本公開大體上涉及成像疊加計(jì)量，且更特定來說，涉及具有云紋元件的成像疊加目標(biāo)。

背景技術(shù)：

1、疊加計(jì)量的縮小設(shè)計(jì)規(guī)則及更苛刻的規(guī)范正驅(qū)動(dòng)對(duì)疊加計(jì)量方法的靈敏度及穩(wěn)健性的增加需求。疊加計(jì)量通常通過在多個(gè)所關(guān)注樣本層中制造具有經(jīng)制造特征的專用計(jì)量目標(biāo)來執(zhí)行。因此，經(jīng)制造計(jì)量目標(biāo)的分析可提供所關(guān)注樣本層之間的疊加誤差(例如，相對(duì)對(duì)準(zhǔn)誤差)的測(cè)量。雖然已提出各種各樣的疊加計(jì)量目標(biāo)設(shè)計(jì)，但仍持續(xù)需要改進(jìn)計(jì)量目標(biāo)設(shè)計(jì)以及用于準(zhǔn)確及有效地分析經(jīng)制造計(jì)量目標(biāo)的測(cè)量方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、公開一種根據(jù)本公開的一或多個(gè)說明性實(shí)施例的計(jì)量目標(biāo)。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括第一圖案的一或多個(gè)例子的第一工作區(qū)，其中所述第一工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括第二圖案的一或多個(gè)例子的第二工作區(qū)，其中所述第二工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述第一圖案或所述第二圖案中的至少一者是由在第一樣本層上的具有沿著一測(cè)量方向的第一節(jié)距的第一光柵結(jié)構(gòu)及在第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的第二節(jié)距的第二光柵結(jié)構(gòu)形成的云紋圖案，其中所述第二節(jié)距不同于所述第一節(jié)距。在另一說明性實(shí)施例中，當(dāng)所述第一樣本層與所述第二層之間的疊加誤差是零時(shí)，所述第一工作區(qū)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心與所述第二工作區(qū)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心重疊。在另一說明性實(shí)施例中，沿著所述測(cè)量方向的所述第一工作區(qū)的所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心與所述第二工作區(qū)的所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心之間的差指示沿著所述測(cè)量方向的在所述第一樣本層與所述第二樣本層之間的疊加誤差。

2、公開一種根據(jù)本公開的一或多個(gè)說明性實(shí)施例的計(jì)量系統(tǒng)。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含經(jīng)配置以耦合到成像系統(tǒng)的控制器。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器接收樣本上的計(jì)量目標(biāo)的圖像。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括第一圖案的一或多個(gè)例子的第一工作區(qū)，其中所述第一工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括第二圖案的一或多個(gè)例子的第二工作區(qū)，其中所述第二工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述第一圖案或所述第二圖案中的至少一者是由在第一樣本層上的具有沿著測(cè)量方向的第一節(jié)距的第一光柵結(jié)構(gòu)及在第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的第二節(jié)距的第二光柵結(jié)構(gòu)形成的云紋圖案，其中所述第二節(jié)距不同于所述第一節(jié)距。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器確定所述圖像中的沿著所述測(cè)量方向的所述第一工作區(qū)及所述第二工作區(qū)的對(duì)稱軸之間的差。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器通過用基于所述云紋圖案的所述節(jié)距的云紋增益調(diào)整沿著所述測(cè)量方向的所述第一工作區(qū)及所述第二工作區(qū)的所述對(duì)稱軸之間的所述差來計(jì)算與所述第一樣本層及所述第二樣本層相關(guān)聯(lián)的沿著所述測(cè)量方向的疊加誤差。

3、公開一種根據(jù)本公開的一或多個(gè)說明性實(shí)施例的計(jì)量目標(biāo)。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括云紋圖案的一或多個(gè)例子的工作區(qū)，其中所述工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述云紋圖案包含第一樣本層上的具有沿著一測(cè)量方向的第一節(jié)距(p1)的光柵結(jié)構(gòu)及第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的第二節(jié)距(p2)的光柵結(jié)構(gòu)，其中所述第二節(jié)距不同于所述第一節(jié)距。在另一說明性實(shí)施例中，與所述第一樣本層及所述第二樣本層相關(guān)聯(lián)的沿著所述測(cè)量方向的疊加誤差對(duì)應(yīng)于在用成像系統(tǒng)的第一光學(xué)配置及所述成像系統(tǒng)的第二光學(xué)配置成像的所述第一工作區(qū)的對(duì)稱軸之間的通過基于所述第一云紋圖案的節(jié)距值的云紋增益調(diào)整的差。在另一說明性實(shí)施例中，云紋條紋可用所述第一光學(xué)配置檢測(cè)，其中具有所述第一節(jié)距的所述光柵結(jié)構(gòu)或具有所述第二節(jié)距的所述光柵結(jié)構(gòu)中的至少一者可用所述第二光學(xué)配置檢測(cè)。

