞的基板來制造用于制造凸透鏡的紫外光可穿透模具的流程；
[0020]圖10(a)至10(d)根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有座體的基板來制造用于制造凹透鏡的紫外光可穿透模具的流程；
[0021]圖11(a)至11(c)為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有孔洞的基板來制造用于制造凹透鏡的紫外光可穿透模具的流程；
[0022]圖12為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板，具有紫外光可穿透基板；
[0023]圖13為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板，具有紫外光可穿透基板以及玻璃基板；
[0024]圖14為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板，具有紫外光可穿透基板以及具有孔洞的金屬基板；
[0025]圖15為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板，具有玻璃基板以及由紫外光固化材料經(jīng)積層制造而成的座體；
[0026]圖16為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖,繪示帶有座體的基板,具有玻璃基板以及由紫外光固化材料經(jīng)蠟?zāi)ｈT造而成的座體；
[0027]圖17為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板，具有玻璃基板以及由微影技術(shù)所定位的紫外光固化光阻；
[0028]圖18為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有座體的基板以及帶有孔洞的基板；
[0029]圖19為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有孔洞的基板，且透鏡形成于孔洞被定義之前；
[0030]圖20為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用紫外光可穿透(UVT)模具制造裝置的流程，且透鏡位于裝置的凹袋結(jié)構(gòu)中；以及
[0031]圖21為根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用紫外光可穿透(UVT)模具制造裝置的另一流程，且透鏡位于裝置的凹袋結(jié)構(gòu)中。
【具體實(shí)施方式】
[0032]根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，透鏡形狀(或其逆相形狀)母?？赏ㄟ^鉆石車削銷子的方式而形成。銷子以分步及重復(fù)處理的方式用來在晶圓尺寸的模具上，在形成于晶圓上的各對應(yīng)座體上或形成于晶圓中的各對應(yīng)孔洞中，制作出多個(gè)透鏡形狀(或其逆相形狀)。晶圓尺寸的模具之后可直接用于形成最終成品，或做為中間模具以制作出最終成品。插銷可不為紫外光所穿透，而晶圓尺寸的模具可為紫外光所穿透，因而環(huán)氧樹脂可通過模具而固化。此外，模具還可為紫外光所能穿透，或是并不同時(shí)為紫外光所能穿透，因而環(huán)氧樹脂可通過模具而固化。
[0033]圖3為依據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示透鏡板。參照圖3，根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例，透鏡板300包括有多個(gè)懸吊透鏡302，此處不須要用于現(xiàn)有的晶圓等級整合式相機(jī)中的玻璃晶圓102。亦即，根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，懸吊透鏡302形成于間隔晶圓304的孔洞306中。依此種方式，由于懸吊透鏡302懸吊于間隔晶圓304的側(cè)壁上，而非受到玻璃晶圓102的垂直支撐，故不需要如圖1所示用于現(xiàn)有晶圓等級整合式相機(jī)的玻璃晶圓102。
[0034]圖4為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的連續(xù)剖面示意圖，繪示利用紫外光可穿透模具(UV-transparent, UVT)來制造透鏡板的流程400。在某些本發(fā)明的例示實(shí)施例中，所述紫外光可穿透模具可為聚二甲基娃氧燒(polydimethylsiloxane,PDMS)模具。聚二甲基娃氧烷模具可通過交聯(lián)反應(yīng)固化，以制造出光學(xué)透明聚合物，具有復(fù)制表面微米特征的能力。
