專利名稱：一種光刻機(jī)同步觸發(fā)在線診斷方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及掃描光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及掃描光刻機(jī)的同步控 制技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
光刻機(jī)一般可分為步進(jìn)光刻機(jī)和掃描光刻機(jī)兩種，其中，步進(jìn)光 刻機(jī)采用一次成像技術(shù)，為了增大像場(chǎng)，需要更大直徑的透鏡系統(tǒng)作 為支撐。由于現(xiàn)有技術(shù)方面和經(jīng)濟(jì)成本方面的雙重制約，限制了步進(jìn) 光刻機(jī)的應(yīng)用場(chǎng)合，已經(jīng)不能滿足如今芯片加工工藝向更高精度、更 大尺寸的發(fā)展方向。
于是，產(chǎn)生了一種新型的掃描光刻機(jī)，掃描光刻機(jī)最大特點(diǎn)在于 同步掃描功能。掃描光刻機(jī)的曝光過程與步進(jìn)光刻機(jī)有所不同。光束 通過一個(gè)狹縫并透過照明系統(tǒng)投影到掩膜面上，掩膜以設(shè)定的勻速通 過光束。同時(shí)，硅片在透鏡的下方以與掩膜相反方向的運(yùn)動(dòng)。在掃描 期間，涉及的子系統(tǒng)模塊，掃描必須在相同的時(shí)間段內(nèi)完成，掃描的 起始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻必須相同。也就是對(duì)于掃描，要求所有涉及的子 系統(tǒng)模塊必須在掃描時(shí)序上取得嚴(yán)格一致。在曝光掃描過程中對(duì)涉及 的子系統(tǒng)有嚴(yán)格的同步時(shí)序要求，同時(shí)其它的掃描比如對(duì)準(zhǔn)掃描等，
同樣對(duì)所有涉及的子系統(tǒng)模塊有嚴(yán)格的同步時(shí)序要求。
光刻機(jī)系統(tǒng)是個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，同時(shí)又是一個(gè)對(duì)設(shè)備可靠性要求很 高的昂貴的設(shè)備， 一旦設(shè)備出現(xiàn)故障，必須盡快地發(fā)現(xiàn)并解決錯(cuò)誤。 為此，在光刻機(jī)系統(tǒng)中的各個(gè)分系統(tǒng)中，往往都會(huì)有相應(yīng)的數(shù)據(jù)診斷 模塊，用來診斷分系統(tǒng)出現(xiàn)的問題。
但是，對(duì)于目前這種基于各分系統(tǒng)的數(shù)據(jù)診斷方式，存在嚴(yán)重的 不足，尤其是對(duì)于掃描光刻機(jī)同步時(shí)序相關(guān)的診斷無能為力。當(dāng)整個(gè) 系統(tǒng)出現(xiàn)同步時(shí)序相關(guān)問題時(shí)，會(huì)出現(xiàn)各個(gè)分系統(tǒng)的診斷模塊都報(bào)告 各自分系統(tǒng)工作正常。各分系統(tǒng)的診斷系統(tǒng)在任何一個(gè)時(shí)刻，都僅僅 只能處理其本身的診斷數(shù)據(jù)，而無法獲取涉及其它分系統(tǒng)的對(duì)應(yīng)精確
時(shí)刻的診斷數(shù)據(jù)。這些不足概括如下
1. 通常的數(shù)據(jù)診斷系統(tǒng)都是各個(gè)分系統(tǒng)獨(dú)立地，不能系統(tǒng)地定位 問題。
2. 不能定位一些同步時(shí)序問題，比如不同分系統(tǒng)模塊間數(shù)據(jù)時(shí)序 不同步的問題。
3. 不同分系統(tǒng)的診斷數(shù)據(jù)，不能夠嚴(yán)格地按照精確的時(shí)間——對(duì) 應(yīng)起來。
這些不足，導(dǎo)致目前的一般診斷系統(tǒng)無法定位整系統(tǒng)的同步時(shí)序 相關(guān)問題，無法快速地定位光刻機(jī)在集成或者在線運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)的問 題，從而導(dǎo)致無法快速解決問題，造成不必要的成本損耗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是，為掃描光刻機(jī)提供整機(jī)系統(tǒng)的同
步i貪斷系統(tǒng)，及時(shí)定位并解決分系統(tǒng)之間的同步時(shí)序相關(guān)問題，提供 一種掃描光刻機(jī)的同步診斷方法與系統(tǒng)，解決掃描光刻機(jī)的整體系統(tǒng) 及各個(gè)分系統(tǒng)的同步診斷技術(shù)問題。
本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)解決上述技術(shù)問題
一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于包括一個(gè)主控制器， 至少兩個(gè)分系統(tǒng)其中所述分系統(tǒng)均包括一個(gè)分系統(tǒng)控制器，所述分 系統(tǒng)均包括一個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板，所述分系統(tǒng)均包括至少一個(gè)分系統(tǒng) 控制子卡；所述主控制器分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制器相 連接，所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制控器分別與所述分系統(tǒng)中的每 個(gè)分系統(tǒng)控制子卡均保持連接，所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控器分別 與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板均保持相連，所述分系統(tǒng)中的 每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡均 保持連接；所述分系統(tǒng)的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板之間均保持相互連接。
