一種tc固定裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種TC固定裝置，其包括下卡塊、與下卡塊嵌合的上卡塊，其中，在下卡塊和上卡塊側(cè)面分別設(shè)置有緊固螺釘插入孔，且上卡塊和下卡塊是上下貫通的。由此，可通過向下卡塊中插入緊固螺釘以將TC固定裝置固定于TDMAT鋼瓶上，將TC通過貫通孔插入鋼瓶中，并通過將緊固螺釘插入上卡塊的緊固螺釘插入孔中將TC固定于鋼瓶中。通過本實用新型的固定裝置，TC能夠穩(wěn)定地固定于TDMAT鋼瓶的最底部，避免因MOCVD機臺的振動而發(fā)生松脫，從而能夠準確測定鋼瓶中的溫度，同時，TC的使用壽命也得到了有效延長。
【專利說明】
一種TC固定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ] 本實用新型涉及一種TC固定裝置，特別涉及一種將TC固定于MOCVD機臺的TDMAT鋼瓶中的固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)是利用金屬有機化合物作為源物質(zhì)的一種化學(xué)氣相淀積(CVD)工藝，是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。通常，它以m族、π族元素的有機化合物和V、VI族元素的有機化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種m-v族、π-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。目前，其得到了日益廣泛的使用。
[0003]因為MOCVD生長使用的源材料通常是易燃、易爆、毒性大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD系統(tǒng)不僅要充分考慮系統(tǒng)密封性，而且源材料的流量、溫度控制要必須精確。
[0004]四雙甲基胺鈦(TDMAT)是MOCVD工藝中經(jīng)常采用的源材料之一，其保存在MOCVD機臺的TDMAT鋼瓶中，在使用時必須準確檢測TDMAT鋼瓶最底部的溫度，從而確定加熱器的加熱功率，以實現(xiàn)如上所述對TDMAT流速的精確控制。
[0005]如圖1所述，以往，測定TDMAT鋼瓶最底部的溫度時TC是直接插入TDMAT鋼瓶中的。當溫度測定結(jié)束需要拔出TC時，如圖2所示，直接將其從鋼瓶上拔出。當需要再次測定其他鋼瓶的溫度時，再次將TC插入待檢測其最底部溫度的新的TDMAT鋼瓶中。
[0006]如此，在多次拔出與插入的過程中，TC的桿發(fā)生一定程度上的彎曲是不可避免的。由于此彎曲不可能彎曲憑借TC自身應(yīng)力自然釋放得到矯正，因此，當TC被插入新的TDMAT鋼瓶中時，不能確保TC位于鋼瓶的最下部。由于距離鋼瓶底部越遠，則測定的溫度越低，為此，加熱器會相應(yīng)地提高功率以滿足預(yù)定溫度要求。實際上，鋼瓶的溫度已經(jīng)超過需要，從而使得氣流的流速加快，MOCVD過程中沉積層變厚，影響產(chǎn)品品質(zhì)。
[0007]此外，即使TC是新的，完全沒有發(fā)生任何變形，但由于在鋼瓶中沒有任何固定措施，因此伴隨機臺的振動，不可避免地發(fā)生松脫，松脫后同樣存在因TC并不位于鋼瓶的最底部導(dǎo)致溫度測定不準確的問題。
[0008]因此，如何準確控制TC使其位于MOCVD鋼瓶的最底部從而確保測定溫度的準確性日益受到關(guān)注。
【實用新型內(nèi)容】
[0009]實用新型所要解決的課題
[0010]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是通過提供一種固定裝置，避免TC在TDMAT鋼瓶的拔出與插入過程中發(fā)生彎曲變形，以及在MOCVD機臺工作過程中因機臺自身振動而發(fā)生松脫。
[0011]具體地，本實用新型通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)了上述技術(shù)目的:
