專利名稱：一種滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸用密封組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種離子注入機(jī)的定向臺(tái)用的滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸密封組件，涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在200mm或更大尺寸的晶片的工藝中，90nm及其更高的65nm制程的離子注入工藝中，針對(duì)注入時(shí)晶片圓周方向角度變化工藝種類工藝要求傾斜角度“magic” 7°，靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度22° 45°，必須重點(diǎn)研究離子束注入晶片內(nèi)溝道時(shí)的角度的精確度；在三阱隔離摻雜注入工藝中，圍繞溝道軸(channeling axis)的小角度變化要求解決的注入重復(fù)性問題；在四方位注入中，靶臺(tái)上待注人的晶片自轉(zhuǎn)45°注入一次。以上的對(duì)晶片周向角度要求嚴(yán)格的復(fù)雜工藝決定要求晶片在注入前精確確找尋到圓周方向的缺口，稱為晶片定向。針對(duì)這90-65nm大角度離子注入機(jī)所必須解決的的工藝難題，由于綜合考慮注入機(jī)要求350片/小時(shí)以上的生產(chǎn)效率，要求晶片圓周定向要求晶片在載片盤上快速轉(zhuǎn)動(dòng)。依據(jù)晶片傳送和定向系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求，定向過程中還要包含晶片先被頂起后旋轉(zhuǎn)找缺口再下降的三步的動(dòng)作。晶片在載片盤上位于高真空內(nèi)，大氣中的編碼電機(jī)扭矩通過升降旋轉(zhuǎn)軸傳遞到載片盤帶動(dòng)晶片旋轉(zhuǎn)，要實(shí)現(xiàn)升降旋轉(zhuǎn)軸高真空端與大氣端的隔離密封，發(fā)明設(shè)計(jì)滑動(dòng)與旋轉(zhuǎn)軸用密封組件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)的定向臺(tái)用的滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸密封組件，涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括本發(fā)明采用一個(gè)階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)密封座蓋，一個(gè)密封座，兩個(gè)密封座和密封座間的0型圈，一個(gè)密封座，一個(gè)密封抽氣的卡套接頭，兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套，兩個(gè)唇形密封圈，一個(gè)端面密封用0型圈。所述的密封組件的階梯滑動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸是的階梯狀的，它上有多個(gè)階梯，所述的密封座壓蓋用于壓蓋住唇形密封圈，上密封座上留有安裝唇形密封圈的槽，上密封座安裝密封座的兩端，兩者面間密封是0型圈，在密封座和上密封座的分界面有加強(qiáng)密封和潤(rùn)滑的抱軸軸套，密封座上的軸孔大于升降和旋轉(zhuǎn)軸的軸徑0. 5mm，密封座上橫向開有孔通向軸孔，橫向孔連接有卡套接頭，用于真空抽氣。本發(fā)明原理簡(jiǎn)單，采用的標(biāo)準(zhǔn)件市場(chǎng)易購，滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)密封的漏氣率微小，結(jié)構(gòu)耐用可靠。該機(jī)構(gòu)由以下零件構(gòu)成一個(gè)階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸1，兩個(gè)密封座蓋2，兩個(gè)上密封座3，兩個(gè)上密封座3和密封座5間的0型圈4，一個(gè)密封座5，一個(gè)密封抽氣的卡套接頭 6，兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套7，兩個(gè)唇形密封圈8，一個(gè)端面密封用0型圈9，如附圖一和圖二所示所述的一個(gè)階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸1的一端與注入機(jī)的靶室高真空腔體連接，另一端是在大氣中。所述的密封座蓋2用于壓蓋住唇形密封圈8，用螺釘與上密封座3連接。
所述的上密封座3上開有軸滑動(dòng)的通孔，開有密封槽，0型圈4位于密封槽內(nèi)，上密封座的一端還開有跟軸套7外徑過渡配合的軸向孔所述的0型圈4是標(biāo)準(zhǔn)的0型圈，用于上密封座3和密封座5之間的端面密封所述的密封座5是該密封組件的主體密封座，密封座中心開有通孔，孔徑是大于升降旋轉(zhuǎn)軸軸徑0. 5mm,階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸在孔內(nèi)滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)自如，該通孔兩端開有軸套 7外徑大的孔，密封座5帶有0型密封圈的一端用螺釘直接與靶室腔體高真空端連接，另一端與上密封座3用螺釘連接，與上密封座間的端面用0型圈4密封，密封座5上橫向開有孔通向軸孑L。所述的密封抽氣的卡套接頭6連接到密封座5，用于真空抽氣產(chǎn)生低真空。所述的抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套7用于抱軸密封階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸1，安裝于密封座5和上密封座3之間。所述的唇形密封圈8是市場(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，主要作用是滑動(dòng)密封階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸 1。所述的O型密封圈9安裝在密封座5上的密封槽內(nèi)，用于密封座5和靶室腔體的面密封