所述的主控制器與所述分系統(tǒng)內(nèi)的所述分系統(tǒng)控制器之間通過 標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)連接。所述分系統(tǒng)控制器與所述分系統(tǒng)控制子卡之間通過 標(biāo)準(zhǔn)的VME總線相連。所述觸發(fā)診斷緩沖板與所述分系統(tǒng)控制器之間 通過標(biāo)準(zhǔn)VME總線相連。所述觸發(fā)診斷緩沖板與所述分系統(tǒng)控制子卡 之間通過標(biāo)準(zhǔn)VME總線相連。所述觸發(fā)診斷緩沖板之間通過硬件同步 信號(hào)線相互連接，用于同時(shí)接收觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)和觸發(fā)診斷信號(hào)。
所述的主控制器上運(yùn)行上位機(jī)操作系統(tǒng)、光刻機(jī)應(yīng)用軟件和觸發(fā) 診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序；其中，觸發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序 對(duì)每個(gè)分系統(tǒng)的診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、排序、整理。
所述的分系統(tǒng)控制器為嵌入式^L處理器，其上運(yùn)行嵌入式實(shí)時(shí)操 作系統(tǒng)，分系統(tǒng)控制器上同時(shí)運(yùn)行觸發(fā)診斷處理軟件。
所述觸發(fā)診斷處理軟件包括診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，分系統(tǒng)控制器 和分系統(tǒng)控制子卡分別通過調(diào)用觸發(fā)診斷接口程序庫(kù)，將需要診斷的 數(shù)據(jù)寫入觸發(fā)診斷緩沖板。診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，包括嵌入式實(shí)時(shí)操 作系統(tǒng)中的庫(kù)程序和數(shù)字信號(hào)處理器固件上的庫(kù)程序。分系統(tǒng)控制子 卡為數(shù)字信號(hào)處理器控制板卡。所述的分系統(tǒng)控制子卡上運(yùn)行數(shù)字信 號(hào)處理器固件程序。
所述觸發(fā)診斷緩沖板均設(shè)置有環(huán)形緩沖區(qū)，用于存放每個(gè)分系統(tǒng) 控制器及每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡的診斷數(shù)據(jù)。
所述觸發(fā)診斷緩沖板的環(huán)形緩沖區(qū)，其數(shù)據(jù)更新時(shí)間間隔不小于 同步系統(tǒng)中的最小對(duì)準(zhǔn)周期。在光刻機(jī)正常掃描期間，所述觸發(fā)診斷 緩沖板，持續(xù)刷新觸發(fā)診斷緩沖板的環(huán)形緩沖區(qū)的診斷數(shù)據(jù)。所述觸 發(fā)診斷緩沖板內(nèi)部設(shè)有定時(shí)器，用于設(shè)定環(huán)形緩沖區(qū)的鎖定時(shí)間。
所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，還包括便攜式PC機(jī)，與每個(gè) 觸發(fā)緩沖板均可單獨(dú)相連，便攜式PC機(jī)上可運(yùn)行觸發(fā)診斷上位機(jī)程 序，用于對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、排序、整理。便攜式PC機(jī)與每個(gè)觸 發(fā)診斷緩沖板通過標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)相連接。主控制器可在任意時(shí)刻觸發(fā)各 分系統(tǒng)之間的同步診斷。
一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法，其特征在于包括以下步驟
A)、在光刻機(jī)正常掃描期間，主控制器與分系統(tǒng)控制器向觸發(fā)診
斷緩沖板的環(huán)形緩沖區(qū)寫入診斷數(shù)據(jù)，并保持不斷更新；
B) 、當(dāng)主控制器檢測(cè)到系統(tǒng)錯(cuò)誤，或檢測(cè)滿足用戶設(shè)定的診斷觸 發(fā)條件時(shí)，啟動(dòng)同步診斷程序；
C) 、用戶程序直接調(diào)用觸發(fā)診斷特定接口程序，觸發(fā)診斷控制中 心直接響應(yīng)用戶程序的請(qǐng)求，向觸發(fā)診斷控制中心發(fā)送觸發(fā)診斷請(qǐng)求 信號(hào)；
