本發(fā)明涉及稀有金屬焊接，尤其涉及一種環(huán)狀靶材焊接裝置及焊接方法。

背景技術(shù)：

1、在集成電路芯片制造領(lǐng)域，稀有金屬被廣泛應(yīng)用，各式各樣的稀有金屬靶材具有極大的需求量，其中，環(huán)狀靶材占比較大。但相較于其他靶材，環(huán)狀靶材制造工藝相對(duì)復(fù)雜，需要將條狀物料焊接為環(huán)狀，因此，對(duì)環(huán)狀靶材的焊接提出了十分苛刻的要求。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，主要采用手工氬弧焊。而手工氬弧焊在焊接過程中氣體保護(hù)能力不足，焊接面在高溫的影響下極容易與空氣中的物質(zhì)發(fā)生氧化反應(yīng)，產(chǎn)生其他雜質(zhì)，進(jìn)而影響產(chǎn)品質(zhì)量。同時(shí)，焊接完一個(gè)面之后，需要待靶材冷卻后，才能焊接另一面，導(dǎo)致焊接效率較低。此外，環(huán)狀靶材在焊接時(shí)，需要采用夾具進(jìn)行夾持固定，夾持不穩(wěn)或者夾持位置存在偏差等都會(huì)導(dǎo)致靶材焊接完成后出現(xiàn)斷裂，影響環(huán)狀靶材的合格率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種環(huán)狀靶材焊接裝置及焊接方法，可確保環(huán)形靶材夾持的穩(wěn)定度，便于雙面焊接，并且能夠防止焊接過程出現(xiàn)氧化，保證環(huán)狀靶材的合格率。

2、為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、一方面，提供一種環(huán)狀靶材焊接裝置，包括：

4、夾持結(jié)構(gòu)，包括兩個(gè)夾持于待焊接環(huán)狀靶材兩側(cè)的夾具，所述夾具圍設(shè)有容納腔，所述夾具側(cè)壁開設(shè)有導(dǎo)氣孔，所述導(dǎo)氣孔被配置向所述容納腔內(nèi)通入保護(hù)氣體；兩個(gè)夾具面向彼此的一側(cè)均設(shè)置有卡槽，所述環(huán)狀靶材穿設(shè)于所述卡槽內(nèi)，并伸入所述容納腔內(nèi)；所述夾具上設(shè)置有條形槽；

5、焊接結(jié)構(gòu)，包括焊槍及焊條，所述焊條連接于所述焊槍上，所述焊條能夠穿過所述條形槽伸入所述容納腔內(nèi)。

6、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述夾具上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有密封板，所述密封板能夠封堵于所述條形槽。

7、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述夾具上設(shè)置有止擋組件，所述止擋組件包括固定件、止擋件及彈性件，所述固定件設(shè)置于所述夾具外壁，所述固定件上開設(shè)有固定槽，所述止擋件可滑動(dòng)地疊設(shè)于所述夾具外壁，所述止擋件的一端伸入所述固定槽，且所述彈性件連接于所述止擋件與所述固定槽側(cè)壁之間；所述止擋件能夠止擋所述密封板從所述條形槽內(nèi)脫出。

8、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述止擋件遠(yuǎn)離所述彈性件的一端設(shè)置有操作部。

9、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述夾具內(nèi)設(shè)置有均流板，所述均流板將所述容納腔分隔為進(jìn)氣腔及工作腔，所述均流板上設(shè)置有多個(gè)均流孔，所述導(dǎo)氣孔連通于所述進(jìn)氣腔。

10、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述導(dǎo)氣孔處設(shè)置連接閥，所述連接閥被配置為與輸送保護(hù)氣體的管道相連。

11、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述卡槽上設(shè)置有斜面，所述環(huán)狀靶材抵接于所述斜面。

12、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述夾具上設(shè)置有多個(gè)卡槽。

13、作為環(huán)狀靶材焊接裝置的可選方案，所述焊接裝置還包括連接結(jié)構(gòu)；所述連接結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)連接臂，兩個(gè)所述連接臂一一對(duì)應(yīng)地連接于兩個(gè)所述夾具上。

14、另一方面，提供一種焊接方法，采用上述任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，包括如下步驟：

