專(zhuān)利名稱(chēng)：制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法及其所用的曝光系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法，更具體地講是涉及彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的效率和質(zhì)量的改進(jìn)。本發(fā)明還涉及用于制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的曝光系統(tǒng)。


圖13是制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏所用的現(xiàn)有曝光系統(tǒng)的剖視圖。在圖13中，參考數(shù)字1表示用于支撐該曝光系統(tǒng)的構(gòu)件的盒狀基體；數(shù)字2表示設(shè)置于盒狀基體1中并包括一個(gè)汞燈的光源；數(shù)字3表示光強(qiáng)校正濾光片，它固定在盒狀基體1中，用于調(diào)整光源2射出的光通量分布；數(shù)字4表示第一校正透鏡，它固定在盒狀基體1中，用于校正曝光光束的光路，從而校正側(cè)邊電子束的轟擊位置；數(shù)字5表示固定在盒狀基體1中的第二校正透鏡，它用于校正曝光光束的光路，以校正電子束的轟擊位置；數(shù)字6表示位于盒狀基體1的開(kāi)口中的罩玻璃，用于容許來(lái)自于光源2的光穿過(guò)并用于防塵；數(shù)字7表示要被曝光的玻璃面板；數(shù)字8表示盒狀基體1頂部的支撐部分，用于支撐玻璃面板7；數(shù)字9表示選色機(jī)構(gòu)(例如蔭罩)，它與玻璃面板7一一對(duì)應(yīng)并安裝在玻璃面板7的內(nèi)表面上。第一校正透鏡4和第二校正透鏡5組成一個(gè)光路校正透鏡系統(tǒng)。玻璃面板7裝在彩色陰極射線(xiàn)管前部。雖然圖13中未示出，但罩玻璃6是由受于驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的，以防止由于塵物引起的曝光故障。
下面描述制造熒光屏的方法。首先形成黑色基底。清洗玻璃面板7并使之干燥，以除去其表面上的濕氣。為形成光致抗蝕劑膜，將光致抗蝕劑材料涂敷至玻璃面板7上并使之干燥。在選色機(jī)構(gòu)9安裝至玻璃面板7的內(nèi)表面上的情況下，使玻璃面板7上的光致抗蝕劑曝光。為進(jìn)行曝光，使其中裝有選色機(jī)構(gòu)的玻璃面板7置于圖13中所示的曝光系統(tǒng)上。玻璃面板7與選色機(jī)構(gòu)9一一對(duì)應(yīng)。從光源2射出的光由光強(qiáng)校正濾光片3進(jìn)行光通量分布調(diào)整，爾后由包括第一校正透鏡4和第二校正透鏡5的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行光路校正。隨后，光穿過(guò)罩玻璃6和選色機(jī)構(gòu)9中的槽或點(diǎn)并到達(dá)玻璃面板7的內(nèi)表面上的適當(dāng)位置。曝光之后，取下選色機(jī)構(gòu)9，并使玻璃面板7上的光致抗蝕劑膜顯影。在玻璃面板7上形成石墨膜并蝕刻。這就制成了黑色基底。
然后形成熒光條或點(diǎn)。在其上形成了黑色基底的玻璃面板7上涂敷可發(fā)綠光的熒光材料。將選色機(jī)構(gòu)9安裝在玻璃面板7的內(nèi)表面上，并以與形成黑色基底相同的方式對(duì)玻璃面板7上的熒光材料進(jìn)行曝光和顯影。對(duì)發(fā)藍(lán)光和紅光的熒光材料進(jìn)行相同的操作。爾后在玻璃面板7上涂漆并淀積鋁。這樣就制成了熒光屏。應(yīng)當(dāng)指出的是，在該曝光系統(tǒng)中的光路校正是通過(guò)光源2的位置變化以及包括第一校正透鏡4和第二校正透鏡5的透鏡系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的。
在現(xiàn)有的制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法及其所用的現(xiàn)有曝光系統(tǒng)中，每一次為形成熒光層和黑色基底層而對(duì)玻璃面板曝光時(shí)，均要將選色機(jī)構(gòu)9安裝至玻璃面板7上并再?gòu)牟Ａ姘?卸下。多次將選色機(jī)構(gòu)9安裝至玻璃面板7并再?gòu)拿姘?上卸下會(huì)使其相對(duì)于玻璃面板7偏移，這使得要形成的熒光層和黑色基底層具有低的再現(xiàn)性，并導(dǎo)致以下不良結(jié)果黑色基底層和熒光層之間的相對(duì)位置失調(diào)、由于選色機(jī)構(gòu)9的裝卸造成的故障、以及由于裝卸時(shí)間造成的工作時(shí)間浪費(fèi)。例如，黑色基底層和熒光層之間具有嚴(yán)重的位置失調(diào)的熒光屏只能作為不合格品廢棄，而具有輕度的相對(duì)位置失調(diào)的熒光屏則需要在除去黑色基底層和熒光層之后重新制備。
本發(fā)明的目的是要提供一種制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法，該方法是通過(guò)在彩色陰極射線(xiàn)管的面板的內(nèi)表面上形成多個(gè)熒光條或多個(gè)熒光點(diǎn)實(shí)現(xiàn)的。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，該方法包括以下步驟(a)為使多個(gè)熒光條或點(diǎn)形成在彩色陰極射線(xiàn)管的預(yù)定位置上，調(diào)整通過(guò)曝光系統(tǒng)中位置可調(diào)的母掩模投影至面板上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置；和(b)為形成多個(gè)熒光條或點(diǎn)，將面板裝入曝光系統(tǒng)中，以對(duì)面板進(jìn)行曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)包括對(duì)于多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的每一個(gè)調(diào)整多個(gè)條或點(diǎn)的位置的步驟，多個(gè)第一曝光系統(tǒng)包括分別對(duì)應(yīng)于不同發(fā)光顏色的熒光層的具有不同構(gòu)形的熒光層母掩模，并且除熒光層母掩模外具有相同構(gòu)造，多個(gè)條或點(diǎn)通過(guò)多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的熒光層母掩模投影至面板上；而步驟(b)包括將一個(gè)面板依次安裝在多個(gè)第一曝光系統(tǒng)中的步驟，以便由多個(gè)第一曝光系統(tǒng)對(duì)面板曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)還包括通過(guò)一個(gè)第二曝光系統(tǒng)的一個(gè)黑色基底母掩模調(diào)整投影至面板上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置的步驟，第二曝光系統(tǒng)包括黑色基底母掩模，并且除多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的熒光層母掩模和此黑色基底母掩模外，具有與第一曝光系統(tǒng)相同的構(gòu)造；而步驟(b)還包括將面板安裝至第二曝光系統(tǒng)中以對(duì)面板曝光的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的第四方面，優(yōu)選方法是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模具有預(yù)定曲度。