D) 、觸發(fā)診斷控制中心接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)后，檢測(cè)滿足觸 發(fā)條件后，向觸發(fā)診斷緩沖板發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)；
E) 、觸發(fā)診斷緩沖板在同一時(shí)刻接收到觸發(fā)診斷信號(hào)，啟動(dòng)其內(nèi) 部的定時(shí)器；
F) 、觸發(fā)診斷緩沖板在到達(dá)定時(shí)器設(shè)定的鎖定時(shí)間時(shí)，鎖定其環(huán) 形緩沖區(qū)，停止寫入診斷數(shù)據(jù)；
G) 、當(dāng)觸發(fā)診斷緩沖板的環(huán)形緩沖區(qū)都鎖定后，通過主控制器上 的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序下發(fā)收集診斷數(shù)據(jù)的命令，通過分系統(tǒng)控制器 將觸發(fā)診斷緩沖板內(nèi)的診斷數(shù)據(jù)上傳到主控制器；
H) 主控制器對(duì)接收到的診斷數(shù)據(jù)通過觸發(fā)診斷上位機(jī)程序?qū)λ?有數(shù)據(jù)進(jìn)行排序、整理，用戶可以查看任意時(shí)刻每個(gè)系統(tǒng)的同步診斷 數(shù)據(jù)。
所述的步驟B中的檢測(cè)到系統(tǒng)錯(cuò)誤而觸發(fā)同步診斷，其中系統(tǒng)錯(cuò) 誤包括分系統(tǒng)控制器上的軟件和分系統(tǒng)控制子卡上的固件程序發(fā)現(xiàn) 錯(cuò)誤。
所述的步驟C中觸發(fā)條件可以由用戶通過診斷觸發(fā)系統(tǒng)的上位
機(jī)軟件進(jìn)行設(shè)置，可以設(shè)置接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)后請(qǐng)求立刻就響
應(yīng)，或者設(shè)置接收到超過特定次數(shù)之后再進(jìn)行響應(yīng)；或者設(shè)置接收到 特定的觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)就立刻響應(yīng)，而其他情況的觸發(fā)診斷請(qǐng)求信 號(hào)則需要超過一定次數(shù)后才允許響應(yīng)；當(dāng)滿足設(shè)定的觸發(fā)條件，觸發(fā) 診斷中心發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)。
所述的步驟H診斷數(shù)據(jù)上傳到直接與觸發(fā)診斷緩沖板相連的便 攜式PC機(jī)上，便攜式PC機(jī)上的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序再對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn) 行排序整理。所述的步驟H中所有的診斷數(shù)據(jù)記錄時(shí)間戳，并通過觸 發(fā)診斷信號(hào)發(fā)生的時(shí)刻將所有的診斷數(shù)據(jù)的在精確時(shí)序上進(jìn)行排列。
本發(fā)明通過專用的觸發(fā)診斷緩沖板將診斷數(shù)據(jù)保存到其環(huán)形緩 沖區(qū)，各觸發(fā)診斷緩沖板之間通過硬件同步觸發(fā)信號(hào)線相連，保證各 個(gè)診斷觸發(fā)緩沖板可以同時(shí)接收到觸發(fā)診斷信號(hào)，接收到觸發(fā)診斷信 號(hào)一定時(shí)間之后診斷數(shù)據(jù)不再往環(huán)形緩沖區(qū)刷新，再通過專用的診斷 處理程序?qū)λ械脑\斷數(shù)據(jù)進(jìn)行排序整理。這樣所有分系統(tǒng)的診斷數(shù) 據(jù)都統(tǒng)一起來，可以精確定位到某一個(gè)時(shí)刻所有分系統(tǒng)診斷數(shù)據(jù)的 值，可以快速定位問題，尤其是可以快速定位同步時(shí)序相關(guān)的問題， 從而節(jié)約集成及技術(shù)支持的時(shí)間。


圖1本發(fā)明提供的一種包括兩個(gè)分系統(tǒng)的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng) 的結(jié)構(gòu)示意圖2本發(fā)明提供的一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法的觸發(fā)過程示意圖3本發(fā)明提供的一種包括三個(gè)分系統(tǒng)的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng) 的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下根據(jù)圖1~圖3，具體說明本發(fā)明的較佳實(shí)施方式
如圖1所示，本發(fā)明提供的一種包括二個(gè)分系統(tǒng)的光刻機(jī)同步觸 發(fā)診斷系統(tǒng)，包含 一個(gè)主控制器1; 二個(gè)分系統(tǒng)控制器2; 二個(gè)觸 發(fā)診斷緩沖板4;三個(gè)分系統(tǒng)控制子卡3。
如圖1所示的系統(tǒng)中，觸發(fā)診斷緩沖板4存在于光刻機(jī)系統(tǒng)的每 一個(gè)分系統(tǒng)內(nèi)，觸發(fā)診斷緩沖板4與分系統(tǒng)控制器2以及分系統(tǒng)控制 子卡3、分系統(tǒng)控制子卡3之間通過標(biāo)準(zhǔn)的VME總線相連。觸發(fā)診斷 緩沖板4之間通過硬件同步信號(hào)線進(jìn)行連接。這些觸發(fā)診斷緩沖板提 供專門的環(huán)形緩沖用于存放分系統(tǒng)控制器2及分系統(tǒng)控制子卡3上的 診斷數(shù)據(jù)。主控制器1與分系統(tǒng)控制器2之間通過標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)連接。
