絲網(wǎng)印刷機(jī)、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了絲網(wǎng)印刷機(jī)、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法。絲網(wǎng)印刷機(jī)包括：基板保持器，保持基板；掩模，與基板接觸；成像裝置，對基板進(jìn)行成像；升降機(jī)構(gòu)，基于成像的結(jié)果，使位于掩模下方的掩模下方位置的基板保持器向上移動(dòng)以使基板與掩模接觸；水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使基板保持器在掩模下方位置與沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)；印刷頭，在與基板接觸的掩模上移動(dòng)，并經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上；和掩模清潔器，在基板通過升降機(jī)構(gòu)與掩模分離的狀態(tài)下清潔掩模的下表面。對基板的成像和對掩模的清潔是在基板保持器位于撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
【專利說明】絲網(wǎng)印刷機(jī)、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例涉及一種經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上的絲網(wǎng)印刷機(jī)、一種構(gòu)造成包括該絲網(wǎng)印刷機(jī)的元件安裝線、以及一種絲網(wǎng)印刷方法。

【背景技術(shù)】
[0002]絲網(wǎng)印刷機(jī)構(gòu)造成通過使由基板保持器保持的基板從下方與掩模接觸，然后通過使諸如刮板的印刷頭在掩模上移動(dòng)，而在基板上印刷膏劑。這里，基板與掩模之間的接觸基于通過使用諸如照相機(jī)的成像裝置對基板進(jìn)行成像而獲得的成像結(jié)果(有關(guān)基板位置的信息)來執(zhí)行。此外，為了提高印刷精度，還要通過使掩模清潔器在與基板分離的掩模的下表面上滑動(dòng)來執(zhí)行掩模清潔以去除附著到掩模的膏劑。
[0003]在絲網(wǎng)印刷機(jī)中，成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔如上所述來執(zhí)行。然而，由于成像裝置和掩模清潔器設(shè)置在基板保持器與掩模之間的區(qū)域中，因此難以并行地執(zhí)行成像和清潔，而必須在不同時(shí)間順次執(zhí)行成像和清潔(例如參見專利文獻(xiàn)I)。
[0004]專利文獻(xiàn)I 是 JP-A-2013-43418。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]然而，當(dāng)如上所述在不同時(shí)間執(zhí)行基板的成像和掩模的清潔時(shí)，一個(gè)操作要等待另一操作的結(jié)束，因此存在以下?lián)鷳n:對應(yīng)于等待，可能引起時(shí)間損失，節(jié)拍時(shí)間可能因此惡化。特別地，在需要高印刷精度的細(xì)節(jié)距印刷中，由于每當(dāng)在每一基板上執(zhí)行絲網(wǎng)印刷時(shí)都必須清潔掩模，因此時(shí)間損失具有相當(dāng)大的影響。
[0006]本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的目的是提供能夠并行地執(zhí)行基板的成像和掩模的清潔并且能夠防止節(jié)拍時(shí)間惡化的絲網(wǎng)印刷機(jī)、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法。
[0007](I) 一種絲網(wǎng)印刷機(jī)包括:基板保持器，保持基板；掩模，與基板接觸；成像裝置，對由基板保持器保持的基板進(jìn)行成像；升降機(jī)構(gòu)，基于成像裝置對基板進(jìn)行成像的結(jié)果，使位于掩模下方的掩模下方位置的基板保持器向上移動(dòng)以使由基板保持器保持的基板與掩模接觸；水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使基板保持器在掩模下方位置與沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)；印刷頭，在與基板接觸的掩模上移動(dòng)，并經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上；和掩模清潔器，在基板通過升降機(jī)構(gòu)與掩模分離的狀態(tài)下，清潔掩模的下表面，其中，成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔是在基板保持器被水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)定位在撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