[0035]參照圖4，于步驟402中，提供間隔晶圓403，形成有多個(gè)孔洞407。接著，在步驟404中，間隔晶圓403放置于第一紫外光可穿透模具405上。接著，在步驟406中，紫外光環(huán)氧樹脂409分入于放置在第一紫外光可穿透模具405上的間隔晶圓403的孔洞407之中。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，一滴紫外光環(huán)氧樹脂409分到間隔晶圓403的孔洞407中。在步驟408中，一滴紫外光環(huán)氧樹脂409分入第二紫外光可穿透模具411中。在步驟410中，第二紫外光可穿透模具411則壓靠在間隔晶圓403上。在步驟412中，紫外光環(huán)氧樹脂409通過穿透第一與第二紫外光可穿透模具405及411的紫外光加以曝照而進(jìn)行紫外光固化。在步驟414中，第一與第二紫外光可穿透模具405及411被移除，而懸吊透鏡413則形成并附著于間隔晶圓403的側(cè)壁上。通過上述步驟而制得的懸吊透鏡413與間隔晶圓403共同形成透鏡板401。
[0036]圖5及圖6為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，分別繪示用于凸透鏡的紫外光可穿透模具500以及用于凹透鏡的紫外光可穿透模具600。據(jù)此，紫外光可穿透模具的尺寸約相同于間隔晶圓。一般來說，晶圓尺寸的紫外光可穿透模塊包括有多個(gè)獨(dú)立的透鏡模具。然而，為了方便說明，圖5及圖6中僅繪示3個(gè)獨(dú)立的透鏡模具。
[0037]分別繪示在圖5及圖6中的紫外光可穿透模具500與600的制造過程將詳述如下。首先針對用于凹透鏡的紫外光可穿透模具600的制造過程加以描述。根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，用于凹透鏡的紫外光可穿透模具600的制造方式有下列兩種。第一種方式包括利用帶有座體的基板。
[0038]圖7(a)至圖7(d)為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有座體的基板來制造用于凹透鏡的紫外光可穿透模具的方法。參照圖7(a)，圖中顯示基板帶有座體。亦即，裝置700包括有多個(gè)座體702位于基板704之上。圖7 (b)則繪示凸透鏡706的形成，其通過分步及重復(fù)處理程序而形成，所述分步及重復(fù)處理程序則進(jìn)一步詳述于圖8。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，凸透鏡706由紫外光環(huán)氧樹脂制成。由于凸透鏡706由一分步及重復(fù)處理模具所覆蓋，且所述模具通常由金屬制成而紫外光無法穿透，故使用紫外光穿透基板704及座體702來固化凸透鏡706。
[0039]圖8為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的連續(xù)剖面示意圖，繪示分步及重復(fù)處理程序800。在步驟802中，一滴紫外光環(huán)氧樹脂809分入于分步及重復(fù)處理母銷810中，而在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，其可為鉆石車削金屬銷。在步驟804中，分步及重復(fù)處理母銷810向座體702下降。在步驟806中，分步及重復(fù)處理母銷810壓靠于座體702上，而凸透鏡706通過穿透帶有座體702的基板704的紫外光415的輻射照射而固化，帶有座體702的基板704為紫外光可穿透。分步及重復(fù)處理母銷810可包括有凹室810，用以接收任何從凸透鏡706所溢出的環(huán)氧樹脂813。在透鏡706經(jīng)紫外光固化后，分步及重復(fù)處理母銷810進(jìn)入下一步而移向下一個(gè)座體702，重復(fù)處理程序以制造下一個(gè)凸透鏡706。該程序一直重復(fù)，直到在基板704上所有的座體702都制造有凸透鏡706。
[0040]圖7 (C)繪示中間模具720，從帶有座體的基板且有凸透鏡706位于座體702之上的裝置700復(fù)制而得。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，中間模具720可為塑料模具。圖7(d)繪示紫外光可穿透模具740，其從中間模具720復(fù)制而得。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，紫外光可穿透模具740為聚二甲基硅氧烷模具，其通過交聯(lián)反應(yīng)固化，以制造出光學(xué)透明聚合物，具有復(fù)制表面微米特征的能力。紫外光可穿透模具740可用來作為第一及/或第二紫外光可穿透模具，如圖4所示，在用以制造在間隔晶圓的懸吊透鏡的流程400中所使用的。
[0041]用于凹透鏡的紫外光可穿透模具600的第二種制造方式包括利用形成有孔洞的基板。圖9(a)至9(c)為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有孔洞的基板來制造用于凹透鏡的紫外光可穿透模具的方法。參照圖9(a)，帶有孔洞的基板的裝置900包括基板904并形成有孔洞902。參照圖9 (b)，凹透鏡利用分步及重復(fù)處理程序而制造于基板904上的孔洞902之中，此分步及重復(fù)處理程序如圖8所繪示。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，凹透鏡906由紫外光環(huán)氧樹脂所制成。如圖9(b)所繪示，由于凹透鏡906被分步及重復(fù)處理模具給覆蓋，其通常由金屬制成而紫外光無法穿透，故利用紫外光穿透基板904來固化凹透鏡906。