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，優(yōu)選方法是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模具有平的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面，在步驟(a)和(b)中所用的曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，母掩模具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，此條或點(diǎn)的陣列是由要投影在面板的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面，在步驟(a)和(b)中所用的曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，母掩模具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，此條或點(diǎn)的陣列是由通過(guò)彩色陰極射線(xiàn)管的選色機(jī)構(gòu)的一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列投影至面板的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個(gè)熒光條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)使母掩模在下列方向上移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的調(diào)整垂直于母掩模的一主表面的方向、母掩模的主表面中的第一方向、主表面內(nèi)與第一方向垂直的第二方向、以及主表面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)使曝光系統(tǒng)的光源在下列方向上移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的調(diào)整垂直于母掩模的一主表面的方向、平行于母掩模的主表面的第一方向、以及平行于主表面且垂直于第一方向的第二方向。
根據(jù)本發(fā)明的第十方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)曝光系統(tǒng)的校正透鏡實(shí)現(xiàn)的調(diào)整，用以校正曝光光束的光路，從而校正束轟擊位置。
根據(jù)本發(fā)明的第十一方面，優(yōu)選方式是，該方法進(jìn)一步包括以下步驟通過(guò)固定在面板內(nèi)預(yù)定位置中的攝象裝置，確定選色機(jī)構(gòu)的預(yù)定槽或點(diǎn)的位置，并通過(guò)該攝象裝置確定的在面板內(nèi)表面上的由母掩模形成的熒光條或點(diǎn)的位置，以通過(guò)在兩個(gè)位置的數(shù)值之間進(jìn)行比較來(lái)計(jì)算偏移量。
根據(jù)本發(fā)明的第十二方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模包括用于使面板曝光的黑色基底母掩模，以形成黑色基底，在步驟(b)中在形成黑色基底之后，通過(guò)封閉黑色基底母掩模的預(yù)定部分，采用黑色基底母掩模對(duì)面板曝光，以形成熒光層。
根據(jù)本發(fā)明的第十三方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的光源為表面光源。
根據(jù)本發(fā)明的第十四方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)包括調(diào)整一個(gè)第一曝光系統(tǒng)的一個(gè)復(fù)用母掩模的位置的步驟，復(fù)用母掩模用于形成對(duì)應(yīng)多種發(fā)光顏色的熒光層，而步驟(b)包括將面板安裝在第一曝光系統(tǒng)中并順序地移動(dòng)投影至面板內(nèi)表面上的圖象的位置的步驟，以便通過(guò)復(fù)用母掩模投影至面板內(nèi)表面上的圖象與用于多種發(fā)光顏色的熒光屏相對(duì)應(yīng)，并順序?qū)γ姘迤毓舛纬刹煌瑹晒鈱印?br> 根據(jù)本發(fā)明的第十五方面，優(yōu)選方式是，投影至面板內(nèi)表面上的與用于多種發(fā)光顏色的熒光屏相對(duì)應(yīng)的圖象的位置的順序移動(dòng)是通過(guò)順序移動(dòng)第一曝光系統(tǒng)的光源的位置實(shí)現(xiàn)的。
根據(jù)本發(fā)明的第十六方面，優(yōu)選方式是，投影至面板內(nèi)表面上的與用于多種發(fā)光顏色的熒光層相對(duì)應(yīng)的位置的順序移動(dòng)是通過(guò)順序移動(dòng)第一曝光系統(tǒng)的復(fù)用母掩模實(shí)現(xiàn)的。
本發(fā)明的目的還在于提供一種用于形成彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的曝光系統(tǒng)，該系統(tǒng)是通過(guò)對(duì)安裝在其中的面板進(jìn)行曝光而在彩色陰極射線(xiàn)管的面板上形成多個(gè)熒光條或多個(gè)熒光點(diǎn)來(lái)制造熒光屏的。根據(jù)本發(fā)明的第十七方面，該曝光系統(tǒng)包括用于曝光的光源；和設(shè)在光源和面板之間的位置可調(diào)的母掩模，用于將多個(gè)條或多個(gè)點(diǎn)投影至面板的內(nèi)表面上。
根據(jù)本發(fā)明的第十八方面，優(yōu)選方式是，母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層相對(duì)應(yīng)的多個(gè)熒光屏母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第十九方面，優(yōu)選方式是，母掩模還包括與黑色基底層相對(duì)應(yīng)的黑色基底母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十方面，優(yōu)選方式是，母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層相對(duì)應(yīng)的復(fù)用母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十一方面，母掩模包括具有預(yù)定曲度的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二十二方面，母掩模包括平坦的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二十三方面，母掩模在預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，此槽或點(diǎn)的陣列是由投影至面板內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十四方面，優(yōu)選方式是，母掩模在預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，此條或點(diǎn)的陣列是由通過(guò)彩色陰極射線(xiàn)管中的選色機(jī)構(gòu)的槽或點(diǎn)的陣列投影至面板內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十五方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括第一移動(dòng)裝置，用于在垂直于母掩模的一個(gè)主表面的方向上移動(dòng)母掩模；第二移動(dòng)裝置，用于在母掩模的主表面內(nèi)的第一方向上移動(dòng)母掩模；第三移動(dòng)裝置，用于在主表面內(nèi)垂直于母掩模的第一方向的第二方向上移動(dòng)母掩模；和第四移動(dòng)裝置，用于在主表面內(nèi)旋轉(zhuǎn)母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十六方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括第一移動(dòng)裝置，用于在垂直于母掩模的一個(gè)主表面的方向上移動(dòng)光源；第二移動(dòng)裝置，用于在平行于母掩模的主表面的第一方向上移動(dòng)光源；和第三移動(dòng)裝置，用于在平行于母掩模的主表面且垂直于第一方向的第二方向上移動(dòng)光源。
根據(jù)本發(fā)明的第二十七方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括設(shè)置于母掩模和光源之間的校正透鏡，用于校正曝光光束的光路，從而校正束的轟擊位置，以調(diào)整通過(guò)母掩模而投影至面板內(nèi)表面上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置。
根據(jù)本發(fā)明的第二十八方面，優(yōu)選方式是，該光源包括一個(gè)表面光源。