[0008](2)在根據(jù)(I)的絲網(wǎng)印刷機(jī)中，成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔并行地執(zhí)行。
[0009](3) 一種元件安裝線包括:根據(jù)⑴或⑵的絲網(wǎng)印刷機(jī)；和元件安裝機(jī)，將元件安裝在絲網(wǎng)印刷機(jī)印刷了膏劑的基板上。
[0010](4) 一種絲網(wǎng)印刷方法包括:通過基板保持器保持基板；通過成像裝置對由基板保持器保持的基板進(jìn)行成像；基于對基板進(jìn)行成像的結(jié)果，通過使基板保持器在掩模下方的掩模下方位置向上移動(dòng)，使由基板保持器保持的基板與掩模接觸；使印刷頭在掩模上移動(dòng)以經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上；和在基板與掩模分離的狀態(tài)下，通過掩模清潔器清潔掩模的下表面，其中，對基板的成像和對掩模的清潔是在基板保持器位于沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
[0011](5)在根據(jù)(4)的絲網(wǎng)印刷方法中，對基板的成像和對掩模的清潔并行地執(zhí)行。
[0012]在實(shí)施例中，保持著基板的基板保持器能夠在掩模下方的掩模下方位置與在水平方向上從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)，并且成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔是在基板保持器位于撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。因此，成像裝置在執(zhí)行對基板的成像時(shí)的移動(dòng)范圍和掩模清潔器在清潔掩模時(shí)的移動(dòng)范圍不相互重疊，因此成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔可以并行地執(zhí)行。因此，可以防止節(jié)拍時(shí)間的惡化，而不會(huì)出現(xiàn)一個(gè)操作要等待另一操作結(jié)束的情況。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]參照附圖描述實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的各種特點(diǎn)的總體構(gòu)造。附圖和相關(guān)的描述被提供以示出本發(fā)明的實(shí)施例，而不應(yīng)當(dāng)限制本發(fā)明的范圍。
[0014]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的元件安裝線的構(gòu)造的示意圖。
[0015]圖2是構(gòu)成本發(fā)明實(shí)施例的元件安裝線的絲網(wǎng)印刷機(jī)的平面圖。
[0016]圖3是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的側(cè)視圖。
[0017]圖4A和4B是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的側(cè)視圖。
[0018]圖5是本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的掩模清潔器的截面?zhèn)纫晥D。
[0019]圖6是示出本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的控制系統(tǒng)的框圖。
[0020]圖7A和7B是示出本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的視圖。
[0021]圖8A和8B是示出本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的視圖。
[0022]圖9A和9B是示出本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的視圖。