[0042]如圖9(c)所示，在凹透鏡906接受穿透帶有孔洞902的基板904的紫外光曝照而形成及固化后，紫外光可穿透模具920可從帶有孔洞的基板且孔洞902中有凹透鏡906的裝置900上復(fù)制而得，而不須要通過復(fù)制中間模具的步驟。紫外光可穿透模具920可為聚二甲基硅氧烷模具或由其它紫外光可穿透材質(zhì)所制成的模具，其通過交聯(lián)反應(yīng)固化，以制造出光學(xué)透明聚合物，具有復(fù)制表面微米特征的能力。紫外光可穿透模具920可用來作為第一及/或第二紫外光可穿透模具，如圖4所示，在用以制造在間隔晶圓的懸吊透鏡的流程400中所使用的。
[0043]相同地，用于凸透鏡的紫外光可穿透模具500的制造方式也有兩種。第一種方法包括利用帶有座體的基板。圖10(a)至圖10(d)為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用帶有座體的基板來制造用于凸透鏡的紫外光可穿透模具的方法。
[0044]參照圖10(a)，根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例，帶有座體的基板的裝置1000包括基板1004以及多個(gè)座體1002。參照圖10(b)，凹透鏡1006利用圖8的分步及重復(fù)處理程序800制造于座體1002之上。凹透鏡1006通過穿透基板1004與座體1002的紫外光曝照而固化。圖10(c)繪示中間模具1020，其從帶有座體的基板且有多個(gè)凹透鏡1006位于座體1002上的裝置1000復(fù)制而得。圖10(d)繪示紫外光可穿透模具1040，其從中間模具1020復(fù)制而得。紫外光可穿透模具1040可為聚二甲基硅氧烷模具或由其它紫外光可穿透材質(zhì)所制成的模具，其通過交聯(lián)反應(yīng)固化，以制造出光學(xué)透明聚合物，具有復(fù)制表面微米特征的能力。紫外光可穿透模具1040可用來作為第一及/或第二紫外光可穿透模具，如圖4所示，在用以制造在間隔晶圓的懸吊透鏡的流程400中所使用的。
[0045]用于凸透鏡的紫外光可穿透模具500的第二種制造方式包括利用帶有孔洞的基板。參照圖11(a)，帶有孔洞的基板的裝置1100包括帶有孔洞1102的基板1104。如圖11(b)所示，在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，凸透鏡1106利用圖8的分步及重復(fù)處理程序800而制造于基板1104上的孔洞1102中。凸透鏡1106則通過接受穿透帶有孔洞的基板的裝置1100的紫外光曝照而固化及形成。如圖11(c)所示，紫外光可穿透模具1120可從帶有孔洞的基板且孔洞1102中有凸透鏡1106的裝置1100上復(fù)制而得，而不須要通過復(fù)制中間模具的步驟。紫外光可穿透模具1120可為聚二甲基硅氧烷模具，其通過交聯(lián)反應(yīng)固化，以制造出光學(xué)透明聚合物，具有復(fù)制表面微米特征的能力。紫外光可穿透模具1120可用來作為第一及/或第二紫外光可穿透模具，如圖4所示，在用以制造在間隔晶圓的懸吊透鏡的流程400中所使用的。
[0046]根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，帶有座體的基板的裝置700及1000以及帶有孔洞的基板的裝置900及1100的制造方法，將于以下詳述。首先描述帶有座體的基板的裝置700及1000的制造方法。圖12為剖面示意圖，繪示紫外光可穿透模具1202。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，紫外光可穿透模具1202的兩面以機(jī)械加工方式加以磨平，然后將部份材料移除以形成一個(gè)或多個(gè)具有預(yù)設(shè)高度的座體。
[0047]圖13為剖面示意圖，繪示紫外光可穿透基板1302黏著于玻璃基板1304。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，紫外光可穿透基板1302的兩面以機(jī)械加工方式加以磨平，接著黏著于玻璃基板1304。然后，將紫外光可穿透基板1302的部份材料加以移除以形成預(yù)定高度的座體。[0048]圖14為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示紫外光可穿透基板1402黏著于具有孔洞1406的不透明基板1404。在黏著之后，將紫外光可穿透基板1402的部份材料加以移除，以形成具有預(yù)定高度的座體?？锥?406允許紫外光穿過不透明基板1404，使得透鏡通過圖8所描述的分步及重復(fù)處理程序進(jìn)行紫外光固化而形成于座體上。在本發(fā)明某些例示實(shí)施例中，不透明基板1404可為金屬基板。