在根據(jù)本發(fā)明的第一方面的步驟(a)中，為在彩色陰極射線(xiàn)管的預(yù)定位置中形成熒光條或點(diǎn)，要調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板上的圖象的多個(gè)熒光條或點(diǎn)的位置。調(diào)整的母掩模用于在步驟(b)中曝光。這免除了對(duì)選色機(jī)構(gòu)安裝至面板或從面板上卸下的需要，并通過(guò)可重復(fù)性改善了黑色基底層和熒光層之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。由于裝卸選色機(jī)構(gòu)引起的故障得以消除，也減少了裝卸所需的時(shí)間。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面的方法，曝光系統(tǒng)中的母掩模替代了選色機(jī)構(gòu)，免除了為曝光而將選色機(jī)構(gòu)安裝至面板上的步驟，從而可更有效地形成熒光屏。防止了由于選色機(jī)構(gòu)的裝卸造成的再現(xiàn)性的降低，從而減少了故障。
在根據(jù)本發(fā)明的第二方面的步驟(a)和(b)中，具有不同熒光層母掩模的第一曝光系統(tǒng)調(diào)節(jié)為具有相同的設(shè)定值，以方便地實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)所有發(fā)光顏色的熒光層之間的校準(zhǔn)以及在發(fā)生位置失調(diào)時(shí)對(duì)應(yīng)于所有發(fā)光顏色的調(diào)整。相同面板可以順序安裝在多個(gè)第一曝光系統(tǒng)中曝光，由此縮短時(shí)間。
本發(fā)明的第二方面的方法簡(jiǎn)化了多個(gè)相同構(gòu)造的第一曝光系統(tǒng)的調(diào)整。相同的面板順序安裝在多個(gè)第一曝光系統(tǒng)中曝光提供了制造熒光屏的有效工藝。
在根據(jù)本發(fā)明的第三方面的步驟(a)和(b)中，除母掩模外，第二曝光系統(tǒng)具有與第一曝光系統(tǒng)相同的設(shè)定值，以方便地實(shí)現(xiàn)黑色基底層和各發(fā)光顏色的熒光層之間的校準(zhǔn)，減輕其間的位置失調(diào)。
本發(fā)明的第三方面的方法容許第一和第二曝光系統(tǒng)以相似方式調(diào)整，以減輕黑色基底層和熒光層之間的位置失調(diào)，提高所制造的熒光屏的成品率。
根據(jù)本發(fā)明的第四方面，母掩模具有預(yù)定的曲度，并且在母掩模和面板之間的位置關(guān)系復(fù)雜時(shí)容易處理，例如，當(dāng)平的母掩模在槽或點(diǎn)的布局方面遇到困難時(shí)、當(dāng)面板和母掩模之間的間隔必須減小時(shí)、當(dāng)面板具有不同的局部曲度時(shí)、以及當(dāng)母掩模必須調(diào)整至選色機(jī)構(gòu)的曲度時(shí)。
本發(fā)明的第四方面的方法采用包括具有預(yù)定曲度的母掩模的曝光系統(tǒng)來(lái)實(shí)施步驟(a)和(b)，以方便地滿(mǎn)足面板和母掩模之間的復(fù)雜關(guān)系。當(dāng)面板和母掩模具有復(fù)雜的相對(duì)位置關(guān)系時(shí)，這可簡(jiǎn)化操作，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面的母掩模具有平坦的主表面，以便于處理基本(構(gòu)形)面板。
本發(fā)明的第五方面的方法簡(jiǎn)化了基本面板的處理，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面的母掩模設(shè)置在曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，并如此設(shè)計(jì)，即，來(lái)自于曝光系統(tǒng)的光源的光將熒光條或點(diǎn)投影至作為目標(biāo)的熒光屏內(nèi)表面上，以簡(jiǎn)化步驟(a)中的調(diào)整。
本發(fā)明的第六方面的方法可以方便地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置，以更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面的母掩模設(shè)置在曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，并如此設(shè)計(jì)，即，來(lái)自于曝光系統(tǒng)的光源的光按照選色機(jī)構(gòu)的條或點(diǎn)的陣列將熒光條或點(diǎn)投影至作為目標(biāo)的面板內(nèi)表面上，以簡(jiǎn)化步驟(a)中的調(diào)整。
本發(fā)明的第七方面的方法可按照選色機(jī)構(gòu)方便地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置，使得制造熒光屏更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，母掩模在垂直于母掩模的主表面的方向上、主表面中的第一方向上、主表面內(nèi)的第二方向上、以及主表面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)，以便于調(diào)整投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第八方面的方法可方便地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，光源在垂直于母掩模的主表面的方向上、在平行于主表面的第一方向上、以及在平行于主表面且垂直于第一方向的第二方向上移動(dòng)，以便于調(diào)整投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第九方面的方法可方便地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第十方面，光路可采用校正透鏡很容易地校正。投影至面板上的熒光條或點(diǎn)的位置可方便地調(diào)整。
本發(fā)明的第十方面的方法可方便地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第十一方面，攝象裝置確定由母掩模在面板內(nèi)表面上形成的熒光條或點(diǎn)的位置相對(duì)于選色機(jī)構(gòu)的預(yù)定條或點(diǎn)的位置的偏移，以方便地校正通過(guò)母掩模投影的熒光條或點(diǎn)的位置偏移。
本發(fā)明的第十一方面的方法可方便地校正通過(guò)母掩模投影的熒光條或點(diǎn)的位置偏移，使制造熒光屏更為精確和高效。
在根據(jù)本發(fā)明的第十二方面的步驟(b)中，黑色基底母掩模的預(yù)定位置被封閉，以便為形成熒光層而采用黑色基底母掩模對(duì)面板曝光，從而減輕了熒光層與黑色基底之間的位置失調(diào)。
本發(fā)明的第十二方面的方法減輕了熒光層與黑色基底之間的位置失調(diào)，從而提高了所制成的熒光屏的成品率。
根據(jù)本發(fā)明的第十三方面的光源是表面光源，它向母掩模發(fā)射基本平行的光束。因此，由曝光投影至面板上的熒光條或點(diǎn)的位置關(guān)系與母掩模的槽或點(diǎn)的位置關(guān)系是相同的。這便于投影至面板上的熒光條或點(diǎn)的位置的調(diào)整。
本發(fā)明的第十三方面的方法可方便地調(diào)整投影至面板上的熒光條或點(diǎn)的位置，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十四方面，一個(gè)復(fù)用母掩模足以形成多個(gè)熒光層，從而減輕了各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調(diào)。如果此復(fù)用母掩模還用于黑色基底，則可減輕黑色基底與熒光層之間的位置失調(diào)。
本發(fā)明的第十四方面的方法減輕了黑色基底和熒光層之間以及各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調(diào)，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十五方面，光源可以移動(dòng)，以移動(dòng)投影至面板上的圖象的位置，從而方便了為形成對(duì)應(yīng)多種發(fā)光顏色的熒光層而對(duì)面板進(jìn)行的曝光。
本發(fā)明的第十五方面的方法便于為形成多個(gè)熒光層而進(jìn)行的曝光，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十六方面的復(fù)用母掩?？梢砸苿?dòng)，以使投影至面板上的圖象的位置移動(dòng)，從而方便了為形成與多種發(fā)光顏色相對(duì)應(yīng)的多個(gè)熒光層而進(jìn)行的曝光。