[0023]圖1OA和1B是示出本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)的操作的視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]下面，參照附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。圖1示出本發(fā)明實(shí)施例的元件安裝線I。元件安裝線I設(shè)置為用于通過將元件3安裝在基板2上來制造元件安裝基板，并構(gòu)造成包括用諸如焊料的膏劑Pst在從基板供應(yīng)部4供應(yīng)的基板2上的電極2a上執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的絲網(wǎng)印刷機(jī)5、以及將元件3安裝在其上由絲網(wǎng)印刷機(jī)5印刷了膏劑Pst的基板2上的元件安裝機(jī)6。在該實(shí)施例中，基板2在元件安裝線I中流動(dòng)的方向是圖1中從左側(cè)向右側(cè)的水平面內(nèi)方向(操作者OP觀察的橫向方向)，被稱為X軸方向。與X軸方向垂直的水平面內(nèi)方向(操作者OP觀察的前后方向)被稱為Y軸方向，垂直方向被稱為Z軸方向。在該實(shí)施例中，圖1平面的左側(cè)對應(yīng)于基板2流動(dòng)的上游側(cè)(上游處理側(cè))，圖1平面的右側(cè)對應(yīng)于基板2流動(dòng)的下游側(cè)(下游處理側(cè))。
[0025]在圖2和3中，絲網(wǎng)印刷機(jī)5設(shè)置有位于基臺(tái)11上的基板保持_移動(dòng)機(jī)構(gòu)12，形成有將要印刷在基板2上的圖案13P的掩模13安裝在基板保持-移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的上方。在基臺(tái)11上的基板保持-移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的基板2流動(dòng)的上游側(cè)(圖1平面的左側(cè))，設(shè)置有作為基板送入部的將從位于上游處理側(cè)的另一裝置(這里是基板供應(yīng)部4)送入的基板2送至基板保持-移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的送入傳送器14、以及作為基板排出部的接收從基板保持-移動(dòng)機(jī)構(gòu)12送來的基板2并將基板2排出到位于下游處理側(cè)的另一裝置(這里是元件安裝機(jī)6)的排出傳送器15。此外，絲網(wǎng)印刷機(jī)5在掩模13的上方設(shè)置有印刷頭16和膏劑供應(yīng)注射器17，并在掩模13的下方設(shè)置有照相機(jī)單元18和掩模清潔器19，印刷頭16由印刷頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M移動(dòng)，膏劑供應(yīng)注射器17與印刷頭16 —體地設(shè)置，照相機(jī)單元18作為成像裝置，在照相機(jī)單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M的作用下在水平面中移動(dòng)，掩模清潔器19在清潔器移動(dòng)機(jī)構(gòu)19M的作用下沿Y軸方向移動(dòng)。
[0026]在圖3中，絲網(wǎng)印刷機(jī)5的基板保持-移動(dòng)機(jī)構(gòu)12由保持基板2的基板保持器21和使基板保持器21移動(dòng)的基板保持器移動(dòng)機(jī)構(gòu)22形成。基板保持器21設(shè)置有:成為基部的升降板31 ;—對傳送器33 (還參見圖2)，每個(gè)傳送器33附接到從升降板31向上延伸的傳送器支撐構(gòu)件32 ;下接收構(gòu)件35，在附接到升降板31的第一升降電機(jī)34的作用下在升降板31的上方上下移動(dòng)；以及一對夾具37 (還參見圖2)，設(shè)置在傳送器33的上方，并在夾具驅(qū)動(dòng)電機(jī)36的作用下沿Y軸方向打開或閉合。傳送器33沿X軸方向運(yùn)送從送入傳送器14接收的基板2并將基板2定位在預(yù)定的夾緊位置，下接收構(gòu)件35從下方支撐被定位在夾緊位置的基板2。夾具37在Y軸方向上夾緊由下接收構(gòu)件35支撐的基板2的側(cè)面(沿Y軸方向彼此相對的側(cè)面)。在Y軸方向上平行設(shè)置的兩個(gè)夾具37中，位于操作者OP側(cè)(圖3平面的右側(cè)，被視為前側(cè))的一個(gè)被稱為前夾具37F，位于操作者OP相反側(cè)(圖3平面的左側(cè)，被視為后側(cè))的另一個(gè)被稱為后夾具37R。