[0049]根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，帶有座體的基板裝置700及1000還可用其它方法來制造。例如，如圖15所示，為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的流程示意圖，繪示在玻璃基板上進(jìn)行積層制造的方法。參照圖15，平面平行玻璃基板1502于積層制造程序中用以做為建造層或基底層。紫外光可固化材料1504用以做為通過積層制造的座體。一旦沉積到足夠厚度并經(jīng)紫外光固化，座體1504可由機(jī)械加工至適當(dāng)厚度，以便獲得座體的預(yù)設(shè)高度。
[0050]圖16為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的流程示意圖，繪示利用蠟?zāi)５蔫T造方法。參照圖16，平面平行玻璃基板1602于積層制造程序中用以做為建造層或基底層。紫外光可固化蠟則用以定位出形成蠟?zāi)?604的充有氣體的孔洞周圍的區(qū)域。一旦沉積到足夠厚度，蠟?zāi)?604填充有紫外光可穿透環(huán)氧樹脂1606或其它相當(dāng)?shù)牟牧稀４贤夤饪纱┩腑h(huán)氧樹脂1606經(jīng)紫外光輻射曝照而固化后，紫外光可穿透環(huán)氧樹脂1606可由機(jī)械加工至適當(dāng)厚度，以便達(dá)到座體的預(yù)設(shè)高度。蠟?zāi)?604可通過融化或溶解或兩者兼具的方式加以移除。
[0051]圖17為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的流程示意圖，繪示光微影定位方法。參照圖17，平面平行玻璃基板1702于積層制造程序中用以做為建造層或基底層。紫外光可固化光阻1704則旋轉(zhuǎn)涂布至玻璃基板1702上至適當(dāng)厚度，以便日后獲得座體的預(yù)設(shè)高度。施用光罩1706，紫外光可固化光阻1704經(jīng)紫外光曝照后進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，而未經(jīng)曝照的光阻則接著通過顯影而移除。光微影定位座體則可通過機(jī)械加工的方式來進(jìn)一步控制座體的高度。
[0052]根據(jù)本發(fā)明的例示實(shí)施例，相類于圖12至17所描述的方法，可利用于制造帶有孔洞的基板的裝置900及1100。雖然帶有座體的基板與帶有孔洞的基板，其剖面圖看起來相似，座體凸出于平面，而孔洞自平面形成凹洞。圖18為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的立體示意圖，繪示帶有座體的基板的裝置以及帶有孔洞的基板的裝置。根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例，座體及孔洞可為任何形狀，包括例如圓形、正方形、長方形、菱形或其它形狀。
[0053]圖19為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示帶有孔洞的基板，且具有多個(gè)透鏡形成于孔洞定義之前。參照圖19，對于帶有孔洞的基板的裝置900及1000，透鏡1904可形成及紫外光固化于孔洞被定義在基板1902上之前。如圖19所示，孔洞可通過將層1906沉積在基板1902上加以定義。由于當(dāng)層1906沉積在基板上時(shí)透鏡1902已通過紫外光固化而制成，所以層1906可不為紫外光所穿透。
[0054]雖然本發(fā)明針對將制得的紫外光可穿透模具應(yīng)用于在間隔晶圓中的懸吊透鏡的制造，但本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】具有通常知識的人員即應(yīng)明了，根據(jù)本發(fā)明所揭露的范圍，所制得的紫外光可穿透模具亦可用于其它用途。
[0055]例如，圖20為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用紫外光可穿透模具來制造在凹袋中的透鏡裝置的流程2000。參照圖20，在步驟2002中，間隔晶圓2003黏著于玻璃晶圓2005以形成凹袋2007。在步驟2004中，于紫外光可穿透模具2011中分入紫外光環(huán)氧樹脂2009。在步驟2006中，紫外光可穿透模具2011壓靠于間隔晶圓2003上。在步驟2008中，紫外光環(huán)氧樹脂2009通過紫外光可穿透模具來進(jìn)行紫外光固化。在步驟2010中，紫外光可穿透模具2011被移除，在凹袋中的透鏡裝置2013形成于凹袋2007之中，而凹袋2007由間隔晶圓2003及玻璃晶圓2005共同組成。多個(gè)在凹袋中的透鏡裝置2013可形成在玻璃基板2005上，以形成透鏡板2001。