本發(fā)明的第十六方面的方法便于為形成多個(gè)熒光屏而進(jìn)行的曝光，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十七方面，母掩模替代了選色機(jī)構(gòu)，多個(gè)熒光條或點(diǎn)通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上，而選色機(jī)構(gòu)則是在對(duì)面板曝光時(shí)要安裝在面板內(nèi)表面上的。
本發(fā)明的第十七方面的曝光系統(tǒng)免除了在對(duì)面板進(jìn)行曝光時(shí)裝卸選色機(jī)構(gòu)的需要，從而減少了不合格品。此曝光系統(tǒng)還縮短了裝卸選色機(jī)構(gòu)所需的時(shí)間，使得能高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十八方面，多個(gè)熒光層母掩模中的每一個(gè)對(duì)應(yīng)于一種發(fā)光顏色。因此，選色機(jī)構(gòu)不需要裝在面板內(nèi)表面上，為形成與多種發(fā)光顏色相應(yīng)的熒光層，可實(shí)施多個(gè)曝光過(guò)程。
本發(fā)明的第十八方面的曝光系統(tǒng)可形成與多種發(fā)光顏色相對(duì)應(yīng)的熒光層，從而實(shí)現(xiàn)了具有更高級(jí)功能的曝光系統(tǒng)。
本發(fā)明的第十九方面的曝光系統(tǒng)容許專(zhuān)用于黑色基底的黑色基底母掩模，在不將選色機(jī)構(gòu)安裝至面板內(nèi)表面上的情況下，用于為形成黑色基底而對(duì)面板曝光。
本發(fā)明的第十九方面的曝光系統(tǒng)可進(jìn)行為形成黑色基底所需的曝光以及同樣為形成熒光層所需的曝光，從而便于實(shí)現(xiàn)黑色基底和熒光層之間的校準(zhǔn)。
根據(jù)本發(fā)明的第二十方面，采用復(fù)用母掩模減輕了熒光層和黑色基底之間的位置失調(diào)以及各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調(diào)。
本發(fā)明的第二十方面的曝光系統(tǒng)減輕了黑色基底和熒光層之間的位置失調(diào)，從而減少了不合格品。
根據(jù)本發(fā)明的第二十一方面的具有曲度的母掩模能在面板和母掩模之間的位置關(guān)系復(fù)雜時(shí)容易地按照面板來(lái)對(duì)面板曝光。
在母掩模和面板之間的位置關(guān)系復(fù)雜時(shí)，本發(fā)明的第二十一方面的曝光系統(tǒng)是容易處理的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十二方面的母掩模具有平坦的主表面，且(例如)在熒光條或點(diǎn)形成于基本面板上時(shí)容易處理。
本發(fā)明的第二十二方面的曝光系統(tǒng)在使用常規(guī)面板時(shí)容易處理。
根據(jù)本發(fā)明的第二十三方面的母掩模設(shè)置在曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，并如此設(shè)計(jì)，即來(lái)自于曝光系統(tǒng)的光源的光將熒光條或點(diǎn)的陣列投影至作為目標(biāo)的玻璃面板內(nèi)表面上，由此可方便地調(diào)整所投影的熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第二十三方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整所投影的熒光條或點(diǎn)的位置，從而對(duì)面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十四方面的母掩模設(shè)置在曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中，并如此設(shè)計(jì)，即，來(lái)自于曝光系統(tǒng)的光源的光按照選色機(jī)構(gòu)的槽或點(diǎn)的陣列，將熒光條或點(diǎn)的陣列投影至作為目標(biāo)的面板內(nèi)表面上，以方便地調(diào)整所投影的熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第二十四方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整所投影的熒光條或點(diǎn)的位置，以對(duì)面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十五方面，第一至第四移動(dòng)裝置用于調(diào)整母掩模的位置，以便調(diào)整熒光條或點(diǎn)在面板內(nèi)表面上的投影位置。
本發(fā)明的第二十五方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整熒光條或點(diǎn)的投影位置，從而對(duì)面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十六方面，第一至第三移動(dòng)裝置用于調(diào)整光源的位置，以便調(diào)整熒光條或點(diǎn)在面板內(nèi)表面上的投影位置。
本發(fā)明的第二十六方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整熒光條或點(diǎn)的投影位置，從而對(duì)面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十七方面的校正透鏡可以容易地調(diào)整通過(guò)母掩模投影至面板內(nèi)表面上的多個(gè)熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第二十七方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整熒光條或點(diǎn)的投影位置，以對(duì)面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十八方面，光源包括用于發(fā)射基本平行的光束的表面光源。因此，可容易地調(diào)整投影至面板上的熒光條或點(diǎn)的位置。
本發(fā)明的第二十八方面的曝光系統(tǒng)可方便地調(diào)整熒光條或點(diǎn)的投影位置，以對(duì)面板有效地曝光。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是要如此制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏，即，通過(guò)免除選色機(jī)構(gòu)的裝卸，使由于選色機(jī)構(gòu)重復(fù)安裝至玻璃面板上和從玻璃面板上卸下造成的黑色基底和熒光層之間的位置失調(diào)降至最低，且不會(huì)由于縮短的操作時(shí)間而使裝卸發(fā)生故障。
從結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明所做的以下詳細(xì)說(shuō)明中，本發(fā)明的這些和其它目的、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將變得更為清楚。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的曝光系統(tǒng)的剖視圖；圖2是第一優(yōu)選實(shí)施例的曝光系統(tǒng)的母掩模部分的放大示意圖；圖3是第一優(yōu)選實(shí)施例的曝光系統(tǒng)的光源部分的立體示意圖；圖4和5是顯示第一優(yōu)選實(shí)施例的光源、面板和母掩模之間的關(guān)系的剖視圖；圖6示出采用CCD攝象機(jī)的系統(tǒng)，此系統(tǒng)用于確定第一優(yōu)選實(shí)施例的選色機(jī)構(gòu)的槽或點(diǎn)的位置；圖7示出采用CCD攝象機(jī)的系統(tǒng)，此系統(tǒng)用于確定第一優(yōu)選實(shí)施例的黑色基底的條或點(diǎn)的位置；圖8是顯示制備第一優(yōu)選實(shí)施例的黑色基底的過(guò)程的流程圖；圖9是用于自動(dòng)地制造第一優(yōu)選實(shí)施例的熒光屏的方框圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實(shí)施例的母掩模的立體圖；圖11是根據(jù)第一優(yōu)選實(shí)施例的另一方面的曝光系統(tǒng)的剖視圖；圖12是顯示使用表面光源時(shí)母掩模和面板之間的關(guān)系的剖視圖；圖13是現(xiàn)有的曝光系統(tǒng)的剖視圖。
