一種近紅外3d探測(cè)濾波器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種近紅外3D探測(cè)濾波器，包括基板（1）和沉積于所述基板（1）上的膜層，所述膜層包括多個(gè)TiO2膜層（2）以及多個(gè)SiO2膜層（3），所述TiO2膜層（2）和SiO2膜層（3）依次交替沉積于所述基板（1）上，并且所述TiO2膜層（2）和SiO2膜層（3）的膜層數(shù)均為33層。本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器具有良好的波長(zhǎng)穩(wěn)定性、高透過率以及良好的截止深度，在828nm±7nm波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)，透過率T≥90%，其它波長(zhǎng)的截止深度大于3dB。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種濾波器，具體為一種近紅外3D探測(cè)濾波器。 一種近紅外3D探測(cè)濾波器

【背景技術(shù)】
[0002] 3D游戲是近年來發(fā)展起來的一種新型網(wǎng)絡(luò)互動(dòng)游戲，手動(dòng)控制是這種新型游 戲的主要特征，這一特征對(duì)游戲中采用的探測(cè)濾波器的要求比較高，即要求濾波器在 828nm±7nm的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)，透過率能夠平均大于90%，其它波長(zhǎng)的截止深度能夠大于3dB， 以避免其余雜散光對(duì)其的干擾。傳統(tǒng)的濾波器暫時(shí)無法滿足這種要求。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型公開一種近紅外3D探測(cè)濾波器，包括基板1和沉 積于所述基板1上的膜層，所述膜層包括多個(gè)Ti0 2膜層2以及多個(gè)Si02膜層3,所述Ti02 膜層2和Si02膜層3依次交替沉積于所述基板1上，并且所述Ti02膜層2和Si02膜層3的 膜層數(shù)均為33層。
[0004] 優(yōu)選的，所述基板1為玻璃。
[0005] 本實(shí)用新型的有益效果是通過采用在基板上依次交替沉積多個(gè)高折射率膜層以 及多個(gè)低折射率膜層的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了良好的波長(zhǎng)穩(wěn)定性、高透過率以及良好的截止深度，在 828nm±7nm波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)，透過率T彡90%，其他波長(zhǎng)的截止深度大于3dB。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1是本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0007] 圖2是本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器的波長(zhǎng)（nm)-透過率（%)關(guān)系曲線 圖。

【具體實(shí)施方式】
[0008] 下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明 書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0009] 如圖1所示，本實(shí)用新型公開一種近紅外3D探測(cè)濾波器，包括基板1和沉積于所 述基板1上的膜層，所述膜層包括多個(gè)Ti0 2膜層2以及多個(gè)Si02膜層3,所述Ti02膜層2 和Si0 2膜層3依次交替沉積于所述基板1上，并且所述Ti02膜層2和Si02膜層3的膜層 數(shù)均為33層。
[0010] 優(yōu)選的，所述基板1為玻璃。
[0011] 下面具體講述本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器。
[0012] 實(shí)施例1
[0013] 如圖1所示，本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器的基板1為玻璃，在所述基板 1上依次交替沉積多個(gè)Ti0 2膜層2以及多個(gè)Si02膜層3,并且所述Ti02膜層2和Si02膜層 3的膜層數(shù)均為33層。各層膜自上而下的厚度如下：
[0014] 1. 31L/1. 35H/1L/1H/1L/1H/2L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/2H/1L/ 1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/4H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/2H/1L /1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/1L/1H/2L/1H/1L/1H/1L/1H。
[0015] 其中，Η和L分別代表Ti02膜層(高折射率材料層)和Si02膜層(低折射率材料層） 的一個(gè)1/4波長(zhǎng)光學(xué)厚度，Ti0 2膜層對(duì)應(yīng)的折射率Hn = 2. 288, Si02膜層對(duì)應(yīng)的折射率Ln =1. 471。本例中波長(zhǎng) λ =365nm，1H = 1/4 λ Hn ;1L = 1/4 λ Ln。Η 和 L 前面的系數(shù)表不 1/4 波長(zhǎng)的倍數(shù)。
[0016] 如圖2所示，本實(shí)用新型所述近紅外3D探測(cè)濾波器，在波長(zhǎng)828nm，光線垂直射入 時(shí)，允許828±7nm波長(zhǎng)的光通過，而其它波長(zhǎng)的光被隔離，即截止，透過率T > 90%，其它波 長(zhǎng)的截止深度大于3dB，實(shí)現(xiàn)了一種在近紅外光區(qū)域的高透過率和高截止深度的探測(cè)濾波 器。
[0017] 盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中 所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言， 可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí) 用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【權(quán)利要求】
1. 一種近紅外3D探測(cè)濾波器，包括基板（1)和沉積于所述基板（1)上的膜層，其特征 在于：所述膜層包括多個(gè)Ti0 2膜層（2)以及多個(gè)Si02膜層（3)，所述Ti02膜層（2)和Si0 2 膜層（3)依次交替沉積于所述基板（1)上，并且所述Ti02膜層（2)和Si02膜層（3)的膜層 數(shù)均為33層。
2. 如權(quán)利要求1所述的近紅外3D探測(cè)濾波器，其特征在于：所述基板（1)為玻璃。
【文檔編號(hào)】B32B9/04GK203849440SQ201420182128
【公開日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年4月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月16日
【發(fā)明者】王明利 申請(qǐng)人:蘇州奧科輝光電科技有限公司