主控制器1運(yùn)行上位機(jī)操作系統(tǒng)，其上運(yùn)行光刻機(jī)應(yīng)用軟件以及 觸發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序；分系統(tǒng)控制器2為嵌入式微處理 器，運(yùn)行嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)，同時(shí)運(yùn)行觸發(fā)診斷的下位機(jī)處理程序； 分系統(tǒng)控制子卡3為數(shù)字信號(hào)處理器控制板卡，運(yùn)4亍^t字信號(hào)處理器 固件程序。相應(yīng)的觸發(fā)診斷處理軟件提供專門的往觸發(fā)診斷緩沖板寫 入診斷數(shù)據(jù)的接口程序庫(kù)，包括嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)上的接口庫(kù)程序 與數(shù)字信號(hào)處理器固件上的接口庫(kù)程序。
光刻機(jī)系統(tǒng)正常運(yùn)行期間，分系統(tǒng)控制器2及分系統(tǒng)控制子卡3
上的軟件及固件調(diào)用觸發(fā)診斷接口庫(kù)程序，將需要診斷的數(shù)據(jù)寫到觸
發(fā)診斷緩沖板4的特定環(huán)形緩沖區(qū)，更新頻率根據(jù)^^斷的數(shù)據(jù)特點(diǎn)來 定，最小間隔為同步系統(tǒng)中的最小對(duì)準(zhǔn)周期，即50us。診斷系統(tǒng)會(huì) 每50us作為一個(gè)計(jì)數(shù)，給所有的診斷數(shù)據(jù)打上時(shí)間戳。由于是環(huán)形 緩沖區(qū)，診斷數(shù)據(jù)會(huì)不停地進(jìn)行刷新，以最新數(shù)據(jù)替換最老的數(shù)據(jù)。 在正常的掃描期間，診斷數(shù)據(jù)不停地往環(huán)形緩沖區(qū)里進(jìn)行刷新，不會(huì) 影響正常的掃描進(jìn)行。
當(dāng)進(jìn)行觸發(fā)診斷的時(shí)候，其中的一塊觸發(fā)診斷緩沖板發(fā)起觸發(fā)診 斷信號(hào)，由于各觸發(fā)診斷緩沖板4之間通過硬件同步信號(hào)線相連，因 此所有的觸發(fā)診斷緩沖板4會(huì)在同一時(shí)刻接收到觸發(fā)診斷信號(hào)，啟動(dòng) 內(nèi)部的定時(shí)器，過了一定的時(shí)間間隔后，將環(huán)形緩沖區(qū)進(jìn)行鎖定。一 旦環(huán)形緩沖區(qū)鎖定后，調(diào)用觸發(fā)診斷接口庫(kù)程序的時(shí)候，判斷出緩沖 區(qū)被鎖住后就會(huì)直接返回，不再往環(huán)形緩沖區(qū)寫診斷數(shù)據(jù)。這樣，環(huán) 形緩沖區(qū)里保存的診斷數(shù)據(jù)就包括了在觸發(fā)診斷信號(hào)發(fā)起之前一段 時(shí)間和發(fā)起觸發(fā)信號(hào)之后一段時(shí)間內(nèi)的診斷數(shù)據(jù)?？紤]一般掃描光刻 機(jī)進(jìn)行掃描的情況，環(huán)形緩沖區(qū)只要能保存1秒內(nèi)所有的診斷數(shù)據(jù)， 即可將整個(gè)掃描期間的所有^^斷數(shù)據(jù)都完整保存。
之后，當(dāng)用戶需要將診斷數(shù)據(jù)上傳的時(shí)候，可以在主控制器l上 的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序里下發(fā)命令給所有分系統(tǒng)控制器2里的觸發(fā) 診斷下位機(jī)程序，分系統(tǒng)控制器2通過VME總線獲取觸發(fā)診斷緩存板 4上保存的所有環(huán)形緩沖區(qū)里的診斷數(shù)據(jù)。當(dāng)主控制器1上獲取了所 有的診斷數(shù)據(jù)后，觸發(fā)診斷上位機(jī)程序?qū)⑺械臄?shù)據(jù)按照時(shí)間戳進(jìn)行
整理排序等工作。
觸發(fā)診斷緩沖板4本身帶有以太網(wǎng)接口 ，在使j夷式PC機(jī)7上也 附帶觸發(fā)診斷上位機(jī)處理程序，可以將便攜式PC機(jī)7直接與各個(gè)觸 發(fā)診斷緩沖板通過標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)相連，將觸發(fā)診斷緩沖板4上的診斷數(shù) 據(jù)上傳到便攜式PC機(jī)7上，再通過便攜式PC機(jī)7上的觸發(fā)診斷上位 機(jī)程序?qū)υ\斷數(shù)據(jù)進(jìn)行排序整理。
之后用戶就可以查看記錄的任何一個(gè)時(shí)刻各個(gè)分系統(tǒng)的診斷數(shù) 據(jù)在某一個(gè)瞬間的值，從而可以快速判斷出哪里有問題，以及是否有 同步時(shí)序上的問題。
同時(shí)，如圖3所示的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，是將圖1中的實(shí) 施例擴(kuò)展至包含兩個(gè)以上的分系統(tǒng)控制器2，圖3所示的實(shí)施例包括 一個(gè)主控制器1;三個(gè)分系統(tǒng)控制器2;三個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板4;三 個(gè)分系統(tǒng)控制子卡3;三個(gè)分系統(tǒng)控制器2都通過以太網(wǎng)與主控制器 相連。