第一優(yōu)選實(shí)施例下面將參照?qǐng)D1至7描述根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法。在第一優(yōu)選實(shí)施例的此方法中，母掩模的槽或點(diǎn)的陣列與相應(yīng)于各發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層中的每一層是一一對(duì)應(yīng)的。圖1是用于第一優(yōu)選實(shí)施例的此方法中的曝光系統(tǒng)的剖視圖。在圖1中，參考符號(hào)8a表示位于盒狀基體1的頂部的一個(gè)支撐部分，它具有一個(gè)支撐玻璃面板7的外緣的部分，以便于玻璃面板7的對(duì)準(zhǔn)定位，此支撐部分用于如此支撐玻璃面板7，使玻璃面板7不偏位；符號(hào)10表示具有多個(gè)開(kāi)口(剖視圖中未示出)的母掩模，這些開(kāi)口與槽或點(diǎn)相對(duì)應(yīng)，以容許光線(xiàn)穿過(guò)而在玻璃面板7的內(nèi)表面上投射出槽或點(diǎn)的圖象；符號(hào)11表示用于支撐母掩模10的可伸縮支撐柱；符號(hào)12表示一個(gè)基板，它具有一個(gè)中央開(kāi)口，支撐柱11就固定至此基板上；符號(hào)13表示設(shè)置在盒狀基體1的擱板部分1a上的一個(gè)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，它用于支撐基板12，并可相對(duì)于盒狀基體1轉(zhuǎn)動(dòng)，其中央有一開(kāi)口；符號(hào)14表示由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13可旋轉(zhuǎn)地支撐于固定位置的螺栓，它接觸基板12的側(cè)表面，以相對(duì)于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13移動(dòng)基板12；符號(hào)15表示銷(xiāo)柱，它與基板12的孔相配合，以在水平方向可移動(dòng)地固定基板12，其直徑小于基板12的孔；符號(hào)16表示位于母掩模10周邊的一個(gè)支架，用于防止光線(xiàn)在不希望的方向上射出。與圖13相對(duì)應(yīng)的部分以相同參考數(shù)字表示。為對(duì)準(zhǔn)定位，支撐部分8a設(shè)計(jì)成支撐玻璃面板7的被稱(chēng)作對(duì)位基準(zhǔn)的一個(gè)部分。
圖2是母掩模及其位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的透視圖。在圖2中，參考數(shù)字17表示用于確定母掩模10的移動(dòng)量的確定位置，用以顯示或輸出此量；數(shù)字18表示固定在旋轉(zhuǎn)部件13上的支撐部件，用于可旋轉(zhuǎn)地支撐螺栓14a、14b于固定位置；數(shù)字19表示用于將旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13固定于任一位置的一個(gè)定位件。通過(guò)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，母掩模10可相對(duì)于管軸轉(zhuǎn)動(dòng)和沿X、Y、Z方向移動(dòng)。通過(guò)順時(shí)針或反時(shí)針旋轉(zhuǎn)，帶螺紋的支撐柱11可以伸縮，從而使母掩模10沿Z軸移動(dòng)。四個(gè)角上的支撐柱11可獨(dú)立地伸縮，以容許調(diào)整輕微的傾斜。螺栓14a、14b容許母掩模10平行于其平面即沿X和Y方向移動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺栓14a，基板12相對(duì)于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13沿Y軸移動(dòng)，而通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺栓14b，基板12相對(duì)于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13沿X軸移動(dòng)。通過(guò)調(diào)整螺栓14a、14b，基板12可在旋轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)。盡管在圖2中未示出，但在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13的一側(cè)可設(shè)置一個(gè)用于引導(dǎo)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13轉(zhuǎn)動(dòng)的部件，以防止其平移，這樣，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13僅產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13的轉(zhuǎn)動(dòng)容許母掩模10繞管軸旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13的大約±10°的旋轉(zhuǎn)已是足夠的。母掩模10沿X和Y軸的移動(dòng)量由確定裝置17確定。雖然圖2中未示出，但設(shè)有一個(gè)測(cè)量裝置，用于測(cè)量母掩模10的旋轉(zhuǎn)角以及其四個(gè)角在Z方向上的移動(dòng)距離。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13是手動(dòng)旋轉(zhuǎn)的，但也可通過(guò)一個(gè)與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13的帶齒邊緣相嚙合的齒輪的驅(qū)動(dòng)而自動(dòng)地旋轉(zhuǎn)。
光源2具有一個(gè)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)。圖3是光源2的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)的透視圖。在圖3中，參考數(shù)字2表示光源；數(shù)字31表示第一臺(tái)板；數(shù)字32表示第一臺(tái)板31上的支撐柱，用于可伸縮地支撐光源2；數(shù)字33表示位于第一臺(tái)板31之下的第二臺(tái)板，數(shù)字34表示用于在X方向移動(dòng)第一臺(tái)板31的進(jìn)給螺栓；數(shù)字35表示用于在Y方向移動(dòng)第二臺(tái)板33的進(jìn)給螺栓；數(shù)字36表示用于確定光源2在Z方向上的移動(dòng)距離的確定裝置；數(shù)字37表示用于確定第一臺(tái)板31在X方向上的移動(dòng)距離的確定裝置；數(shù)字38表示用于確定第二臺(tái)板33在Y方向上的移動(dòng)距離的確定裝置。
母掩模10的槽或點(diǎn)的陣列是由位于玻璃面板7內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的陣列、曝光系統(tǒng)的光源2的位置以及彩色陰極射線(xiàn)管中選色機(jī)構(gòu)9的槽或點(diǎn)的陣列確定的。圖4示出母掩模10與玻璃面板7的內(nèi)表面之間的關(guān)系。在圖4中，參考數(shù)字2表示光源；參考符號(hào)2a表示在Z軸上平移光源2得到的(光源)點(diǎn)；符號(hào)7a表示玻璃面板7的內(nèi)表面；符號(hào)7b表示圖象投射至玻璃面板7內(nèi)表面上的目標(biāo)位置；數(shù)字10表示母掩模。參考符號(hào)a表示母掩模10與玻璃面板7的內(nèi)表面7a的中心之間的距離；符號(hào)b表示母掩模10與點(diǎn)2a之間的距離；符號(hào)C表示母掩模10與光源2之間的距離。為通過(guò)與母掩模10的槽或點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口使圖象投射在目標(biāo)位置7b上，開(kāi)口應(yīng)根據(jù)光源2的位置以及玻璃面板的內(nèi)表面相對(duì)于母掩模10的位置而定位。例如，如果光源2移至點(diǎn)2a，從光源2發(fā)射的光束的路徑會(huì)偏移，開(kāi)口的位置必須能補(bǔ)償這種偏移。采用帶有根據(jù)目標(biāo)位置7a和光源2的位置之間的關(guān)系所形成的開(kāi)口的母掩模10有利于在目標(biāo)位置上的熒光條或點(diǎn)的形成。