[0027]在圖3中，基板保持器移動(dòng)機(jī)構(gòu)22具有:ΧΥ Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41，通過使以臺(tái)階構(gòu)造在基臺(tái)11上的Y-工作臺(tái)41a、X-工作臺(tái)41b和Θ -工作臺(tái)41c彼此相對移動(dòng)而使基部工作臺(tái)41d在水平面中移動(dòng)；和第二升降電機(jī)42，用于使升降板31 (即，整個(gè)基板保持器21)相對于基部工作臺(tái)41d上下移動(dòng)?；灞３制饕苿?dòng)機(jī)構(gòu)22借助XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41使保持著(由夾具37夾緊)基板2的基板保持器21在水平面中移動(dòng)并借助第二升降電機(jī)42使基板保持器21上下移動(dòng)。
[0028]基部工作臺(tái)41d，即基板保持器21，能夠在XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41的作用下在位于掩模13下方的掩模下方位置(圖4A)與沿水平方向(這里是沿遠(yuǎn)離操作者OP的方向)從掩模下方位置撤回的撤回位置(圖4B)之間移動(dòng)。即，在該實(shí)施例中，ΧΥΘ-工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41是使基板保持器21在位于掩模13下方的掩模下方位置與沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)。如圖2所示，在基板保持器21位于撤回位置的狀態(tài)下，送入傳送器14和排出傳送器15中的每一個(gè)設(shè)置在沿X軸方向與基板保持器21的傳送器33相對的位置?；灞３制?1在位于撤回位置的狀態(tài)下接收并保持來自送入傳送器14的基板2。此外，基板保持器21在位于撤回位置的狀態(tài)下將基板2送至排出傳送器15。
[0029]在圖2中，掩模13具有在X-Y平面中延伸的矩形的平板形狀，其外周由框架構(gòu)件13w支撐。掩模13具有圖案13P，該圖案13P的布置形成為對應(yīng)于基板2的電極2a的布置。
[0030]在圖2中，一對基板側(cè)標(biāo)記2m設(shè)置在基板2的對角位置,一對掩模側(cè)標(biāo)記13m設(shè)置成對應(yīng)于掩模13上的基板側(cè)標(biāo)記2m。在撤回位置保持著基板2的基板保持器21在XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41的作用下移動(dòng)到掩模下方位置以使兩個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m和兩個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記13m在被從上方觀察時(shí)匹配的狀態(tài)下，當(dāng)?shù)诙惦姍C(jī)42使基板保持器21向上移動(dòng)以使由基板保持器21保持的基板2與掩模13接觸時(shí)，基板2的電極2a和掩模13的圖案13P匹配。在該實(shí)施例中，第二升降電機(jī)42是使在掩模13下方的掩模下方位置的保持著基板2的基板保持器21向上移動(dòng)以使基板2與掩模13接觸的升降機(jī)構(gòu)。
[0031]在圖2和3中，印刷頭16設(shè)置有兩個(gè)刮板52，這兩個(gè)刮板52在設(shè)置成沿X軸方向延伸的移動(dòng)基座51的下方沿Y軸方向彼此相對。印刷頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)16M具有兩個(gè)印刷頭移動(dòng)滾珠絲杠16a和兩個(gè)印刷頭移動(dòng)電機(jī)16b，所述兩個(gè)印刷頭移動(dòng)滾珠絲杠16a沿Y軸方向延伸，并旋擰到移動(dòng)基座51的左右端部中，所述兩個(gè)印刷頭移動(dòng)電機(jī)16b使這兩個(gè)印刷頭移動(dòng)滾珠絲杠16a旋轉(zhuǎn)并驅(qū)動(dòng)這兩個(gè)印刷頭移動(dòng)滾珠絲杠16a。當(dāng)這兩個(gè)印刷頭移動(dòng)滾珠絲杠16a通過所述兩個(gè)印刷頭移動(dòng)電機(jī)16b彼此同步旋轉(zhuǎn)時(shí)，移動(dòng)基座51在Y軸方向上移動(dòng)。兩個(gè)刮板52中的每一個(gè)通過設(shè)置在移動(dòng)基座51中的刮板升降缸53在移動(dòng)基座51的下方單獨(dú)地上下移動(dòng)。在沿Y軸方向并行設(shè)置的兩個(gè)刮板52中，位于操作者OP側(cè)(即，圖3平面的右側(cè))的一個(gè)被稱為前刮板52F，位于操作者OP相反側(cè)(圖3平面的左側(cè))的另一個(gè)被稱為后刮板52R。