下面根據(jù)圖2,描述光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法。圖2中的21表 示用戶程序，22表示觸發(fā)診斷控制中心程序，4表示觸發(fā)診斷緩沖板， 3表示分系統(tǒng)控制子卡，5表示觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)，6表示觸發(fā)診斷 信號(hào)。
觸發(fā)診斷行為的發(fā)生包括兩種情況， 一種為檢測(cè)到錯(cuò)誤而觸發(fā)診 斷系統(tǒng)，另一種為用戶根據(jù)需要觸發(fā)診斷系統(tǒng)。
分系統(tǒng)控制器上的軟件或分系統(tǒng)控制子卡3上的固件程序發(fā)現(xiàn) 了錯(cuò)誤，比如某些監(jiān)測(cè)的傳感器數(shù)值超出范圍，這時(shí)就可以調(diào)用觸發(fā)
診斷系統(tǒng)的特定接口程序，向觸發(fā)診斷控制中心22發(fā)送觸發(fā)診斷請(qǐng) 求信號(hào)5,觸發(fā)診斷控制中心22接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)5后，根 據(jù)一定的條件進(jìn)行判斷，當(dāng)滿足進(jìn)行觸發(fā)診斷的條件后，就向觸發(fā)診 斷緩沖板4發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)6。是否允許進(jìn)行-〖t斷觸發(fā)的條件，可 以由用戶通過診斷觸發(fā)系統(tǒng)的上位機(jī)軟件進(jìn)行設(shè)置，比如可以設(shè)置一 旦接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)5請(qǐng)求立刻就響應(yīng)，也可以設(shè)置接收到超 過幾次之后再進(jìn)行響應(yīng)，還可以設(shè)置接收到某些特定的比較重要的觸 發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)5就立刻響應(yīng)而一般的則需要超過一定數(shù)目后才允 許響應(yīng)。觸發(fā)診斷控制中心22如果判斷不需要進(jìn)行觸發(fā)診斷，就會(huì) 忽略此診斷觸發(fā)請(qǐng)求信號(hào)5。如果滿足條件，觸發(fā)診斷控制中心22 將發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)6。
所有的觸發(fā)診斷緩沖板4都通過同步硬件信號(hào)線相連，這樣所有 的觸發(fā)診斷緩沖板都會(huì)在同一時(shí)刻接收到觸發(fā)診斷信號(hào)6，觸發(fā)診斷 緩沖板4,接收到觸發(fā)診斷信號(hào)6后，就啟動(dòng)其內(nèi)部定時(shí)器，過了一 段預(yù)定義的時(shí)間后，將其環(huán)形緩沖區(qū)進(jìn)行鎖定。 一旦環(huán)形緩沖區(qū)鎖定 后，分系統(tǒng)控制子卡3在調(diào)用觸發(fā)診斷接口庫(kù)程序的時(shí)候，觸發(fā)診斷 接口庫(kù)判斷出緩沖區(qū)被鎖住后就會(huì)直接返回，不再往環(huán)形緩沖區(qū)寫診 斷數(shù)據(jù)。這樣，環(huán)形緩沖區(qū)里保存的診斷數(shù)據(jù)就包括了在觸發(fā)診斷信 號(hào)發(fā)起之前一段時(shí)間以及發(fā)起之后一段時(shí)間的診斷數(shù)據(jù)。
另一種情況為用戶根據(jù)需要進(jìn)行診斷觸發(fā)。用戶程序21直接調(diào) 用觸發(fā)診斷特定接口程序，向觸發(fā)診斷控制中心22發(fā)送觸發(fā)診斷請(qǐng) 求信號(hào)5。觸發(fā)診斷控制中心22直接響應(yīng)用戶程序21的請(qǐng)求，發(fā)送
觸發(fā)診斷信號(hào)6給觸發(fā)診斷緩沖板4。所有觸發(fā)診斷緩沖板同時(shí)接收 到觸發(fā)診斷信號(hào)6后，啟動(dòng)其內(nèi)部定時(shí)器，過了一段預(yù)定義的時(shí)間后， 將其內(nèi)部的所有環(huán)形緩沖區(qū)進(jìn)行鎖定。這種情況主要用于系統(tǒng)沒有檢 測(cè)到錯(cuò)誤，但用戶需要查看系統(tǒng)內(nèi)的診斷數(shù)據(jù)信息。
當(dāng)觸發(fā)診斷緩沖板的環(huán)形緩沖區(qū)都鎖定后，用戶就可以通過主控 制器上的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序下發(fā)收集診斷數(shù)據(jù)的命令。通過分系統(tǒng) 控制器將觸發(fā)診斷緩沖板內(nèi)的診斷數(shù)據(jù)上傳到主控制器后，主控制器 上的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序再將所有數(shù)據(jù)根據(jù)時(shí)間戳進(jìn)行排序整理工 作。之后用戶就可以查看任何一個(gè)時(shí)刻所有分系統(tǒng)的診斷數(shù)據(jù)在某一 個(gè)瞬間的值，從而可以快速判斷出哪里有問題，以及是否有同步時(shí)序 上的問題。
