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一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐的制作方法

文檔序號:10947196閱讀:700來源:國知局
一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,包括副室和單晶爐主體,副室的頂部設(shè)置有電機,電機的一側(cè)設(shè)置有位于副室側(cè)面的副室門,副室門的一側(cè)設(shè)置有位于副室與單晶爐主體之間的液壓閥,液壓閥的上部設(shè)置有與電機連接的提拉繩,提拉繩的一端連接提取棒,提取棒的一側(cè)設(shè)置有石英坩堝,石英坩堝的一側(cè)設(shè)置有石墨坩堝,石墨坩堝的一側(cè)設(shè)置有加熱器,加熱器的一側(cè)設(shè)置有保溫層,且加熱器的底部連接電極片,電極片的一端設(shè)置有位于石墨坩堝底部的石墨軸,且電極片的一側(cè)通過電纜線連接控制柜,控制柜的表面的設(shè)置有操作面板、急停按鈕和開關(guān)按鈕,且控制柜通過電纜線連接電源柜。本實用新型主要是一種直拉生產(chǎn)單晶的設(shè)備。
【專利說明】
一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種單晶爐,特別涉及一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,屬于單晶生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著工業(yè)以及城市化的加速發(fā)展,目前一些場合需要用到大量的單晶產(chǎn)品,像單晶硅一類的產(chǎn)品用的較多,而生產(chǎn)這些的單晶類的產(chǎn)品就需要用到單晶爐,單晶爐是一種用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備,這種設(shè)備可以快速高效的生產(chǎn)單晶產(chǎn)品。目前一些單晶爐的生產(chǎn)效率不是很高,產(chǎn)品的質(zhì)量也不高,而且在工作時電機暴露在外,會產(chǎn)生很大的噪聲,電機的速度又沒有有效的加以控制,不能準確的知道何時加工完,有時就會延長加工時間,造成了電量的浪費,所以說現(xiàn)在的技術(shù)還不能解決現(xiàn)有的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供了如下的技術(shù)方案:
[0005]本實用新型提供一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,包括副室和單晶爐主體,所述副室的頂部設(shè)置有電機,所述電機的一側(cè)設(shè)置有位于所述副室側(cè)面的副室門,所述副室門的一側(cè)設(shè)置有位于所述副室與所述單晶爐主體之間的液壓閥,所述液壓閥的上部設(shè)置有與所述電機連接的提拉繩,所述提拉繩的一端連接提取棒,所述提取棒的一側(cè)設(shè)置有石英坩禍,所述石英坩禍的一側(cè)設(shè)置有石墨坩禍,所述石墨坩禍的一側(cè)設(shè)置有加熱器,所述加熱器的一側(cè)設(shè)置有保溫層,且所述加熱器的底部連接電極片,所述電極片的一端設(shè)置有位于所述石墨坩禍底部的石墨軸,且所述電極片的一側(cè)通過電纜線連接控制柜,所述控制柜的表面的設(shè)置有操作面板、急停按鈕和開關(guān)按鈕,且所述控制柜通過所述電纜線連接電源柜。
[0006]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述電機的上部設(shè)置有減速機,所述減速機與所述電機的外部套有隔音罩。
[0007]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述石墨坩禍的底部設(shè)置有與所述控制柜經(jīng)所述電纜線相連接的感應(yīng)器。
[0008]作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案,所述控制柜的上部設(shè)置有報警器。
[0009]本實用新型所達到的有益效果是:本實用新型主要是一種直拉生產(chǎn)單晶的設(shè)備,提升用的電機上部的減速機可以適當?shù)慕档碗姍C的速度,使得直拉生產(chǎn)的效率達到最大化,電機和減速機的整體上套有隔音罩,可以減輕工作時的噪聲,石墨坩禍底部的感應(yīng)器主要是用于感應(yīng)是否生產(chǎn)加工完,一旦內(nèi)部的溶液被直拉完,就會使控制柜切斷電源停止生產(chǎn),減少電源的浪費,報警器可以在設(shè)備運行出現(xiàn)故障時,及時的報警提示,最快的進行維修,這種單晶爐在運行時可最大化的提高生產(chǎn)效率,而且采用控制柜式的自動化加工生產(chǎn),減輕了工人的勞動量,提高了生產(chǎn)質(zhì)量,且該設(shè)備具有操作簡單,設(shè)計合理,使用方便,價格低廉等優(yōu)點,適合直拉生產(chǎn)單晶產(chǎn)品的使用。
【附圖說明】
[0010]附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,并且構(gòu)成說明書的一部分,與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型,并不構(gòu)成對本實用新型的限制。在附圖中:
[ΟΟ??]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0012]圖中:1、隔音罩;2、減速機;3、電機;4、提拉繩;5、提取棒;6、單晶爐主體;7、保溫層;8、石英坩禍;9、石墨坩禍;10、加熱器;11、電極片;12、石墨軸;13、電纜線;14、急停按鈕;15、開關(guān)按鈕;16、操作面板;17、電源柜;18、報警器;19、控制柜;20、感應(yīng)器;21、液壓閥;22、副室門;23、副室。