圖5示出采用選色機(jī)構(gòu)9來(lái)確定目標(biāo)位置7b的方法。在圖5中，符號(hào)P0表示相對(duì)于玻璃面板內(nèi)表面7a的偏振光的中心。由于玻璃面板7和選色機(jī)構(gòu)9呈一一對(duì)應(yīng)關(guān)系，因此目標(biāo)位置7b是偏振光從偏振光中心P0通過(guò)安裝在玻璃面板7內(nèi)表面上的選色機(jī)構(gòu)9到達(dá)玻璃面板內(nèi)表面7a上的位置。按此方法，采用與玻璃面板一一對(duì)應(yīng)的選色機(jī)構(gòu)9來(lái)確定目標(biāo)位置會(huì)有利于按照選色機(jī)構(gòu)9在目標(biāo)位置上形成熒光條或點(diǎn)。
現(xiàn)在將參照?qǐng)D6至8描述根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法。圖6和7是一個(gè)機(jī)構(gòu)的剖視圖，此機(jī)構(gòu)用于通過(guò)電荷耦合器件(CCD)攝象機(jī)以確定選擇機(jī)構(gòu)9的位置關(guān)系。在圖6和7中，參考數(shù)字7表示玻璃面板；數(shù)字9表示安裝在玻璃面板7內(nèi)表面上的選色機(jī)構(gòu)；數(shù)字20表示貼靠于玻璃面板7的外表面的校準(zhǔn)夾具，用來(lái)確定選色機(jī)構(gòu)9在稱(chēng)為校整基準(zhǔn)的位置中的位置關(guān)系；數(shù)字21表示相對(duì)于夾具20定位的CCD攝象機(jī)的光接收部分；數(shù)字22表示用于顯示來(lái)自于CCD攝象機(jī)的光接收部分21的圖象信息的監(jiān)視器。
圖8是一個(gè)流程圖，它示出根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的過(guò)程。在以面板外部形狀為參考以及選色機(jī)構(gòu)9安裝于面板7內(nèi)表面的基礎(chǔ)上，CCD攝象機(jī)的光接收部分21拍攝選色機(jī)構(gòu)9的規(guī)定槽或點(diǎn)，如圖6所示。由CCD攝象機(jī)的光接收部分21拍攝的槽或點(diǎn)的位置可從監(jiān)視器22上的圖象中確定(步驟ST1)。根據(jù)所讀出的槽或點(diǎn)的位置計(jì)算出一個(gè)校準(zhǔn)值。從玻璃面板7上取下選色機(jī)構(gòu)9，并進(jìn)行按常規(guī)方式的曝光步驟之前的其它后續(xù)步驟。
為對(duì)第一個(gè)玻璃面板進(jìn)行曝光，僅需將玻璃面板7置于圖1中所示的曝光系統(tǒng)中，此時(shí)選色機(jī)構(gòu)9已從玻璃面板7中取出。母掩模10的位置采用位置調(diào)整機(jī)構(gòu)根據(jù)校準(zhǔn)值加以控制。由光源2發(fā)出的光要由光強(qiáng)校正過(guò)濾片3進(jìn)行光通量分布調(diào)整，并接著由第一校正透鏡4和第二校正透鏡5進(jìn)行光路校正。然后，光穿過(guò)罩蓋玻璃6、基板12、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)13和黑色基底母掩模10上的槽或孔到達(dá)玻璃面板7內(nèi)表面的預(yù)定位置并使此位置曝光。若無(wú)必要，可取出第一校正透鏡4和第二校正透鏡5。在曝光之后，按常規(guī)方式形成黑色基底層(步驟ST2)。
以與圖7所示的在形成黑色基底層之間相同的方式，采用夾具20使形成有黑色基底層的玻璃面板7對(duì)準(zhǔn)定位。CCD攝象機(jī)的光接收部分21拍攝形成于玻璃面板7的內(nèi)表面上的黑色基底規(guī)定條或點(diǎn)。條或點(diǎn)的位置在監(jiān)視器22上確定(步驟ST3)。
將所確定的位置與在選色電極9安裝在玻璃面板7內(nèi)表面上時(shí)確定的位置數(shù)據(jù)相比較，便確定了黑色基底層的條或點(diǎn)的偏移量(步驟ST4)。
在步驟ST5中對(duì)偏移量進(jìn)行判定。如果偏移量在規(guī)定范圍之內(nèi)，流程將進(jìn)行至下一步驟。如果超出了規(guī)定范圍，流程將進(jìn)行至步驟ST6，在此步驟中，母掩模10由圖2所示的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)移動(dòng)，并且將偏移量反饋至曝光系統(tǒng)，以便校正玻璃面板7的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的位置。步驟ST2和ST6重復(fù)進(jìn)行，直止完成位置校正。如果通過(guò)上述過(guò)程未實(shí)現(xiàn)校正，則應(yīng)裝上或取下第二校正透鏡5，或者使用一個(gè)不同的第二校正透鏡5。
形成熒光條或點(diǎn)。在采用與黑色基底曝光系統(tǒng)的設(shè)定值相似的設(shè)定值進(jìn)行位置校正的基礎(chǔ)上，由帶有為各發(fā)光顏色而裝配的母掩模10的多個(gè)曝光系統(tǒng)對(duì)玻璃面板7進(jìn)行相應(yīng)于每種發(fā)光顏色的曝光。對(duì)于這種曝光并不安裝選色機(jī)構(gòu)9。黑色基底和熒光層之間的校準(zhǔn)以相似方式通過(guò)母掩模10、光源2的位置控制、以及第二校正透鏡5來(lái)進(jìn)行調(diào)整。此后，用漆涂敷玻璃面板7并淀積鋁。這就完成了熒光屏的制備。
為對(duì)第二至最后一個(gè)玻璃面板進(jìn)行曝光，采用CCD攝象機(jī)確定預(yù)定槽或點(diǎn)的位置，此時(shí)選色機(jī)構(gòu)9安裝在玻璃面板7的內(nèi)表面上，如圖6所示(步驟ST8)。將確定的結(jié)果與第一個(gè)玻璃面板的數(shù)據(jù)相比較(步驟ST9)。爾后計(jì)算偏移量(步驟ST10)。采用曝光系統(tǒng)的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，根據(jù)偏移量調(diào)整母掩模10或光源2的位置(步驟ST6)。爾后以與制造第一個(gè)玻璃面板相同的過(guò)程形成黑色基底(步驟ST2)。步驟ST2至ST6以與制造第一玻璃面板相同的方式重復(fù)進(jìn)行，直至偏移量符合規(guī)定范圍內(nèi)。以與制造第一玻璃面板相同的方式形成熒光層。在連續(xù)制造第二至最后一個(gè)玻璃面板的過(guò)程中，如果第二個(gè)玻璃面板超出了規(guī)定范圍(在步驟ST5中)，則在第三個(gè)玻璃面板的工藝之后，工藝步驟再次從ST8開(kāi)始進(jìn)行(在黑色基底除去一次之后)。
上述過(guò)程可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)。圖9是顯示自動(dòng)功能組合的方框圖。在圖9中，參考數(shù)字90表示位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，它用于調(diào)整如圖2和3所示的母掩模10的位置或光源2的位置；數(shù)字91表示確定裝置，它使用圖6和7中所示的CCD攝象機(jī)以確定預(yù)定槽或點(diǎn)的位置；數(shù)字92表示驅(qū)動(dòng)裝置，它用于通過(guò)電動(dòng)機(jī)或類(lèi)似設(shè)備的旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動(dòng)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)90的進(jìn)給螺栓；數(shù)字93表示控制裝置，它用于根據(jù)由確定裝置91確定的值計(jì)算偏移量，再根據(jù)所計(jì)算出的偏移量控制驅(qū)動(dòng)裝置92。
確定裝置91采用CCD攝象機(jī)確定安裝在第一玻璃面板的內(nèi)表面上的選色機(jī)構(gòu)9的槽或點(diǎn)的位置。在第一個(gè)玻璃面板7曝光而形成黑色基底之后，確定裝置91還采用同一CCD攝象機(jī)確定在玻璃面板7的內(nèi)表面上形成的黑色基底的預(yù)定條或點(diǎn)的位置。控制裝置93從確定裝置91接收確定結(jié)果，以計(jì)算偏移量?？刂蒲b置93根據(jù)所計(jì)算出的偏移量輸出驅(qū)動(dòng)裝置92所需的數(shù)據(jù)，例如有關(guān)進(jìn)給螺栓的轉(zhuǎn)數(shù)的數(shù)據(jù)?？刂蒲b置93還判斷偏移量(對(duì)于選色電極9和黑色基底)是在規(guī)定范圍內(nèi)還是超出了此范圍。驅(qū)動(dòng)裝置92根據(jù)從控制裝置93輸出的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)位置調(diào)整機(jī)構(gòu)90，以將偏移量反饋至曝光系統(tǒng)。