15、s1：將兩個(gè)所述夾具夾設(shè)于待焊接環(huán)狀靶材的兩側(cè)，并將所述環(huán)狀靶材穿設(shè)于所述卡槽內(nèi)；

16、s2：向所述容納腔內(nèi)通入所述保護(hù)氣體；

17、s3：所述焊條穿過所述條形槽伸入所述容納腔，焊接所述環(huán)狀靶材。

18、本發(fā)明的有益效果：

19、本發(fā)明提供了一種環(huán)狀靶材焊接裝置，可適用于激光焊、氬弧焊等。該裝置包括夾持結(jié)構(gòu)及焊接結(jié)構(gòu)。其中，夾持結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)夾持于待焊接環(huán)狀靶材兩側(cè)的夾具，夾具圍設(shè)有容納腔，夾具側(cè)壁上開設(shè)有導(dǎo)氣孔，保護(hù)氣體可經(jīng)導(dǎo)氣孔進(jìn)入容納腔內(nèi)，使環(huán)狀靶材待焊接位置周圍充斥保護(hù)氣體，避免焊接過程中環(huán)狀靶材發(fā)生氧化，進(jìn)而提高環(huán)狀靶材的合格率。兩個(gè)夾具面向彼此的一側(cè)均設(shè)置有卡槽，環(huán)狀靶材穿設(shè)于卡槽內(nèi)，并伸入容納腔內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)狀靶材的夾持固定，保證對(duì)環(huán)狀靶材夾持的穩(wěn)定度以及焊接位置的準(zhǔn)確性。每個(gè)夾具上均開設(shè)有條形槽，連接于焊槍上的焊條能夠穿過條形槽伸入容納腔內(nèi)，完成對(duì)環(huán)狀靶材的焊接。當(dāng)完成環(huán)狀靶材第一面的焊接后，可立即對(duì)環(huán)狀靶材第二面進(jìn)行焊接，無需等待環(huán)狀靶材冷卻，可有效提高焊接效率，確保焊接穩(wěn)定性。同時(shí)，焊接位置周圍始終充斥有保護(hù)氣體，可大幅降低焊接位置發(fā)生氧化的概率，進(jìn)而有效提高環(huán)狀靶材的合格率及產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述夾具(11)上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有密封板(14)，所述密封板(14)能夠封堵于所述條形槽(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述夾具(11)上設(shè)置有止擋組件(15)，所述止擋組件(15)包括固定件(151)、止擋件(152)及彈性件(153)，所述固定件(151)設(shè)置于所述夾具(11)外壁，所述固定件(151)上開設(shè)有固定槽，所述止擋件(152)可滑動(dòng)地疊設(shè)于所述夾具(11)外壁，所述止擋件(152)的一端伸入所述固定槽，且所述彈性件(153)連接于所述止擋件(152)與所述固定槽側(cè)壁之間；所述止擋件(152)能夠止擋所述密封板(14)從所述條形槽(13)內(nèi)脫出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述止擋件(152)遠(yuǎn)離所述彈性件(153)的一端設(shè)置有操作部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述夾具(11)內(nèi)設(shè)置有均流板(16)，所述均流板(16)將所述容納腔(110)分隔為進(jìn)氣腔(112)及工作腔(113)，所述均流板(16)上設(shè)置有多個(gè)均流孔(161)，所述導(dǎo)氣孔(12)連通于所述進(jìn)氣腔(112)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述導(dǎo)氣孔(12)處設(shè)置連接閥，所述連接閥被配置為與輸送保護(hù)氣體的管道(200)相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述卡槽(111)上設(shè)置有斜面，所述環(huán)狀靶材(100)抵接于所述斜面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述夾具(11)上設(shè)置有多個(gè)卡槽(111)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，所述焊接裝置還包括連接結(jié)構(gòu)(2)；所述連接結(jié)構(gòu)(2)包括兩個(gè)連接臂(21)，兩個(gè)所述連接臂(21)一一對(duì)應(yīng)地連接于兩個(gè)所述夾具(11)上。

10.一種焊接方法，采用上述權(quán)利要求1-9任一所述的環(huán)狀靶材焊接裝置，其特征在于，包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于稀有金屬焊接技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種環(huán)狀靶材焊接裝置及焊接方法，包括夾持結(jié)構(gòu)及焊接結(jié)構(gòu)。夾持結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)夾持于待焊接環(huán)狀靶材兩側(cè)的夾具，夾具圍設(shè)有容納腔，夾具側(cè)壁上開設(shè)有導(dǎo)氣孔，保護(hù)氣體經(jīng)導(dǎo)氣孔進(jìn)入容納腔內(nèi)，使焊接位置周圍充斥保護(hù)氣體，避免焊接過程中環(huán)狀靶材發(fā)生氧化，以提高環(huán)狀靶材的合格率。兩個(gè)夾具面向彼此的一側(cè)均設(shè)置有卡槽，環(huán)狀靶材穿設(shè)于卡槽內(nèi)，并伸入容納腔內(nèi)，保證環(huán)狀靶材夾持的穩(wěn)定度以及焊接位置的準(zhǔn)確性。每個(gè)夾具上均開設(shè)有條形槽，連接于焊槍上的焊條能夠穿過條形槽伸入容納腔內(nèi)，完成對(duì)環(huán)狀靶材的焊接。當(dāng)完成環(huán)狀靶材第一面的焊接后，可立即對(duì)環(huán)狀靶材第二面進(jìn)行焊接，進(jìn)而有效提高焊接效率。

技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍,李桂鵬,馬沁,楊德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：同創(chuàng)普潤（上海）機(jī)電高科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21