便攜式PC機(jī)7可以直接與觸發(fā)診斷緩沖板4相連，直接通過以 太網(wǎng)將診斷數(shù)據(jù)上傳到便攜式PC機(jī)7上，將所有的觸發(fā)診斷緩沖板 4上的診斷數(shù)據(jù)都上傳后，便攜式PC機(jī)7上的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序 再根據(jù)時(shí)間戳對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行排序整理的工作。這樣用戶就可以直接 在便攜式PC機(jī)7上進(jìn)行查看診斷數(shù)據(jù)，方便調(diào)試。
本發(fā)明通過觸發(fā)診斷緩沖板4的環(huán)形緩沖區(qū)不停刷新診斷數(shù)據(jù)， 各觸發(fā)診斷板之間通過硬件同步信號(hào)線連接，同時(shí)接收到觸發(fā)診斷信 號(hào)6后，所有的觸發(fā)診斷板啟動(dòng)定時(shí)器經(jīng)過一定的時(shí)間間隔后將環(huán)形 緩沖區(qū)鎖定。所有的診斷數(shù)據(jù)記錄時(shí)間戳，并通過觸發(fā)診斷信號(hào)6發(fā) 生的時(shí)刻將所有的診斷數(shù)據(jù)的在精確時(shí)序上進(jìn)行排列。從而可以快速 發(fā)現(xiàn)光刻機(jī)系統(tǒng)集成及運(yùn)行期間的問題，尤其是可以快速診斷是否有
同步時(shí)序上的問題。
以上介紹的僅僅是基于本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不能以此來限定 本發(fā)明的范圍。任何對(duì)本發(fā)明的機(jī)制作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的部件的替 換、組合、分立，以及對(duì)本發(fā)明實(shí)施步驟作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的等同 改變或替換均不超出本發(fā)明的揭露以及保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于包括一個(gè)主控制器(1)，至少兩個(gè)分系統(tǒng)其中所述分系統(tǒng)均包括一個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)，所述分系統(tǒng)均包括一個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)，所述分系統(tǒng)均包括至少一個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)；所述主控制器(1)分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)相連接，所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制控器(2)分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)均保持連接，所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控器(2)分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)均保持相連，所述分系統(tǒng)中的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)均保持連接；所述分系統(tǒng)的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)之間均保持相互連接。
2、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述的主控制器(1)與所述分系統(tǒng)內(nèi)的所述分系統(tǒng)控制器(2 )之間 通過標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)連接。
3、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述分系統(tǒng)控制器(2 )與所述分系統(tǒng)控制子卡(3 )之間通過標(biāo)準(zhǔn)的VME總線相連。
4、 如權(quán)利要求l所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)與所述分系統(tǒng)控制器(2)之間通過標(biāo)準(zhǔn) VME總線相連。
5、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述觸發(fā)診斷緩沖板(4 )與所述分系統(tǒng)控制子卡(3 )之間通過標(biāo)準(zhǔn) VME總線相連。
6、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)之間通過硬件同步信號(hào)線相互連接，用于 同時(shí)接收觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5 )和觸發(fā)診斷信號(hào)(6 )。
7、 如權(quán)利要求l所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述的主控制器(1)上運(yùn)行上位機(jī)操作系統(tǒng)、光刻機(jī)應(yīng)用軟件和觸 發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序；其中，觸發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程 序?qū)γ總€(gè)分系統(tǒng)的診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、排序、整理。