[0032]在圖2和3中，照相機(jī)單元18具有成像視野朝上的上方成像照相機(jī)18a和成像視野朝下的下方成像照相機(jī)18b。用于使照相機(jī)單元18在水平面內(nèi)方向上移動(dòng)的照相機(jī)單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M設(shè)置有:Y軸工作臺(tái)18y，在基臺(tái)11上沿Y軸方向延伸；X軸工作臺(tái)18x，沿X軸方向延伸并在Y軸工作臺(tái)18y上移動(dòng)；和移動(dòng)板18p，在X軸工作臺(tái)18x上移動(dòng)。隨著X軸工作臺(tái)18x相對于Y軸工作臺(tái)18y沿Y軸方向移動(dòng)和移動(dòng)板18p相對于X軸工作臺(tái)18x沿X軸方向移動(dòng)，附接到移動(dòng)板18p的照相機(jī)單元18在水平面中移動(dòng)。在基板保持器21通過XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41定位在撤回位置的狀態(tài)下，照相機(jī)單元18執(zhí)行對掩模側(cè)標(biāo)記13m的成像和對由基板保持器21保持的基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m的成像。上方成像照相機(jī)18a執(zhí)行對掩模側(cè)標(biāo)記13m的成像，下方成像照相機(jī)18b執(zhí)行對基板側(cè)標(biāo)記2m的成像。
[0033]膏劑供應(yīng)注射器17中存儲(chǔ)著膏劑Pst，并且該膏劑供應(yīng)注射器17將膏劑排放并供應(yīng)到下側(cè)。在圖2和3中，隨著移動(dòng)基座51沿Y軸方向移動(dòng)，附接到移動(dòng)基座51的膏劑供應(yīng)注射器17可以與刮板52 —起沿Y軸方向移動(dòng)，并且，可以在移動(dòng)基座51上沿X軸方向移動(dòng)。因此，隨著移動(dòng)基座51沿Y軸方向移動(dòng)和膏劑供應(yīng)注射器17沿X軸方向移動(dòng)，膏劑供應(yīng)注射器17在水平面中自由移動(dòng)，由此可以將膏劑Pst供應(yīng)到掩模13上的任意區(qū)域。
[0034]在圖2中，清潔器移動(dòng)機(jī)構(gòu)19M設(shè)置有Y軸工作臺(tái)19a和X軸工作臺(tái)19b，Y軸工作臺(tái)19a設(shè)置成在基臺(tái)11的上方沿Y軸方向延伸，X軸工作臺(tái)19b沿X軸方向延伸并在Y軸工作臺(tái)19a上移動(dòng)，掩模清潔器19附接到X軸工作臺(tái)19b。在圖5中，掩模清潔器19構(gòu)造成使得，借助設(shè)置在殼體19C中的兩個(gè)轉(zhuǎn)子19t的旋轉(zhuǎn)操作而供應(yīng)(更新)的紙構(gòu)件19p被能夠沿垂直方向移動(dòng)的噴嘴19η推到殼體19C的上側(cè)，以形成膏劑擦拭表面19m。隨著X軸工作臺(tái)18x相對于Y軸工作臺(tái)18y在Y軸方向上移動(dòng)，掩模清潔器19在Y軸方向上移動(dòng)，并在使紙構(gòu)件19p的膏劑擦拭表面19m在掩模13的下表面上滑動(dòng)的同時(shí)執(zhí)行噴嘴19η的抽吸操作。掩模清潔器19在基板2通過基板保持器移動(dòng)機(jī)構(gòu)22 (具體地，是作為其升降機(jī)構(gòu)的第二升降電機(jī)42)與掩模13分離的狀態(tài)下清潔掩模13的下表面，并且，掩模清潔器19對掩模13的清潔是在基板保持器21通過XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41定位在撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
[0035]在圖6中，絲網(wǎng)印刷機(jī)5的控制裝置60控制:送入傳送器14所執(zhí)行的送入基板2的操作；傳送器33所執(zhí)行的使基板2移動(dòng)到夾緊位置的操作；第一升降電機(jī)34所執(zhí)行的使下接收構(gòu)件35上下移動(dòng)的操作；夾具驅(qū)動(dòng)電機(jī)36所執(zhí)行的夾具37的夾緊操作；ΧΥ Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41所執(zhí)行的使基板保持器21在水平面中移動(dòng)的操作；第二升降電機(jī)42所執(zhí)行的使基板保持器21上下移動(dòng)的操作；和排出傳送器15所執(zhí)行的排出基板2的操作?？刂蒲b置60還控制:印刷頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)16Μ所執(zhí)行的使印刷頭16在Y軸方向上移動(dòng)的操作；刮板升降缸53所執(zhí)行的使每個(gè)刮板52上下移動(dòng)的操作；膏劑供應(yīng)注射器17所執(zhí)行的排出膏劑Pst的操作；以及照相機(jī)單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)18Μ所執(zhí)行的使照相機(jī)單元18在水平面中移動(dòng)的操作；清潔器移動(dòng)機(jī)構(gòu)19Μ所執(zhí)行的使掩模清潔器19在Y軸方向上移動(dòng)的操作；以及掩模清潔器19中的噴嘴19η的垂直移動(dòng)和供應(yīng)(更新)紙構(gòu)件19ρ的操作。