[0056]而另一個(gè)例子，如圖21，為根據(jù)本發(fā)明例示實(shí)施例的剖面示意圖，繪示利用紫外光可穿透模具來制造在凹袋中的透鏡裝置的另一種流程2020。在步驟2022中，間隔晶圓2023黏著于玻璃晶圓2025，以形成凹袋2027。在步驟2024中，在各凹袋2027中分入一滴紫外光環(huán)氧樹脂2029。在步驟2026中，在紫外光可穿透模具2031中分入數(shù)滴紫外光環(huán)氧樹脂2033。在步驟2028中，紫外光可穿透模具2031壓靠于間隔晶圓2023上。在步驟2030中，紫外光環(huán)氧樹脂2029及2033通過紫外光可穿透模具來進(jìn)行紫外光固化。在步驟2032中，紫外光可穿透模具2031被移除，在凹袋中的透鏡裝置2035形成于凹袋2027之中，而凹袋2027由間隔晶圓2023及玻璃晶圓2025共同組成。多個(gè)在凹袋中的透鏡裝置2035可形成在玻璃基板2025上，以形成透鏡板2021。
[0057]特征的組合
[0058]本發(fā)明不同的特征已如上所詳述，除本發(fā)明有明示排除外，本發(fā)明的范圍涵蓋所述特征的任意數(shù)量的組合。以下根據(jù)本發(fā)明的概念，舉數(shù)例說明本發(fā)明特征的數(shù)種組合。
[0059]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，制造透鏡的步驟可包括施行分步及重復(fù)處理程序。
[0060]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，制造透鏡的步驟可包括通過將紫外光穿過帶有孔洞或座體的基板而進(jìn)行紫外光固化的程序。
[0061]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括紫外光可穿透材料。
[0062]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括紫外光可穿透材料以及玻璃基板。
[0063]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括紫外光可穿透材料以及帶有至少一孔洞的不透明基板，其中在不透明基板中的至少一孔洞使紫外光通過不透明基板，以便對制造于基板的座體上及/或制造于基板的孔洞中的透鏡進(jìn)行固化。
[0064]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括玻璃基板以及積層制造的紫外光可固化材料。
[0065]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括玻璃基板以及由蠟?zāi)ＫT造的紫外光可穿透環(huán)氧樹脂。
[0066]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，帶有座體的基板及/或帶有孔洞的基板可包括玻璃基板以及微影定位的紫外光可固化光阻。
[0067]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，紫外光可穿透模具可為聚二甲基硅氧烷模具。
[0068]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，透鏡于孔洞被定義之前所制造。
[0069]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，中間模具為塑料模具。
[0070]在本發(fā)明任何所詳述的實(shí)施例及/或所請求范圍之中，透鏡板包括至少一個(gè)懸吊透鏡以及一個(gè)在凹袋中的透鏡結(jié)構(gòu)。
[0071] 以上所述僅是舉例性，而非限制性。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包括在權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種制造紫外光可穿透模具的方法，其特征在于，包括下列步驟: 于基板上形成至少一座體； 在各座體上制造透鏡； 從帶有所述座體及所述透鏡的所述基板復(fù)制出中間模具；以及 從所述中間模具復(fù)制出所述紫外光可穿透模具。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括分步及重復(fù)處理程序。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括紫外光固化程序，通過使紫外光穿透帶有所述座體的所述基板而達(dá)成。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有紫外光可穿透材料。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有紫外光可穿透材料及玻璃基板。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有紫外光可穿透材料及不透明基板，所述不透明基板中具有至少一孔洞，其中所述不透明基板中的所述孔洞使得紫外光通過所述不透明基板，借以固化在所述座體上所制造的所述透鏡。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有玻璃基板以及由積層制造而得的紫外光可固化材料。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有玻璃基板及紫外光可穿透環(huán)氧樹脂，所述紫外光可穿透環(huán)氧樹脂由蠟?zāi)ＫT造而成。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，帶有所述座體的所述基板包括有玻璃基板及微影定位的紫外光可固化光阻。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述紫外光可穿透模具為聚二甲基硅氧烷模具。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述中間模具為塑料模具。