8、 如權(quán)利要求l所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述的分系統(tǒng)控制器(2)為嵌入式微處理器，其上運(yùn)行嵌入式實(shí)時(shí) 操作系統(tǒng)，分系統(tǒng)控制器上同時(shí)運(yùn)行觸發(fā)診斷處理軟件。
9、 如權(quán)利要求8所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述觸發(fā)診斷處理軟件包括診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，分系統(tǒng)控制器(2、) 和分系統(tǒng)控制子卡(3)分別通過調(diào)用觸發(fā)診斷接口程序庫(kù)，將需要 診斷的數(shù)據(jù)寫入觸發(fā)診斷緩沖板(4 )。
10、 如權(quán)利要求9所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于所述診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，包括嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)中的庫(kù)程序和數(shù) 字信號(hào)處理器固件上的庫(kù)程序。
11、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述分系統(tǒng)控制子卡(3)為數(shù)字信號(hào)處理器控制板卡。
12、 如權(quán)利要求1或11所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特 征在于所述的分系統(tǒng)控制子卡(3)上運(yùn)行數(shù)字信號(hào)處理器固件程 序。
13、 如權(quán)利要求1或5所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征 在于所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)均設(shè)置有環(huán)形緩沖區(qū)，用于存放每 個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)及每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)的診斷數(shù)據(jù)。
14、 如權(quán)利要求13所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在 于所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)，其數(shù)據(jù)更新時(shí)間間隔 不小于同步系統(tǒng)中的最小對(duì)準(zhǔn)周期。
15、 如權(quán)利要求14所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在 于在光刻機(jī)正常掃描期間，所述觸發(fā)診斷緩沖板(4 )持續(xù)刷新觸 發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)的診斷數(shù)據(jù)。
16、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)內(nèi)部設(shè)有定時(shí)器，用于設(shè)定環(huán)形緩沖區(qū)的 鎖定時(shí)間。
17、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 還包括便攜式PC機(jī)(7 )，與每個(gè)觸發(fā)緩沖板(4 )均可單獨(dú)相連，便 攜式PC機(jī)上可運(yùn)行觸發(fā)診斷上位機(jī)程序，用于對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、排序、整理。
18、 如權(quán)利要求17所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在 于便攜式PC機(jī)(7 )與每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4 )通過標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng) 相連接。
19、 如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于 主控制器(1)可在任意時(shí)刻觸發(fā)各分系統(tǒng)之間的同步診斷。