[0036]在圖6中，上方成像照相機(jī)18a在控制裝置60的控制下對設(shè)置在掩模13中的掩模側(cè)標(biāo)記13m進(jìn)行成像。下方成像照相機(jī)18b在控制裝置60的控制下對由基板保持器21保持的基板2的基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行成像。通過上方成像照相機(jī)18a的成像所獲取的圖像數(shù)據(jù)和通過下方成像照相機(jī)18b的成像所獲取的圖像數(shù)據(jù)都被輸入到控制裝置60并在控制裝置60的圖像處理器60a中進(jìn)行圖像處理?？刂蒲b置60基于得到的掩模側(cè)標(biāo)記13m和基板側(cè)標(biāo)記2m的圖像(成像結(jié)果)來計(jì)算每個(gè)掩模側(cè)標(biāo)記13m的位置和每個(gè)基板側(cè)標(biāo)記2m的位置。
[0037]接下來，參照圖7-10描述絲網(wǎng)印刷機(jī)5執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的過程(絲網(wǎng)印刷方法)。當(dāng)基板2被從基板供應(yīng)部4送來時(shí)，控制裝置60通過送入傳送器14接收基板2。在該情況下，當(dāng)基板保持器21沒有位于撤回位置時(shí)，控制裝置60操作XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41以將基板保持器21定位在撤回位置。
[0038]在通過送入傳送器14接收基板2之后，控制裝置60使送入傳送器14和基板保持器21的傳送器33彼此聯(lián)合操作，以將基板2送到基板保持器21，并將基板2定位在夾緊位置。當(dāng)通過操作第一升降電機(jī)34使下接收構(gòu)件35向上移動(dòng)以從下方支撐基板2并使基板2從傳送器33提升時(shí)(圖7A中所示的箭頭Al)，夾具驅(qū)動(dòng)電機(jī)36操作以通過夾具37夾緊并保持基板2 (圖7A中所示的箭頭BI ;基板保持工序)。
[0039]在通過基板保持器21保持基板2之后，控制裝置60通過照相機(jī)單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)18M使照相機(jī)單元18移動(dòng)，從而通過上方成像照相機(jī)18a對基板2的掩模側(cè)標(biāo)記13m進(jìn)行成像。在對掩模側(cè)標(biāo)記13m進(jìn)行成像之后，控制裝置60通過下方成像照相機(jī)18b對基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行成像(圖7B中所示的箭頭C ;成像工序)，并與照相機(jī)單元18對基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行成像的操作并行地通過掩模清潔器19清潔掩模13的下表面(圖7B和5中所示的箭頭D ;掩模清潔工序)。
[0040]如上所述，在該實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷方法中，成像工序和掩模清潔工序都是在基板保持器21位于撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的，因此照相機(jī)單元18在執(zhí)行對基板2的成像時(shí)的移動(dòng)范圍和掩模清潔器19在清潔掩模13時(shí)的移動(dòng)范圍不相互重疊。因此，照相機(jī)單元18對基板2的成像和掩模清潔器19對掩模13的清潔可以并行地執(zhí)行。
[0041]在對掩模側(cè)標(biāo)記13m和基板側(cè)標(biāo)記2m進(jìn)行成像之后，控制裝置60操作XY Θ -工作臺(tái)機(jī)構(gòu)41以使保持著基板2的基板保持器21位于掩模下方位置(圖8A中的箭頭El)?；诔上窆ば蛑蝎@得的對基板2的掩模側(cè)標(biāo)記13m和基板側(cè)標(biāo)記2m的成像結(jié)果(基板側(cè)標(biāo)記2m和掩模側(cè)標(biāo)記13m的位置信息)，使掩模側(cè)標(biāo)記13m和基板側(cè)標(biāo)記2m在垂直方向上匹配，并且第二升降電機(jī)42使基板保持器21向上移動(dòng)以使基板保持器21所保持的基板2與掩模13接觸(圖SB中所示的箭頭Fl ;接觸工序)。因此，基板2的電極2a和形成在掩模13上的圖案13P匹配(圖8B)。