12.一種制造紫外光可穿透模具的方法，其特征在于，包括下列步驟: 于基板上形成至少一孔洞； 在各所述孔洞中制造透鏡； 從帶有所述孔洞及所述透鏡的所述基板上復(fù)制出所述紫外光可穿透模具，所述透鏡位于各所述孔洞中。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括分步及重復(fù)處理程序。
14.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括紫外光固化程序，通過使得紫外光穿過帶有所述孔洞的所述基板來達(dá)成。
15.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括有紫外光可穿透材料。
16.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括紫外光可穿透材料以及玻璃基板。
17.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括有紫外光可穿透材料以及不透明基板，所述不透明基板中具有至少一孔洞，其中所述不透明基板中的所述至少一孔洞使得紫外光通過所述不透明基板，借以固化在所述基板的所述孔洞中制造的所述透鏡。
18.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括玻璃基板及由積層制造而得的紫外光可固化材料。
19.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括玻璃基板以及紫外光可穿透環(huán)氧樹脂，所述紫外光可穿透環(huán)氧樹脂通過蠟?zāi)ｈT造而成。
20.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，帶有所述孔洞的所述基板包括玻璃基板及微影定位的紫外光可固化光阻。
21.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述透鏡在所述孔洞定義于基板上之前被制造于所述基板上。
22.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述紫外光可穿透模具為聚二甲基硅氧燒豐吳具。
23.一種制造透鏡板的方法，其特征在于，包括下列步驟: 于基板上形成至少一座體； 在所述座體上制造透鏡； 自帶有所述座體及所述透鏡的所述基板上復(fù)制出中間模具； 自所述中間模具上復(fù)制出所述紫外光可穿透模具；以及` 自所述紫外光可穿透模具復(fù)制出在間隔晶圓中的多個(gè)透鏡。
24.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括分步及重復(fù)處理程序與紫外光固化程序，所述紫外光固化程序通過使紫外光穿透帶有所述座體的所述基板而達(dá)成。
25.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，復(fù)制所述透鏡的步驟包括復(fù)制至少一懸吊透鏡，各所述懸吊透鏡附著于所述間隔晶圓的多個(gè)側(cè)壁上；以及復(fù)制出所述透鏡，各所述透鏡位于通過所述間隔晶圓與玻璃晶圓所形成的凹袋中。
26.—種制造透鏡板的方法，其特征在于，包括下列步驟: 于基板上形成至少一孔洞； 在所述孔洞中制造透鏡； 自帶有所述孔洞及所述透鏡的所述基板上復(fù)制出紫外光可穿透模具；以及 自所述紫外光可穿透模具復(fù)制出在間隔晶圓中的多個(gè)透鏡。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，制造所述透鏡的步驟包括分步及重復(fù)處理程序與紫外光固化程序，所述紫外光固化程序通過使紫外光穿透帶有所述孔洞的所述基板而達(dá)成。
28.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于，復(fù)制所述透鏡的步驟包括復(fù)制至少一懸吊透鏡，各懸吊透鏡附著于所述間隔晶圓的多個(gè)側(cè)壁上；以及復(fù)制出所述透鏡，各所述透鏡位于由所述間隔晶圓與玻璃晶圓所形成的凹袋中。
【文檔編號】B29C33/38GK103624910SQ201310325838
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月22日
【發(fā)明者】萊吉斯·凡, 戈蘭·勞克, 喬治·巴奈斯 申請人:全視技術(shù)有限公司