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生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置的制作方法

文檔序號(hào):1995377閱讀:456來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及ー種生產(chǎn)石英坩堝過(guò)程中使用的抽真空裝置。
背景技術(shù)
在石英坩堝生產(chǎn)過(guò)程中,為使石英坩堝的質(zhì)地更加均勻,需要用抽真空裝置將石英坩堝與石英坩堝冷卻水套間的空氣抽出,形成真空環(huán)境。該抽真空裝置由依次連接的真空泵、電磁閥、過(guò)濾罐組成。由于真空泵的抽吸能力有限,抽吸過(guò)程耗時(shí)長(zhǎng),影響石英坩堝的生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種抽吸能力強(qiáng)、耗時(shí)短、可提高石英坩堝生產(chǎn)效率的生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置,包括真空泵、電磁閥、過(guò)濾罐,所述的過(guò)濾罐與電磁閥的一端連接,其特殊之處是所述真空泵的抽氣ロ連接有儲(chǔ)壓罐,所述儲(chǔ)壓罐與電磁閥的另一端連接。所述儲(chǔ)壓罐由罐體,設(shè)在罐體上的抽氣ロ接ロ、電磁閥接ロ和排沙ロ構(gòu)成。本實(shí)用新型的有益效果是由于增設(shè)了儲(chǔ)壓罐,工作時(shí)將電磁閥關(guān)閉、真空泵打開(kāi),使儲(chǔ)壓罐內(nèi)形成負(fù)壓環(huán)境,打開(kāi)電磁閥,真空泵與儲(chǔ)壓罐的抽吸カ疊加,快速將石英坩堝與石英坩堝冷卻水套的空氣抽出,縮短了抽吸過(guò)程耗費(fèi)時(shí)間,提高了石英坩堝的生產(chǎn)效率。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中真空泵I,儲(chǔ)壓罐2,抽氣ロ接ロ 201,罐體202,排沙ロ 203,電磁閥接ロ 204,電磁閥3,過(guò)濾罐4。
具體實(shí)施方式
如圖所示,該生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置包括真空泵I、儲(chǔ)壓罐2、電磁閥3、過(guò)濾罐4。所述的儲(chǔ)壓罐2由罐體202、設(shè)在罐體202上的抽氣ロ接ロ 201、電磁閥接ロ 204、排沙ロ 203構(gòu)成。真空泵I的抽氣ロ與儲(chǔ)壓罐2的抽氣ロ接ロ 201連接,儲(chǔ)壓罐2的電磁閥接ロ 204與電磁閥3的一端連接,電磁閥3的另一端與過(guò)濾罐4連接。抽吸時(shí),將生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置與石英坩堝冷卻水套連接,關(guān)閉電磁閥3,將真空泵I打開(kāi),使儲(chǔ)壓罐2內(nèi)形成負(fù)壓環(huán)境;打開(kāi)電磁閥3,真空泵I與儲(chǔ)壓罐2的抽吸カ疊加,快速將石英坩堝與石英坩堝冷卻水套的空氣抽出。
權(quán)利要求1.一種生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置,包括真空泵、電磁閥、過(guò)濾罐,所述的過(guò)濾罐與電磁閥連接,其特征是所述真空泵的抽氣ロ連接有儲(chǔ)壓罐,所述儲(chǔ)壓罐與所述電磁閥連接。
2.如權(quán)利要求I所述的生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置,其特征是所述儲(chǔ)壓罐由罐體,設(shè)在罐體上的抽氣ロ接ロ、電磁閥接口和排沙ロ構(gòu)成。
專利摘要一種生產(chǎn)石英坩堝用抽真空裝置,包括真空泵、電磁閥、過(guò)濾罐,所述的過(guò)濾罐與電磁閥連接,其特殊之處是所述真空泵的抽氣口連接有儲(chǔ)壓罐,所述儲(chǔ)壓罐與所述電磁閥連接。由于增設(shè)了儲(chǔ)壓罐,工作時(shí)將電磁閥關(guān)閉、真空泵打開(kāi),使儲(chǔ)壓罐內(nèi)形成負(fù)壓環(huán)境,打開(kāi)電磁閥,真空泵與儲(chǔ)壓罐的抽吸力疊加,快速將石英坩堝與石英坩堝冷卻水套的空氣抽出,縮短了抽吸過(guò)程耗費(fèi)時(shí)間,提高了石英坩堝的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C03B20/00GK202499801SQ201220140859
公開(kāi)日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2012年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月6日
發(fā)明者侯建, 王震 申請(qǐng)人:錦州佑鑫石英科技有限公司
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