[0042]在基板2與掩模13接觸之后，控制裝置60執(zhí)行檢查以通過膏劑量確認(rèn)裝置(未示出)確認(rèn)是否有足夠量的膏劑Pst存在于掩模13上。當(dāng)判斷沒有足夠量的膏劑Pst時(shí)，膏劑供應(yīng)注射器17將膏劑Pst供應(yīng)到掩模13。
[0043]在接觸工序之后，當(dāng)作為膏劑量的確認(rèn)結(jié)果判斷掩模13上存在足夠量的膏劑Pst時(shí)(當(dāng)膏劑供應(yīng)注射器17供應(yīng)膏劑Pst時(shí)，隨后執(zhí)行膏劑量的確認(rèn))，控制裝置60通過刮板52執(zhí)行膏劑Pst的刮擦。在刮擦中，控制裝置60使移動(dòng)基座51 ( S卩，印刷頭16)在Y軸方向上移動(dòng)以使刮板52在掩模13上移動(dòng)(滑動(dòng))。通過刮擦，膏劑Pst被擦在掩模13上并填充掩模13的圖案13p，由此膏劑Pst被印刷在基板2上(印刷工序)。
[0044]當(dāng)后刮板52R執(zhí)行上述的刮擦?xí)r，后刮板52R向下移動(dòng)以抵接與后夾具37R接觸的掩模13，從而使移動(dòng)基座51向前移動(dòng)(圖9A)。當(dāng)后刮板52R到達(dá)與前夾具37F接觸的掩模13時(shí)，后刮板52R向上移動(dòng)并進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。當(dāng)前刮板52F執(zhí)行上述刮擦?xí)r，前刮板52F向下移動(dòng)以抵接與前夾具37F接觸的掩模13，從而使移動(dòng)基座51向后移動(dòng)。當(dāng)前刮板52F到達(dá)與后夾具37R接觸的掩模13時(shí)，前刮板52F向上移動(dòng)并進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。以此方式，在該實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)5中，印刷頭16在基板2與掩模13接觸的狀態(tài)下在掩模13上移動(dòng)并經(jīng)由掩模13將膏劑Pst印刷在基板2上。
[0045]在通過使印刷頭16移動(dòng)并通過用膏劑Pst填充掩模13的圖案13P而將膏劑Pst印刷在基板2上之后，控制裝置60操作第一升降電機(jī)34以使升降板31向下移動(dòng)(圖9B中所示的箭頭F2)，由此使基板2與掩模13彼此分離，從而執(zhí)行板釋放(圖9B)。由此，一個(gè)基板2的絲網(wǎng)印刷結(jié)束。
[0046]在每一個(gè)基板2的絲網(wǎng)印刷結(jié)束之后，控制裝置60使保持著基板2的基板保持器21移動(dòng)到撤回位置(圖1OA中所示的箭頭E2)。夾具37打開(圖1OB中所示的箭頭B2)，然后使下接收構(gòu)件35向下移動(dòng)(圖1OB中所示的箭頭A2)，以將基板2放置在傳送器33上(圖10B)。當(dāng)基板2被放置在傳送器33上時(shí)，傳送器33和排出傳送器15彼此聯(lián)合操作以將基板2從絲網(wǎng)印刷機(jī)5排出到位于下游處理側(cè)的另一裝置(元件安裝機(jī)6)。在排出基板2之后，控制裝置60判斷是否存在要經(jīng)受絲網(wǎng)印刷的另一基板2。結(jié)果，當(dāng)存在要經(jīng)受絲網(wǎng)印刷的另一基板2時(shí)，送入傳送器14送入該基板2，當(dāng)不存在要經(jīng)受絲網(wǎng)印刷的基板2時(shí)，則一系列操作結(jié)束。
[0047]在圖1中，元件安裝機(jī)6設(shè)置有位于基臺(tái)71上的基板運(yùn)送通道72、作為元件供應(yīng)部的多個(gè)部件饋送器73、以及通過由XY機(jī)器人形成的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)74移動(dòng)的兩個(gè)安裝頭75?；暹\(yùn)送通道72從絲網(wǎng)印刷機(jī)5的排出傳送器15接收并饋送由絲網(wǎng)印刷機(jī)5印刷了膏劑Pst的基板2，并將基板2定位在預(yù)定位置。兩個(gè)安裝頭75中的每一個(gè)拾取從每個(gè)部件饋送器73供應(yīng)的元件3并將元件3安裝在由基板運(yùn)送通道72定位的基板2上。當(dāng)元件3在基板2上的安裝結(jié)束時(shí)，基板運(yùn)送通道72操作以將基板2排出到外部(下游處理側(cè))。
[0048]該實(shí)施例的利用絲網(wǎng)印刷機(jī)5的絲網(wǎng)印刷方法包括:通過基板保持器21保持基板2的基板保持工序；利用照相機(jī)單元18 (成像裝置)對由基板保持器21保持的基板2進(jìn)行成像的成像工序；基于成像工序中獲得的基板2的成像結(jié)果，通過使位于掩模13下方的掩模下方位置的基板保持器21向上移動(dòng)而使由基板保持器21保持的基板2與掩模13接觸的接觸工序；在接觸工序之后的使印刷頭16在掩模13上移動(dòng)以將膏劑Pst經(jīng)由掩模13印刷在基板2上的印刷工序；以及在基板2與掩模13分離的狀態(tài)下通過掩模清潔器19清潔掩模13的下表面的掩模清潔工序，并且，成像工序和掩模清潔工序在基板保持器21位于在水平方向上從掩模下方位置撤回的撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行。