第二優(yōu)選實(shí)施例下面將描述根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實(shí)施例以制造陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法。在第一優(yōu)選實(shí)施例中，為形成黑色基底和熒光層使用了多個(gè)曝光系統(tǒng)。為在黑色基底和熒光層之間公用一個(gè)曝光系統(tǒng)，在形成黑色基底之后，在黑色基底母掩模10a上方采用了一個(gè)熒光層母掩模轉(zhuǎn)換罩10b，如圖10所示。在黑色基底母掩模10a中形成多個(gè)點(diǎn)或槽50。黑色基底母掩模10a中的點(diǎn)或槽50的數(shù)量大于熒光層母掩模轉(zhuǎn)換罩10b中的點(diǎn)或槽51的數(shù)量。例如，當(dāng)采用三種發(fā)光顏色的熒光層時(shí)，點(diǎn)或槽50的數(shù)量大約是點(diǎn)或槽51的數(shù)量的三倍。熒光層母掩模轉(zhuǎn)換罩10b用于封閉黑色基底母掩模10a中的對(duì)于發(fā)光顏色所不需要的一些孔。為此，熒光層母掩模轉(zhuǎn)換罩10b的點(diǎn)或槽51的尺寸大于黑色基底母掩模10a的點(diǎn)或槽50的尺寸。為形成另一種發(fā)光顏色的熒光層，要采用具有不同位置的孔的另一熒光層母掩模轉(zhuǎn)換罩來(lái)進(jìn)行曝光。可在不進(jìn)行位置調(diào)整的情況下，采用黑色基底母掩模形成熒光層和黑色基底層。這方便地消除了黑色基底層和熒光層之間的偏差。
第三優(yōu)選實(shí)施例下面描述根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實(shí)施例的制造陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法。在第二優(yōu)選實(shí)施例中，母掩模10中的槽或點(diǎn)與在玻璃面板7的內(nèi)表面上形成的熒光條或點(diǎn)一一對(duì)應(yīng)。在第三優(yōu)選實(shí)施例中，通過(guò)由一個(gè)母掩模10在玻璃面板7內(nèi)表面上投射而形成的圖象的預(yù)定量的移動(dòng)，可形成用于另一發(fā)光顏色的條或點(diǎn)。這是通過(guò)在曝光過(guò)程中使圖1中的光源2自動(dòng)地移至每一發(fā)光顏色的位置和/或使母掩模自動(dòng)地移至與每一發(fā)光顏色對(duì)應(yīng)的位置實(shí)現(xiàn)的。同一母掩模10(對(duì)于一個(gè)曝光系統(tǒng))可用于黑色基底和熒光層。另外，具有相同操作規(guī)范的母掩模10可分別用于黑色基底和熒光層。用于移動(dòng)母掩模10或光源2的機(jī)構(gòu)可由第一優(yōu)選實(shí)施例中所述的機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。
在第一至第三優(yōu)選實(shí)施例中，母掩模10是平面狀的，但它可以具有預(yù)定的曲度，諸如圖11中所示的母掩模10c。對(duì)于基本玻璃面板7而言，采用平的母掩模有利于條或點(diǎn)的形成。但是，總體上或部分地具有預(yù)定曲度的母掩模在下列方面容易處理調(diào)整母掩模至選色機(jī)構(gòu)9的曲度；采用由平的母掩模難以形成的條或點(diǎn)的陣列；減小面板內(nèi)表面和母掩模之間的間隔；采用具有不同的局部曲度的玻璃面板。
參照?qǐng)D12，為對(duì)玻璃面板7的整個(gè)內(nèi)表面進(jìn)行曝光，光源可以是表面光源。由于從表面光源發(fā)光的光束80平行地射至母掩模10上，采用表面光源有利于玻璃面板7的內(nèi)表面上的熒光條或點(diǎn)的位置與母掩模的槽或點(diǎn)的位置(具有相同的X和Y值)之間的對(duì)準(zhǔn)，從而保證了熒光條或點(diǎn)形成于玻璃面板7的內(nèi)表面上的目標(biāo)位置上。
在第一至第三優(yōu)選實(shí)施例中形成有黑色基底層。當(dāng)僅采用具有各發(fā)光顏色的熒光層而不采用黑色基底層時(shí)，可省去形成黑色基底層的步驟，其它的步驟與第一至第三優(yōu)選實(shí)施例中相同。
盡管已對(duì)本發(fā)明做了詳細(xì)圖示和說(shuō)明，但上面的說(shuō)明從所有方面講均是描繪性的而非限制性的。因此可以理解，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可做出多種修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的方法，此熒光屏是通過(guò)在彩色陰極射線(xiàn)管的面板的內(nèi)表面上形成多個(gè)熒光條或多個(gè)熒光點(diǎn)制成的，所述方法包括以下步驟(a)為使所述的多個(gè)熒光條或點(diǎn)形成在所述彩色陰極射線(xiàn)管的預(yù)定位置上，調(diào)整通過(guò)曝光系統(tǒng)中位置可調(diào)的母掩模投射至所述面板上的多個(gè)條或點(diǎn)的位置；和(b)為形成所述的多個(gè)熒光條或點(diǎn)，將所述面板裝在所述曝光系統(tǒng)中，以便對(duì)所述面板進(jìn)行曝光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)包括對(duì)于多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的每一個(gè)對(duì)所述的多個(gè)條或點(diǎn)的位置進(jìn)行調(diào)整的步驟，所述的多個(gè)第一曝光系統(tǒng)包括分別對(duì)應(yīng)于不同發(fā)光顏色的熒光層的具有不同構(gòu)形的熒光層母掩模，并且除所述熒光層母掩模外具有相同構(gòu)造，所述的多個(gè)條或點(diǎn)通過(guò)所述的多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的所述熒光層母掩模投射至所述面板上；和其中所述步驟(b)包括將一個(gè)面板按順序安裝在所述的多個(gè)第一曝光系統(tǒng)中的步驟，以便由所述的多個(gè)第一曝光系統(tǒng)對(duì)所述面板曝光。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)還包括對(duì)通過(guò)一個(gè)第二曝光系統(tǒng)的一黑色基底母掩模投影至所述面板上的所述多個(gè)條或點(diǎn)的位置進(jìn)行調(diào)整的步驟，所述第二曝光系統(tǒng)包括所述黑色基底母掩模，并且除所述的多個(gè)第一曝光系統(tǒng)的所述熒光層母掩模和所述的黑色基底母掩模之外具有與所述的第一曝光系統(tǒng)相同的構(gòu)造；和其中所述步驟(b)還包括將所述面板安裝至所述第二曝光系統(tǒng)中以對(duì)所述面板曝光的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模具有預(yù)定曲度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模具有平坦的主表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步驟(a)和(b)中所用的所述曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，所述條或點(diǎn)的陣列是由投影在所述面板的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步驟(a)和(b)中所用的所述曝光系統(tǒng)的預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，所述條或點(diǎn)的陣列是由通過(guò)所述彩色陰極射線(xiàn)管中的選色機(jī)構(gòu)的一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列投影至所述面板的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列和所述曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個(gè)熒光條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)使所述母掩模在下列方向移動(dòng)而實(shí)現(xiàn)的調(diào)整垂直于所述母掩模的一個(gè)主表面的方向、所述母掩模的所述主表面中的第一方向、在所述母掩模的所述主表面中并與所述第一方向正交的第二方向、以及在所述主表面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個(gè)條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)使所述曝光系統(tǒng)的一個(gè)光源在下列方向上移動(dòng)而實(shí)現(xiàn)的調(diào)整垂直于所述母掩模的一個(gè)主表面的方向、平行于所述母掩模的所述主表面的第一方向、以及平行于所述主表面且垂直于所述第一方向的第二方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個(gè)條或點(diǎn)的位置調(diào)整包括通過(guò)所述曝光系統(tǒng)的校正透鏡實(shí)現(xiàn)的調(diào)整，用以校正曝光光束的光路，從而校正束轟擊位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，還包括以下步驟通過(guò)固定在所述面板內(nèi)預(yù)定位置中的攝象裝置，確定選色機(jī)構(gòu)的預(yù)定槽或點(diǎn)的位置，并通過(guò)所述攝象裝置，確定通過(guò)設(shè)在所述面板的所述內(nèi)表面上的所述母掩模而形成的熒光條或點(diǎn)的位置，以便對(duì)兩個(gè)位置的數(shù)值之間進(jìn)行比較而計(jì)算偏移量。