20、 一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法，其特征在于包括以下步驟 A )、在光刻機(jī)正常掃描期間，主控制器(1)與分系統(tǒng)控制器(2、)向觸發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)寫入診斷數(shù)據(jù)，并保持不斷更 新；B )、當(dāng)主控制器(1 )檢測(cè)到系統(tǒng)錯(cuò)誤，或檢測(cè)滿足用戶設(shè)定的 診斷觸發(fā)條件時(shí)，啟動(dòng)同步診斷程序；C)、用戶程序(21)直接調(diào)用觸發(fā)診斷特定接口程序，觸發(fā)診斷 控制中心(22)直接響應(yīng)用戶程序(21)的請(qǐng)求，向觸發(fā)診斷控制中 心(22 )發(fā)送觸發(fā)"^斷請(qǐng)求信號(hào)(5 );D )、觸發(fā)診斷控制中心(22 )接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5 )后， 檢測(cè)滿足觸發(fā)條件后，向觸發(fā)診斷緩沖板(4 )發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)(6 );E )、觸發(fā)診斷緩沖板(4 )在同一時(shí)刻接收到觸發(fā)診斷信號(hào)(6 ), 啟動(dòng)其內(nèi)部的定時(shí)器；F) 、觸發(fā)診斷緩沖板(4)在到達(dá)定時(shí)器設(shè)定的鎖定時(shí)間時(shí)，鎖 定其環(huán)形緩沖區(qū)，停止寫入診斷數(shù)據(jù)；G) 、當(dāng)觸發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)都鎖定后，通過主控制器(1)上的觸發(fā)診斷上位機(jī)程序下發(fā)收集診斷數(shù)據(jù)的命令，通過分系統(tǒng)控制器(2 )將觸發(fā)診斷緩沖板(4 )內(nèi)的診斷數(shù)據(jù)上傳到主控 制器(1);H)主控制器(1)對(duì)接收到的診斷數(shù)據(jù)通過觸發(fā)診斷上位機(jī)程序 對(duì)所有數(shù)據(jù)進(jìn)行排序、整理，用戶可以查看任意時(shí)刻每個(gè)系統(tǒng)的同步 診斷數(shù)據(jù)。
21、 如權(quán)利要求20所述的一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法，其特 征在于所述的步驟B中的檢測(cè)到系統(tǒng)錯(cuò)誤而觸發(fā)同步診斷，其中系 統(tǒng)錯(cuò)誤包括分系統(tǒng)控制器上的軟件和分系統(tǒng)控制子卡(3)上的固件 程序發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤。
22、 如權(quán)利要求20所述的一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法，其特 征在于所述的步驟C中觸發(fā)條件可以由用戶通過診斷觸發(fā)系統(tǒng)的上 位機(jī)軟件進(jìn)行設(shè)置，可以設(shè)置接收到觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5)后請(qǐng)求 立刻就響應(yīng)，或者設(shè)置接收到超過特定次數(shù)之后再進(jìn)行響應(yīng)；或者設(shè) 置接收到特定的觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5)就立刻響應(yīng)，而其他情況的 觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5)則需要超過一定次數(shù)后才允許響應(yīng)；當(dāng)滿足 設(shè)定的觸發(fā)條件，觸發(fā)診斷中心發(fā)送觸發(fā)診斷信號(hào)(6)。
23、 如權(quán)利要求20所述的一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法，其特 征在于所述的步驟H診斷數(shù)據(jù)上傳到直接與觸發(fā)診斷緩沖板(4 ) 相連的便攜式PC機(jī)(7 )上，便攜式PC機(jī)(7 )上的觸發(fā)診斷上位機(jī) 程序再對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行排序整理。
24、 如權(quán)利要求20或22所述的一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷方法， 其特征在于所述的步驟H中所有的診斷數(shù)據(jù)記錄時(shí)間戳，并通過觸 發(fā)診斷信號(hào)(6)發(fā)生的時(shí)刻將所有的診斷數(shù)據(jù)的在精確時(shí)序上進(jìn)行 排列。
全文摘要
一種光刻機(jī)同步觸發(fā)在線診斷方法及系統(tǒng)，由主控制器，分系統(tǒng)控制器，便攜式PC機(jī)，觸發(fā)診斷緩沖板，分系統(tǒng)控制子卡，以及相應(yīng)的處理軟件組成。觸發(fā)診斷緩沖板提供環(huán)形緩沖區(qū)用于保存各分系統(tǒng)所有的診斷數(shù)據(jù)，各觸發(fā)診斷緩沖板之間通過硬件同步信號(hào)線進(jìn)行連接。觸發(fā)診斷系統(tǒng)收集所有分系統(tǒng)的精確時(shí)序的診斷數(shù)據(jù)，同時(shí)不影響系統(tǒng)正常的運(yùn)行操作，幫助快速定位問題，減少集成以及現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)支持的時(shí)間。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101359187SQ20081020008
公開日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2008年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月18日
發(fā)明者周金明, 峰 池, 芳 黃 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司