專利名稱：激光退火裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光退火裝置(laser annealing apparatus),且更具體地說,涉及一種能夠使用雙切割器提高激光束的加工精度的激光退火裝置。
背景技術(shù)：
通常，具有長邊和短邊的矩形玻璃基板被用作平板顯示器件，例如有機發(fā)光二極管顯示器的基板。這種玻璃基板承受包括清潔、激光退火、曝光以及蝕刻的各種制作工藝以制造成為用于平板顯示器件的基板。通過退火裝置進行退火。退火裝置使激光束透過腔體的上表面發(fā)射至基板以使該基板結(jié)晶化。本發(fā)明的相關(guān)技術(shù)在題目為“激光退火裝置”的韓國專利N0.10-0780291 (2007年11月22日登記)中公開。常規(guī)退火裝置被配置為使用單個切割器阻擋激光束，引起激光束的嚴重衍射，且因此使得難以精確地執(zhí)行激光束的掃描操作。因此，需要一種克服了這種問題的激光退火裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明用于解決本領(lǐng)域中的這種問題且本發(fā)明的一個方面是提供一種激光退火裝置，該激光退火裝置利用雙切割器抑制激光束的衍射以精確地掃描基板。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，激光退火裝置包括:底板單元，所述底板單元具有激光束透過的入射口 ；頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且具有用于覆蓋所述入射口的透明窗；第一切割器單元，所述第一切割器單元安裝在所述頂板單元上且部分阻擋所述激光束；以及第二切割器單元，所述第二切割器單元安裝在所述底板單元上且部分阻擋已經(jīng)透過所述入射口的所述激光束。所述底板單元可包括:底板，所述底板布置在腔體的上側(cè)處且具有所述入射口 ；以及安裝槽，所述安裝槽形成于所述底板上以與所述入射口連通，所述第二切割器單元安裝在所述安裝槽上。所述第一切割器單元可包括:切割器軌道，所述切割器軌道安裝在所述底板上；移動板，所述移動板能沿所述切割器軌道移動；第一切割器，所述第一切割器聯(lián)接到所述移動板以朝向所述透明窗凸出，并且阻擋所述激光束的周界(periphery);以及第一致動器，所述第一致動器聯(lián)接至所述底板且連接至所述移動板以具有可變的長度。所述第二切割器單元可包括:第二致動器放置于所述安裝槽上以具有可變的長度；以及第二切割器，所述第二切割器聯(lián)接至所述第二致動器且阻擋所述激光束的周界。所述第二切割器可具有形成于所述第二切割器的下表面的一個端部處的傾斜表面。
所述第二切割器可形成有標記孔。在根據(jù)本發(fā)明的激光退火裝置中，所述第一切割器單元和所述第二切割器單元雙重切割(cut)激光束以抑制激光束的衍射，從而提高激光束在基板上的掃描操作的精度。在根據(jù)本發(fā)明的激光退火裝置中，所述第一切割器單元和所述第二切割器單元通過所述致動器精確地控制，從而改進激光束掃描操作的精度。在根據(jù)本發(fā)明的激光退火裝置中，形成于所述第二切割器的下表面上的所述傾斜表面可抑制激光束的衍射。在根據(jù)本發(fā)明的激光退火裝置中，所述第二切割器被提供有標記孔，從而消除了額外的基板標記步驟。


從下面結(jié)合相應(yīng)附圖給出的實施例的描述，本發(fā)明的上述和其他方面、特征以及優(yōu)點將更加明顯，其中:圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的激光退火裝置的透視圖；圖2為未運行的根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的第二切割器單元的截面視圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的部分阻擋激光束的第二切割器單元的截面視圖；以及圖4為根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的第二切割器的示意圖。