[0012]根據(jù)本實用新型的一個【具體實施方式】，提供了一種TC固定裝置，其包括下卡塊、與下卡塊嵌合的上卡塊，在下卡塊和上卡塊側(cè)面分別設(shè)置有緊固螺釘插入孔，且上卡塊和下卡塊是上下貫通的。上下卡塊貫通的孔徑大小是不同的，上卡塊的貫通孔徑可允許TC穿過，下卡塊的貫通孔徑可允許用于容納TC的TC井(TC Well)穿過其中。
[0013]根據(jù)本實用新型的一個實施例的TC固定裝置，其中，下卡塊和上卡塊側(cè)面上的緊固螺釘插入孔分別設(shè)置在下卡塊和上卡塊側(cè)面的任何位置處。
[0014]根據(jù)本實用新型的一個實施例的TC固定裝置，其中，下卡塊和上卡塊側(cè)面上的緊固螺釘插入孔設(shè)置在下卡塊和上卡塊的同一側(cè)上下對齊的位置上。
[0015]實用新型效果
[0016]通過本實用新型的固定裝置，TC能夠穩(wěn)定地固定于TDMAT鋼瓶的最底部，避免因MOCVD機臺的振動而發(fā)生松脫。同時，TC在從一個TDMAT鋼瓶拔出之后插入另一個TDMAT鋼瓶的過程中不會發(fā)生彎曲變形，從而使得TC即使反復(fù)多次使用也能夠準確位于TDMAT鋼瓶的最底部，能夠準確測定鋼瓶中的溫度，同時，TC的使用壽命也得到了有效延長。
【附圖說明】
[0017]圖1為TC在沒有本實用新型的固定裝置的情況下安裝于鋼瓶中的狀態(tài)的示意圖；
[0018]圖2為TC在沒有本實用新型的固定裝置的情況下從鋼瓶中拔出的過程的示意圖；
[0019]圖3為TC通過本實用新型的固定裝置安裝于鋼瓶中的狀態(tài)的示意圖；
[0020]附圖標記說明
[0021]1、上卡塊；
[0022]2、下卡塊；
[0023]3、緊固螺釘；
[0024]4、 TC
[0025]5、鋼瓶。
【具體實施方式】
[0026]本實用新型的TC固定裝置包括下卡塊2、與下卡塊2嵌合為一體的上卡塊1，在上下卡塊的側(cè)向分別設(shè)置有緊固螺釘插入孔，且上下卡塊在上下方向上貫通，由此能夠從上下方向插入熱電偶(TC)4。
[0027]在使用時，將已經(jīng)與上卡塊I嵌合的下卡塊2與鋼瓶5自身所具有的凸臺嵌合，并通過緊固螺釘3將其與鋼瓶5緊固接合，之后，將熱電偶4從上方插入上卡塊I上下貫通的插入孔中，并沿該孔進一步向下插入下卡塊2和鋼瓶5中。當確定熱電偶4已經(jīng)插入TDMAT鋼瓶5的最底部之后，在上卡塊I側(cè)向的緊固螺釘插入孔中也插入緊固螺釘3，由此將熱電偶4固定在上卡塊I上。
[0028]在進一步的實施例中，所示上卡塊I可通過過盈配合插入下卡塊2的上下貫通的孔中，由此實現(xiàn)兩者的嵌合。
[0029]在進一步的實施例中，所示上下卡塊可通過螺紋連接或粘接而嵌合在一起。
[0030]產(chǎn)業(yè)上的實用性
[0031]通過本實用新型的TC固定裝置，TC能夠穩(wěn)定地固定于TDMAT鋼瓶的最底部，避免因MOCVD機臺的振動而發(fā)生松脫。同時，TC在從一個TDMAT鋼瓶拔出之后插入另一個TDMAT鋼瓶的過程中不會發(fā)生彎曲變形，從而使得TC即使反復(fù)多次使用也能夠準確位于TDMAT鋼瓶的最底部，能夠準確測定鋼瓶中的溫度，同時，TC的使用壽命也得到了有效延長。因此，本實用新型的TC固定裝置具有廣闊的應(yīng)用前景。
【主權(quán)項】
1.一種TC固定裝置，其特征在于，包括下卡塊、與所述下卡塊嵌合的上卡塊，在所述下卡塊和所述上卡塊側(cè)面分別設(shè)置有緊固螺釘插入孔，且所述上卡塊和所述下卡塊是上下貫通的。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TC固定裝置，其特征在于，所述下卡塊和所述上卡塊側(cè)面上的緊固螺釘插入孔分別設(shè)置在所述下卡塊和所述上卡塊側(cè)面的任何位置處。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TC固定裝置，其特征在于，所述下卡塊和所述上卡塊側(cè)面上的緊固螺釘插入孔設(shè)置在所述下卡塊和所述上卡塊的同一側(cè)上下對齊的位置上。
【文檔編號】C23C16/52GK205473979SQ201620243968
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月28日
【發(fā)明人】張強
【申請人】和艦科技(蘇州)有限公司