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模包括用于使所述面板曝光的一個(gè)黑色基底母掩模，以形成一黑色基底，和在所述步驟(b)中形成所述黑色基底之后，通過(guò)封閉所述黑色基底母掩模的預(yù)定部分，采用所述黑色基底母掩模對(duì)所述面板曝光，形成熒光層。
13.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的光源包括一個(gè)表面光源。
14.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)包括調(diào)整一個(gè)第一曝光系統(tǒng)的一個(gè)復(fù)用母掩模的位置的步驟，所述復(fù)用母掩模用于形成對(duì)應(yīng)多種發(fā)光顏色的熒光層，其中所述步驟(b)包括將所述面板安裝在所述第一曝光系統(tǒng)中并順序地移動(dòng)投影至所述面板內(nèi)表面上的圖象的位置的步驟，以便通過(guò)所述復(fù)用母掩模投影至所述面板的內(nèi)表面上的圖象與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對(duì)應(yīng)，并對(duì)所述面板順序曝光而形成所述的不同熒光層。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其特征在于，其中投影至所述面板內(nèi)表面上的與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對(duì)應(yīng)的圖象的位置的順序移動(dòng)是通過(guò)順序移動(dòng)所述第一曝光系統(tǒng)的光源的位置而實(shí)現(xiàn)的。
16.根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其特征在于，其中投影至所述面板內(nèi)表面上的與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對(duì)應(yīng)的圖象的位置的順序移動(dòng)是通過(guò)順序移動(dòng)所述第一曝光系統(tǒng)的所述復(fù)用母掩模實(shí)現(xiàn)的。
17.一種用于制造彩色陰極射線(xiàn)管的熒光屏的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它是通過(guò)對(duì)安裝在其中的面板進(jìn)行曝光而在所述彩色陰極射線(xiàn)管的所述面板上形成多個(gè)熒光條或多個(gè)熒光點(diǎn)而制造所述熒光屏的，所述曝光系統(tǒng)包括用于曝光的光源；和設(shè)置在所述光源和所述在板之間的位置可以調(diào)整的母掩模，用于將多個(gè)條或多個(gè)點(diǎn)投影至所述面板的內(nèi)表面上。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層相對(duì)應(yīng)的多個(gè)熒光層母掩模。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模還包括與黑色基底層相對(duì)應(yīng)的黑色基底母掩模。
20.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述的母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層相對(duì)應(yīng)的復(fù)用母掩模。
21.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括具有預(yù)定曲度的主表面。
22.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括平坦的主表面。
23.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模在預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，所述槽或點(diǎn)的陣列由投影至所述面板的內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的所述光源的位置決定。
24.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模在預(yù)定位置中具有一個(gè)槽或點(diǎn)的陣列，所述條或點(diǎn)的陣列由通過(guò)所述彩色陰極射線(xiàn)管中的選色機(jī)構(gòu)的槽或點(diǎn)的陣列投影至所述面板內(nèi)表面上的條或點(diǎn)的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的所述光源的位置決定。
25.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它還包括第一移動(dòng)裝置，用于在垂直于所述母掩模的一主表面的方向上移動(dòng)所述母掩模；第二移動(dòng)裝置，用于在所述母掩模的所述主表面中的第一方向上移動(dòng)所述母掩模；第三移動(dòng)裝置，用于在所述主表面內(nèi)垂直于所述母掩模的所述第一方向的第二方向上移動(dòng)所述母掩模；和第四移動(dòng)裝置，用于在所述主表面內(nèi)使所述母掩模旋轉(zhuǎn)。
26.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它還包括第一移動(dòng)裝置，用于在垂直于所述母掩模的一主表面的方向上移動(dòng)所述光源；第二移動(dòng)裝置，用于在平行于所述母掩模的所述主表面的第一方向上移動(dòng)所述光源；和第三移動(dòng)裝置，用于在平行于所述母掩模的所述主表面且垂直于所述的第一方向的第二方向上移動(dòng)所述光源。
27.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于所述母掩模和所述光源之間的校正透鏡，用于校正曝光光束的光路，進(jìn)而用于校正束的轟擊點(diǎn)，從而調(diào)整通過(guò)所述母掩模投影至所述面板內(nèi)表面上的所述的多個(gè)條或點(diǎn)的位置。
28.根據(jù)權(quán)利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述光源包括一個(gè)表面光源。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種曝光系統(tǒng)，它包括一個(gè)用于對(duì)玻璃面板(7)進(jìn)行曝光的母掩模(10)，用以在玻璃面板(7)內(nèi)表面上形成多個(gè)熒光條或點(diǎn)，其中母掩模(10)和/或一光源(2)可移動(dòng)，以便校正曝光位置，從而在通過(guò)曝光在玻璃面板(7)內(nèi)表面上形成熒光屏?xí)r，免除了將選色機(jī)構(gòu)(9)安裝至玻璃面板(7)和從其上拆除的需要。
文檔編號(hào)G03F7/20GK1136214SQ96100419
公開(kāi)日1996年11月20日 申請(qǐng)日期1996年1月10日 優(yōu)先權(quán)日1995年1月18日
發(fā)明者北條實(shí), 小林弘男, 井之上章, 井桝俊一 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社