具體實施例方式以下，將參照附圖描述本發(fā)明的示例性實施例。需要注意的是:附圖不是精確的尺寸且僅僅為了描繪的方便和清晰，線條的厚度或組件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的單數(shù)形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the) ”也可包括復(fù)數(shù)形式，除非有其他清楚限定。此外，本文中所使用的術(shù)語在考慮本發(fā)明的功能的基礎(chǔ)上來界定并可根據(jù)使用者或操作者的習(xí)慣或目的而改變。因此，應(yīng)該根據(jù)本發(fā)明中所有詳述的內(nèi)容來得到術(shù)語的界定。圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的激光退火裝置的透視圖；圖2為未運行的根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的第二切割器單元的截面視圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的部分阻擋激光束的第二切割器單元的截面視圖；以及圖4為根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的第二切割器的示意圖。參照圖1至圖4，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的激光退火裝置I包括:底板單元10、頂板單元20、第一切割器單元30以及第二切割器單元40。底板單元10具有激光束透過的入射口 19，且頂板單元20放置于底板單元10上。第一切割器單元30安裝在頂板單元20上。第一切割器單元30部分阻擋激光束100的周界部分。第二切割器單元40安裝在底板單元10上。第二切割器單元40部分阻擋已經(jīng)透過入射口 19的激光束的周界部分。
因此，由于在激光束100到達基板之前第一切割器單元30和第二切割器單元抑制了激光束100的衍射，所以提高了激光束100在基板上的掃描精度。在本發(fā)明的實施例中，底板單元10包括底板11和安裝槽12。底板11覆蓋其中放置有基板的腔體的上端。激光束100透過的入射口 19形成于底板11中。然后，入射口 19具有矩形孔形狀以便于激光束100透過入射口 19發(fā)射。安裝槽12形成于底板11上。安裝槽12與入射口的相反的端部連通。第二切割器單元40放置于安裝槽12上。在本發(fā)明的實施例中，頂板單元12包括:頂板21、透明窗22以及頂板軌道23。頂板21放置于底板11上。頂板21具有對應(yīng)于入射口 19的頂孔29，且透明窗22聯(lián)接至頂板21以關(guān)閉頂孔29。因此，從激光振蕩器發(fā)射的激光束100經(jīng)由透明窗22透過入射口 19并到達基板。頂板軌道23安裝在底板11的上表面上，且頂板21沿頂板軌道23移動。因此，當(dāng)頂板21移動且透明窗22覆蓋入射口 19時，射出激光束100以進行退火。當(dāng)頂板21移動且未覆蓋透明窗22時，在透明窗22上進行清洗和更換操作。在本發(fā)明的實施例中，第一切割器單元30包括:切割器軌道31、移動板32、第一切割器33以及第一致動器34。切割器軌道31安裝于底板11的上表面上。切割器軌道31與透明窗22分開，并沿著透明窗22的縱向方向設(shè)置。移動板32沿切割器軌道31移動。在該實施例中，一對移動板32被設(shè)置為彼此面對。第一切割器33相應(yīng)地聯(lián)接至移動板32，且朝向透明窗22凸出。第一切割器33位于透明窗22的相反的端部處以部分阻擋激光束100的周界。第一致動器34聯(lián)接至底板11。第一致動器34相應(yīng)地連接至移動板32，以便于移動板32隨著第一致動器34的長度響應(yīng)于控制信號變化而移動。因此，當(dāng)通過驅(qū)動第一致動器34使移動板32移動時，第一切割器33阻擋的激光束100的面積變化。在本發(fā)明的實施例中，第二切割器單元40包括:第二致動器41和第二切割器42。第二致動器41放置于安裝槽12上。第二致動器41的長度響應(yīng)于控制信號而變化。第二切割器42聯(lián)接至第二致動器41。隨著第二致動器41的長度的變動，第二切割器42移動至入射口 19以部分阻擋激光束100的周界。第二切割器42被設(shè)置為比第一切割器33更接近基板。因此，已經(jīng)透過第一切割器33的激光束100到達基板的距離比已經(jīng)透過第二切割器42的激光束到達基板的距離長。因此，與僅使用第一切割器30的情況相比，同時使用第一切割器33和第二切割器42抑制了激光束100的衍射。傾斜表面43形成于第二切割器42的下表面的一個端部處。傾斜表面43抑制已經(jīng)透過第二切割器42的激光束100的衍射。第二切割器42形成有透過激光束100的標記孔44。已經(jīng)透過過標記孔44的激光束100到達基板并標記基板。