圖1為滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸密封組件示意圖。圖2為不帶階梯軸的三維滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸密封組件剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)發(fā)明的限定。本發(fā)明采用一個(gè)有多個(gè)階梯升降旋轉(zhuǎn)軸和兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套，使得軸升降旋轉(zhuǎn)自由，滑動(dòng)采用常用的唇形密封圈，密封效果好，由于軸與密封座間有很小間隙，所以在軸的高真空端和大氣端兩端間的軸與密封座間隙處設(shè)計(jì)有真空抽氣的孔用來抽真空，減小由于兩端壓力差而產(chǎn)生作用于軸升降時(shí)的阻力，軸運(yùn)動(dòng)自如。本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸用密封組件，由一個(gè)階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)密封座蓋，兩個(gè)上密封座，兩個(gè)上密封座和密封座間的0型圈，一個(gè)密封座，一個(gè)密封抽氣的卡套接頭，兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套，兩個(gè)唇形密封圈，一個(gè)端面密封用0型圈組成。其中所述的升降旋轉(zhuǎn)軸是階梯狀的。
2.如權(quán)利要求1所述的一個(gè)密封座，其特征在于密封座中心開有通孔，孔徑是大于升降旋轉(zhuǎn)軸軸徑0. 5mm,階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸在孔內(nèi)滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)自如。
3.如權(quán)利要求1所述的兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套，其特征在于材料采用特氟龍，該軸套的摩擦系數(shù)小，有自潤(rùn)滑特性，無運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的顆粒污染，尺寸穩(wěn)定性好。
4.如權(quán)利要求1所述的兩個(gè)唇形密封圈用于軸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)密封，能承受急劇的溫度變化，尺寸穩(wěn)定，摩擦系數(shù)小。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種離子注入機(jī)的定向臺(tái)用的滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)軸密封組件，涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括本發(fā)明采用一個(gè)階梯狀的升降旋轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)密封座蓋，兩個(gè)上密封座，上密封座和密封座間的兩個(gè)O型圈，一個(gè)密封座，一個(gè)密封卡套接頭，兩個(gè)抱軸且?guī)ё詽?rùn)滑特性的軸套，兩個(gè)唇形密封圈，一個(gè)端面密封用O型圈。所述的密封組件的階梯滑動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸是的階梯狀的，它上有多個(gè)階梯，所述的密封座壓蓋用于壓蓋住唇形密封圈，上密封座上留有安裝唇形密封圈的槽，上密封座安裝密封座的兩端，兩者面間密封是O型圈，在密封座和上密封座的分界面有加強(qiáng)密封和潤(rùn)滑的抱軸軸套，密封座上的軸孔大于升降和旋轉(zhuǎn)軸的軸徑0.5mm，座上橫向開有孔通向軸孔，橫向孔連接有卡套接頭，用于真空抽氣。本發(fā)明原理簡(jiǎn)單，采用的標(biāo)準(zhǔn)件市場(chǎng)易購，滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)密封的漏氣率微小，結(jié)構(gòu)耐用可靠。
文檔編號(hào)C23C14/48GK102345107SQ20101024293
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者伍三忠, 唐景庭, 孫勇, 袁衛(wèi)華 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司