【具體實施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行說明,應(yīng)當理解,此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。
[0014]實施例:如圖1所示,本實用新型提供一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,包括副室23和單晶爐主體6,副室23的頂部設(shè)置有電機3,電機3的一側(cè)設(shè)置有位于副室23側(cè)面的副室門22,副室門22的一側(cè)設(shè)置有位于副室23與單晶爐主體6之間的液壓閥21,液壓閥21的上部設(shè)置有與電機3連接的提拉繩4,提拉繩4的一端連接提取棒5,提取棒5的一側(cè)設(shè)置有石英坩禍8,石英坩禍8的一側(cè)設(shè)置有石墨坩禍9,石墨坩禍9的一側(cè)設(shè)置有加熱器10,加熱器10的一側(cè)設(shè)置有保溫層7,且加熱器10的底部連接電極片11,電極片11的一端設(shè)置有位于石墨坩禍9底部的石墨軸12,且電極片11的一側(cè)通過電纜線13連接控制柜19,控制柜19的表面的設(shè)置有操作面板16、急停按鈕14和開關(guān)按鈕15,且控制柜19通過電纜線13連接電源柜17。
[0015]電機3的上部設(shè)置有減速機2,減速機2與電機3的外部套有隔音罩I,可以降低工作時的噪聲。
[0016]石墨坩禍9的底部設(shè)置有與控制柜19經(jīng)電纜線13相連接的感應(yīng)器20,用于感應(yīng)直拉生產(chǎn)是否完成。
[0017]控制柜19的上部設(shè)置有報警器18,用于設(shè)備運行故障時的報警提示。
[0018]工作原理,首先將多晶材料放入到石英坩禍8,然后在控制柜19上的操作面板16上進行設(shè)定,設(shè)定好后即可開啟開關(guān)按鈕15進行工作,通過電源柜17提供的電源傳輸?shù)诫姌O片11上,在帶動加熱器10對石墨坩禍9的加熱,這時電機則提升提拉繩4和提取棒5進行直拉單晶,當直拉完后,感應(yīng)器20會通過控制柜19切斷電源以停止工作。
[0019]本實用新型主要是一種直拉生產(chǎn)單晶的設(shè)備,提升用的電機上部的減速機可以適當?shù)慕档碗姍C的速度,使得直拉生產(chǎn)的效率達到最大化,電機和減速機的整體上套有隔音罩,可以減輕工作時的噪聲,石墨坩禍底部的感應(yīng)器主要是用于感應(yīng)是否生產(chǎn)加工完,一旦內(nèi)部的溶液被直拉完,就會使控制柜切斷電源停止生產(chǎn),減少電源的浪費,報警器可以在設(shè)備運行出現(xiàn)故障時,及時的報警提示,最快的進行維修,這種單晶爐在運行時可最大化的提高生產(chǎn)效率,而且采用控制柜式的自動化加工生產(chǎn),減輕了工人的勞動量,提高了生產(chǎn)質(zhì)量,且該設(shè)備具有操作簡單,設(shè)計合理,使用方便,價格低廉等優(yōu)點,適合直拉生產(chǎn)單晶產(chǎn)品的使用。最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已,并不用于限制本實用新型,盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,包括副室(23)和單晶爐主體(6),其特征在于,所述副室(23)的頂部設(shè)置有電機(3),所述電機(3)的一側(cè)設(shè)置有位于所述副室(23)側(cè)面的副室門(22),所述副室門(22)的一側(cè)設(shè)置有位于所述副室(23)與所述單晶爐主體(6)之間的液壓閥(21),所述液壓閥(21)的上部設(shè)置有與所述電機(3)連接的提拉繩(4),所述提拉繩(4)的一端連接提取棒(5),所述提取棒(5)的一側(cè)設(shè)置有石英坩禍(8),所述石英坩禍(8)的一側(cè)設(shè)置有石墨坩禍(9),所述石墨坩禍(9)的一側(cè)設(shè)置有加熱器(10),所述加熱器(10)的一側(cè)設(shè)置有保溫層(7),且所述加熱器(10)的底部連接電極片(11),所述電極片(11)的一端設(shè)置有位于所述石墨坩禍(9)底部的石墨軸(12),且所述電極片(11)的一側(cè)通過電纜線(13)連接控制柜(19),所述控制柜(19)的表面的設(shè)置有操作面板(16)、急停按鈕(14)和開關(guān)按鈕(15),且所述控制柜(19)通過所述電纜線(13)連接電源柜(17)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,其特征在于,所述電機(3)的上部設(shè)置有減速機(2),所述減速機(2)與所述電機(3)的外部套有隔音罩(I)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,其特征在于,所述石墨坩禍(9)的底部設(shè)置有與所述控制柜(19)經(jīng)所述電纜線(13)相連接的感應(yīng)器(20)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高生產(chǎn)效率的自動化單晶爐,其特征在于,所述控制柜(19)的上部設(shè)置有報警器(18)。
【文檔編號】C30B15/20GK205635848SQ201620313294
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年4月14日
【發(fā)明人】胡明理, 李業(yè)林, 李宗諺, 詹經(jīng)略
【申請人】寧夏佳晶科技有限公司
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