隨后，將描述根據(jù)本發(fā)明的實施例的激光退火裝置的操作。當(dāng)將經(jīng)受退火的基板容納在腔體中時，底板11放置在腔體的上部上。底板11形成有入射口 19，激光束透過該入射口 19發(fā)射。用于覆蓋入射口 19的頂板21放置于底板11的上表面上。頂板21選擇性地覆蓋入射口 19，同時沿著放置在底板11上的頂板軌道23移動。切割器軌道31被提供給底板11，且隨著第一致動器34的長度變化，聯(lián)接至第一致動器34的移動板32沿切割器軌道31移動。聯(lián)接至移動板32的第一切割器33凸出，以被放置在透明窗22的上周界處并部分阻擋射出至透明窗22的激光束100的周界。然后，隨著通過驅(qū)動第一致動器34而使第一切割器33的位置變化，第一切割器33被精確地移動。因此，到達基板的激光束100能夠精確地掃描基板。與入射口 19的相反的端部連通的安裝槽12形成于底板10上，且第二致動器41放置于安裝槽12上以移動聯(lián)接至第二致動器41的第二切割器42。第二切割器42通過調(diào)節(jié)第二致動器41的長度而被放置在入射口 19處，以部分阻擋已經(jīng)透過第一切割器33的激光束100的周界。此時，隨著通過驅(qū)動第二致動器41而使第二切割器42的位置變化，第二切割器42被精確地移動。由于通過第一切割器33和第二切割器42抑制了到達基板的激光束100的衍射，基板可被精確地掃描。這里，傾斜表面43形成于第二切割器42的下表面的一個端部處，從而抑制已經(jīng)透過第二切割器42的激光束100的衍射。此外，透過激光束100以標記基板的標記孔44形成于第二切割器42中，從而能夠消除相對于基板的額外的標記。盡管已經(jīng)公開了一些實施例，但需要理解的是，這些給出的實施例僅用于解釋說明，且在不違背本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可做出各種改進、變化和替代。本發(fā)明的范圍應(yīng)通過所附的權(quán)利要求和其等效物來限定。
權(quán)利要求
1.一種激光退火裝置，包括: 底板單元，所述底板單元具有激光束透過的入射口 ； 頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且具有用于覆蓋所述入射口的透明窗； 第一切割器單元，所述第一切割器單元安裝在所述頂板單元上且部分阻擋所述激光束；以及 第二切割器單元，所述第二切割器單元安裝在所述底板單元上且部分阻擋已經(jīng)透過所述入射口的所述激光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火裝置，其中，所述底板單元包括: 底板，所述底板布置在腔體的上側(cè)處且具有所述入射口 ；以及安裝槽，所述安裝槽形成于所述底板上以與所述入射口連通，所述第二切割器單元安裝在所述安裝槽上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光退火裝置，其中，所述第一切割器單元包括: 切割器軌道，所述切割器軌道安裝在所述底板上；移動板，所述移動板能沿所述切割器軌道移動；第一切割器，所述第一切割器聯(lián)接至所述移動板以朝向所述透明窗凸出，并且阻擋所述激光束的周界；以及第一致動器，所述第一致動器聯(lián)接至所述底板且連接至所述移動板以具有可變的長度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光退火裝置，其中，所述第二切割器單元包括: 第二致動器，所述第二致動器放置于所述安裝槽上以具有可變的長度；以及第二切割器，所述第二切割器聯(lián)接至所述第二致動器并阻擋所述激光束的周界。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光退火裝置，其中，第二切割器具有形成于所述第二切割器的下表面的一個端部處的傾斜表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光退火裝置，其中，所述第二切割器形成有標記孔。
全文摘要
本公開提供一種激光退火裝置。所述激光退火裝置包括底板單元，所述底板單元具有激光束透過的入射口；頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且具有用于覆蓋所述入射口的透明窗；第一切割器單元，所述第一切割器單元安裝在所述頂板單元上且部分阻擋激光束；以及第二切割器單元，所述第二切割器單元安裝在所述底板單元上且部分阻擋已經(jīng)透過所述入射口的激光束。所述激光退火裝置雙重阻擋激光束以抑制激光束的衍射，從而允許激光束精確地掃描基板。
文檔編號B23K26/00GK103170736SQ20121054655
公開日2013年6月26日 申請日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者梁相熙, 李基雄, 崔東奎, 安珍榮 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司