4、公開一種根據(jù)本公開的一或多個(gè)說明性實(shí)施例的計(jì)量系統(tǒng)。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含成像系統(tǒng)。在另一說明性實(shí)施例中，所述成像系統(tǒng)包含用以產(chǎn)生照明的照明源。在另一說明性實(shí)施例中，所述成像系統(tǒng)包含用以將照明從所述照明源引導(dǎo)到計(jì)量目標(biāo)的一或多個(gè)照明光學(xué)器件。在另一說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括云紋圖案的一或多個(gè)例子的工作區(qū)，其中所述工作區(qū)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。在另一說明性實(shí)施例中，所述云紋圖案包含第一樣本層上的具有沿著測(cè)量方向的第一節(jié)距(p1)的光柵結(jié)構(gòu)及第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的第二節(jié)距(p2)的光柵結(jié)構(gòu)，其中所述第二節(jié)距不同于所述第一節(jié)距。在另一說明性實(shí)施例中，所述成像系統(tǒng)包含用以基于來自所述照明源的所述照明產(chǎn)生所述計(jì)量目標(biāo)的圖像的檢測(cè)器，其中所述成像系統(tǒng)的光學(xué)配置是可配置的。在另一說明性實(shí)施例中，所述光學(xué)配置包含所述照明的波長(zhǎng)、入射于所述計(jì)量目標(biāo)上的所述照明的偏光、入射于所述計(jì)量目標(biāo)上的所述照明的角度或所述計(jì)量目標(biāo)相對(duì)于所述檢測(cè)器的焦點(diǎn)位置。在另一說明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含經(jīng)配置以耦合到所述成像系統(tǒng)的控制器。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器使用第一光學(xué)配置接收在所述樣本上的所述計(jì)量目標(biāo)的第一圖像。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器基于所述第一圖像確定沿著所述測(cè)量方向的所述工作區(qū)的第一對(duì)稱軸。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器使用不同于所述第一光學(xué)配置的第二光學(xué)配置接收在所述樣本上的所述計(jì)量目標(biāo)的第二圖像。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器基于所述第二圖像確定沿著所述測(cè)量方向的所述工作區(qū)的第二對(duì)稱軸。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器基于所述第一對(duì)稱軸與所述第二對(duì)稱軸之間的差確定光學(xué)疊加測(cè)量。在另一說明性實(shí)施例中，所述控制器通過調(diào)整通過基于所述云紋圖案的節(jié)距的云紋增益調(diào)整的所述第一圖像及所述第二圖像的所述對(duì)稱軸之間的所述差來計(jì)算與所述第一樣本層及所述第二樣本層相關(guān)聯(lián)的沿著所述測(cè)量方向的疊加誤差。

5、公開一種根據(jù)本公開的一或多個(gè)說明性實(shí)施例的用于設(shè)計(jì)云紋計(jì)量目標(biāo)的方法。在一個(gè)說明性實(shí)施例中，所述方法包含接收計(jì)量目標(biāo)的設(shè)計(jì)。在另一說明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含包括云紋圖案的一或多個(gè)例子的工作區(qū)，所述云紋圖案包含第一樣本層上的具有沿著測(cè)量方向的第一節(jié)距(p1)的第一光柵結(jié)構(gòu)及第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的第二節(jié)距(p2)的第二光柵結(jié)構(gòu)，其中所述第二節(jié)距不同于所述第一節(jié)距。在另一說明性實(shí)施例中，所述方法包含接收成像系統(tǒng)的光學(xué)配置以用于使所述計(jì)量目標(biāo)成像。在另一說明性實(shí)施例中，所述方法包含執(zhí)行實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)以選擇所述計(jì)量目標(biāo)的在通過所述成像系統(tǒng)成像時(shí)提供滿足選定設(shè)計(jì)準(zhǔn)則的云紋條紋圖案的目標(biāo)設(shè)計(jì)參數(shù)集，其中所述目標(biāo)設(shè)計(jì)參數(shù)集包含所述第一節(jié)距及所述第二節(jié)距。

6、應(yīng)理解，前文概述及下文詳細(xì)描述兩者都僅為示范性及解釋性且并不一定限制如所主張的本發(fā)明。被并入說明書中且構(gòu)成說明書的部分的隨附圖式說明本發(fā)明的實(shí)施例且連同概述一起用于說明本發(fā)明的原理。

技術(shù)特征：

1.一種用于設(shè)計(jì)云紋計(jì)量目標(biāo)的方法，其包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中用于所述云紋條紋圖案的所述選定設(shè)計(jì)準(zhǔn)則包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述目標(biāo)設(shè)計(jì)參數(shù)集進(jìn)一步包含所述第一光柵結(jié)構(gòu)的臨界尺寸、所述第二光柵結(jié)構(gòu)的臨界尺寸、所述第一光柵結(jié)構(gòu)的分割周期、所述第二光柵結(jié)構(gòu)的分割周期、所述第一光柵結(jié)構(gòu)的大小或所述第二光柵結(jié)構(gòu)的大小中的至少一者。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中使用基于馬克士威的模擬或克希何夫近似中的至少一者模擬串?dāng)_。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述成像系統(tǒng)包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中模擬具有所述多個(gè)候選目標(biāo)設(shè)計(jì)參數(shù)集的所述計(jì)量目標(biāo)的圖像包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實(shí)施例涉及使用云紋元件及旋轉(zhuǎn)對(duì)稱布置以成像疊加目標(biāo)。一種計(jì)量目標(biāo)可包含具有第一圖案的一或多個(gè)例子的第一旋轉(zhuǎn)對(duì)稱工作區(qū)及具有第二圖案的一或多個(gè)例子的第二旋轉(zhuǎn)對(duì)稱工作區(qū)，其中所述第一圖案或所述第二圖案中的至少一者是由在第一樣本層上的具有沿著測(cè)量方向的第一節(jié)距的第一光柵結(jié)構(gòu)及在第二樣本層上的具有沿著所述測(cè)量方向的不同于所述第一節(jié)距的第二節(jié)距的第二光柵結(jié)構(gòu)形成的云紋圖案。當(dāng)所述第一樣本層與所述第二層之間的疊加誤差是零時(shí)，所述第一工作區(qū)及所述第二工作區(qū)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心通過設(shè)計(jì)可重疊。所述第一工作區(qū)及所述第二工作區(qū)的所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱中心之間的差可指示所述第一樣本層與所述第二樣本層之間的疊加誤差。

技術(shù)研發(fā)人員：Y·弗萊,M·吉諾烏克,D·沙皮羅烏,E·古列維奇,V·萊溫斯基
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科磊股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21