[0049]如上所述，在該實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷機(jī)5 (和利用絲網(wǎng)印刷機(jī)5的絲網(wǎng)印刷方法)中，保持著基板2的基板保持器21能夠在掩模13下方的掩模下方位置與在水平方向上從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)，并且照相機(jī)單元18 (成像裝置)對基板2的成像和掩模清潔器19對掩模13的清潔是在基板保持器21位于撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。因此，照相機(jī)單元18在執(zhí)行對基板2的成像時(shí)的移動(dòng)范圍和掩模清潔器19在清潔掩模13時(shí)的移動(dòng)范圍不相互重疊，因此照相機(jī)單元18對基板2的成像和掩模清潔器19對掩模13的清潔可以并行地執(zhí)行。因此，可以防止節(jié)拍時(shí)間的惡化，而不會(huì)出現(xiàn)一個(gè)操作要等待另一操作結(jié)束的情況。
[0050]提供了能夠并行地執(zhí)行基板的成像和掩模的清潔且能夠防止節(jié)拍時(shí)間惡化的絲網(wǎng)印刷機(jī)、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法。
【權(quán)利要求】
1.一種絲網(wǎng)印刷機(jī)，包括: 基板保持器，保持基板； 掩模，與基板接觸； 成像裝置，對由基板保持器保持的基板進(jìn)行成像； 升降機(jī)構(gòu)，基于成像裝置對基板進(jìn)行成像的結(jié)果，使位于掩模下方的掩模下方位置的基板保持器向上移動(dòng)以使由基板保持器保持的基板與掩模接觸； 水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使基板保持器在掩模下方位置與沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置之間移動(dòng)； 印刷頭，在與基板接觸的掩模上移動(dòng)，并經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上；和 掩模清潔器，在基板通過升降機(jī)構(gòu)與掩模分離的狀態(tài)下清潔掩模的下表面， 其中，成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔是在基板保持器被水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)定位在撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的絲網(wǎng)印刷機(jī)， 其中，成像裝置對基板的成像和掩模清潔器對掩模的清潔并行地執(zhí)行。
3.—種元件安裝線，包括: 根據(jù)權(quán)利要求1或2的絲網(wǎng)印刷機(jī)；和 元件安裝機(jī)，將元件安裝在絲網(wǎng)印刷機(jī)印刷了膏劑的基板上。
4.一種絲網(wǎng)印刷方法，包括: 通過基板保持器保持基板； 通過成像裝置對由基板保持器保持的基板進(jìn)行成像； 基于對基板進(jìn)行成像的結(jié)果，通過使基板保持器在掩模下方的掩模下方位置向上移動(dòng)，使由基板保持器保持的基板與掩模接觸； 使印刷頭在掩模上移動(dòng)以經(jīng)由掩模將膏劑印刷在基板上；和 在基板與掩模分離的狀態(tài)下，通過掩模清潔器清潔掩模的下表面， 其中，對基板的成像和對掩模的清潔是在基板保持器位于沿水平方向從掩模下方位置撤回的撤回位置的狀態(tài)下執(zhí)行的。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的絲網(wǎng)印刷方法， 其中，對基板的成像和對掩模的清潔并行地執(zhí)行。
【文檔編號(hào)】B41F15/08GK104512094SQ201410497539
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2014年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月1日
【發(fā)明者】萬谷正幸, 村上俊行 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社